JPH01298065A - 複合物粉末およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の目的 ［産業上の利用分野］ 本発明は、金属炭化物、金属窒化物および炭素の複合物
粉末およびその製造方法ならびに金属窒化物および炭素
の複合物粉末およびその製造方法に関し、特に金属炭化
物粉末粒子中の金属炭化物を部分的に分解して金属窒化
物および炭素を生成せしめてなる金属炭化物、金属窒化
物および炭素の複合物粉末およびその製造方法と、金属
炭化物粉末粒子中の金属炭化物を完全に分解して金属窒
化物および炭素を生成せしめてなる金属窒化物および炭
素の複合物粉末およびその製造方法とに関するものであ
る。

［従来の技術］ 従来この種の金属炭化物、金属窒化物および炭素の複合
物粉末およびその製造方法あるいは金属窒化物および炭
素の複合物粉末およびその製造方法としては、全く提案
されたものがなかった。

［解決すべき問題点］ したがって従来は、金属炭化物、金属窒化物および炭素
の複合物粉末あるいは金属窒化物および炭素の複合物粉
末を全く製造できず、ひいてはこれらの複合物粉末によ
る焼結体の焼結特性の向上を達成できず、またこれらの
複合物粉末による焼結体などの機械的特性の向上を達成
できない欠点があった。

そこで本発明は、これらの欠点を解決するために、（ｉ
ｌ金属炭化物粉末を、その粉末粒子中に存在する金属炭
化物を部分的に分解して生成された金属窒化物および炭
素によって複合化してなる金属炭化物、金属窒化物およ
び炭素の複合物粉末およびその製造方法、あるいは（１
１）金属炭化物粉末粒子中に存在する金属炭化物を完全
に分解して生成された金属窒化物および炭素を同一粉末
粒子内に包含せしめて複合化してなる金属窒化物および
炭素の複合物粉末およびその製造方法を提供せんとする
ものである。

（２）発明の構成 ［問題点の解決手段］ 本発明により提供される問題点の第１の解決手段は、 「金属炭化物粉末粒子中の金属炭化物を部分的に分解す
ることにより生成された金属窒化物および炭素が、同一
の金属炭化物粉末粒子の内部に包有されてなることを特
徴とする複合物粉末」 である。

また本発明により提供される問題点の第２の解決手段は
、 ［純度が５０重量％以上である金属炭化物粉末粒子中の
金属炭化物を、１０気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気
中で８００℃以上の温度に加熱して熱間静水圧プレス処
理 を行なうことにより、部分的に分解して金属窒化物およ
び炭素を生成する分解工程を包有してなることを特徴と
する接合物粉末の製造方法」 である。

更に本発明により提供される問題点の第３の解決手段は
、 「純度が５０重量％以上である金属炭化物粉末粒子中の
金属炭化物を、アンモニアガ入流中で８００℃の温度以
上に加熱することにより、部分的に分解して金属炭化物
および炭素を生成する分解工程を包有してなることを特
徴とする複合物粉末の製造方法」 である。

更にまた本発明により提供される問題点の第４の解決手
段は、 「金属炭化物粉末粒子中の金属炭化物を完全に分解する
ことにより生成された金属窒化物および炭素が、同一粉
末粒子の内部に包有されてなることを特徴とする接合物
粉末」 である。

加えて本発明により提供される問題点の第５の解決手段
は、 「純度が５０重量％以上である金属炭化物粉末粒子中の
金属炭化物を、１０気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気
中で８００℃以上の温度に加熱して熱間静水圧プレス処
理 を行なうことにより、完全に分解して金属窒化物および
炭素を生成する分解工程を包有してなることを特徴とす
る接合物粉末の製造方法」 である。

加えてまた本発明により提供される問題点の第６の解決
手段は、 「純度が５０重量％以上である金属炭化物粉末粒子中の
金属炭化物を、アンモニアガス流中で８００℃の温度以
上に加熱することにより、完全に分解して金属窒化物お よび炭素を生成する分解工程を包有してなることを特徴
とする複合物粉末の製造′方法」 である。

［イ乍用〕 本発明にかかる第１の複合物粉末は、金属炭化物粉末粒
子中の金属炭化物を部分的に分解することにより生成さ
れた金属窒化物および炭素を同一の金属炭化物粉末粒子
の内部に包有してなるので、（ｉｌ金属炭化物粉末を金
属窒化物および炭素によって微細に複合化する作用をな
し、ひいては（１１）焼結特性を向上するために焼結体
に対して添加される金属炭化物、金属窒化物および炭素
の複合物粉末を提供する作用をなし、またｆｉｉＵ機械
的特性を向上するために焼結体などに対して添加される
金属炭化物、金属窒化物および炭素の複合物粉末を提供
する作用をなす。

また本発明にかかる第１の複合物粉末の製造方法は、純
度が５０重量％以上である金属炭化物粉末粒子中の金属
炭化物を、１０気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気中で
８００℃以上の温度に加熱して熱間静水圧プレス処理を
行なうことにより１部分的に分解して金属窒化物および
炭素を生成してなるので、（１ｖ）金属炭化物粉末粒子
を金属窒化物および炭素によって直接に複合化する作用
をなし、ひいては（Ｖｌ金属炭化物、金属窒化物および
炭素の複合物粉末を大量かつ廉価に製造することを可能
とする作用をなし、併せて（ｖｌ）金属炭化物粉末の粒
子サイズを予め選択することによって金属炭化物、金属
窒化物および炭素の複合物粉末の粒子サイズを適宜に調
節する作用をなす。

更に本発明にかかる第１の複合物粉末の他の製造方法は
、純度が５０重量％以上である金属炭化物粉末粒子中の
金属炭化物を、アンモニアガス流中で８００℃の温度以
上に加熱することにより、部分的に分解して金属窒化物
および炭素を生成してなるので、上述の（ＩＶ）〜（ｖ
ｉｌの作用をなす。

更にまた本発明にかかる第２の複合物粉末は、金属炭化
物粉末粒子中の金属炭化物を完全に分解することにより
生成された金属窒化物および炭素を同一粉末粒子の内部
に包有してなるので、（ｖｉｉ）金属窒化物を炭素によ
って微細に複合化する作用をなし、ひいては（ｖｉｉｉ
）焼結特性を向上するために焼結体に添加される金属窒
化物および炭素の複合物粉末を提供する作用をなし、ま
たｆｉｘｌ械的特性的特性するために焼結体などに対し
て添加される金属窒化物および炭素の複合物粉末を提供
する作用をなす。

加えて本発明にかかる第２の複合物粉末の製造方法は、
純度が５０重量％以上である金属炭化物粉末粒子中の金
属炭化物を、ｌＯ気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気中
で８００℃以上の温度に加熱して熱間静水圧プレス処理
を行なうことにより、完全に分解して金属窒化物および
炭素を生成してなるので、（ｘ）金属窒化物粉末粒子を
炭素によって直接に複合化する作用をなし、ひいては（
ｘｉｌ金属窒化物および炭素の複合物粉末を大量かつ廉
価に製造することを可能とする作用をなし、併せて（ｘ
ｉｉ）金属炭化物粉末の粒子サイズを予め選択すること
によって金属窒化物および炭素の複合物粉末の粒子サイ
ズを適宜に調節する作用をなす。

加えてまた本発明にかかる第２の複合物粉末の他の製造
方法は、純度が５０重量％以上である金属炭化物粉末粒
子中の金属炭化物を、アンモニアガス流中で８００℃の
温度以上に加熱することにより、部分的に分解して金属
窒化物および炭素を生成してなるので、上述のｆｘｌ〜
（ｘｉｉ）の作用をなす。

［実施例］ 次に本発明について、実施例を挙げ具体的に説明する。

まず本発明にかかる金属炭化物、金属窒化物および炭素
の複合物粉末について、その詳細を説明する。

本発明にかかる金属炭化物、金属窒化物および炭素の複
合物粉末は、金属炭化物粉末粒子中の金属炭化物を部分
的に分解することにより生成された金属窒化物および炭
素を、その同一の金属炭化物粉末粒子の内部に包有して
いる。換言すれば、本発明にかかる複合物粉末は、ｆｉ
）金属炭化物粉末粒子と、（ｉｉｌその金属炭化物粉末
粒子中の金属炭化物の一部分を分解することにより生成
され、かつその同一の金属炭化物粉末粒子の内部に含ま
れた金属窒化物および炭素とによって形成されている。

金属炭化物としては、炭化チタン、炭化クロム、炭化ジ
ルコニウム、炭化バナジウム、炭化モリブデン、炭化ニ
オブ、炭化珪素あるいは炭化ホウ素などがあり、また金
属窒化物としては、それらの金属炭化物に対応して窒化
チタン、窒化クロム、窒化ジルコニウム、窒化バナジウ
ム、窒化モリブデン、窒化ニオブ、窒化珪素あるいは窒
化ホウ素などがある（以下同様）。

更に本発明にかかる金属炭化物、金属窒化物および炭素
の複合物粉末の製造方法の一実施例について、その詳細
を説明する。

純度が５０重量％以上である金属炭化物粉末を、出発原
料として準備する。金属炭化物粉末の粒子サイズは、結
果物すなわち本発明にかかる複合物粉末の粒子サイズに
応じて所望により適宜選択すればよい。

出発原料としての金属炭化物粉末粒子中の金属炭化物を
、分解工程によって部分的に分解することにより金属窒
化物および炭素を生成せしめる。

すなわち１０気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気中で８
００℃の温度以上に加熱して熱間静水圧プレス処理を行
なうことにより、たとえば次式の如く２ＴｉＣｚ　＋　
Ｎ２　　→　２ＴｉＮ　　＋　２Ｃ：２ＣｒｚＣ２＋　
３Ｎ２　　＝　６ＣｒＮ　＋４Ｇ２２ｒＣ＋　Ｎ２　−
　２ＺｒＮ　　＋　２Ｃ２ＶＣ＋Ｎ２　−　２ＶＮ　　
＋２Ｃ Ｍｎ２（：　　＋　　Ｎ２　　　＝　　２ＭｏＮ　　＋
　　Ｃ２ＮｂＣ＋　　Ｎ２　　→　２ＮｂＮ　　＋　　
２Ｃ３ＳｉＣ＋２Ｎ２−ｑ　５ｉＪ４＋　３Ｇ８４Ｇ　
　　＋　２Ｎ２　　　→　４ＢＮ＋Ｃ金属炭化物粉末粒
子中の金属炭化物をその同一の金属炭化物粉末粒子の内
部で部分的に分解して金属窒化物よび炭素を生成せしめ
、金属炭化物、金属窒化物および炭素の複合物粉末を作
成する。

換言すれば、上述の分解工程を所定の時間だけ持続せし
めることにより、出発原料すなわち金属炭化物粉末粒子
中の金属炭化物を、適宜の割合で金属窒化物および炭素
に分解することができる。

ひいては金属炭化物粉末粒子を金属窒化物および炭素に
より所望の比率で複合化でき、金属炭化物、金属窒化物
および炭素の複合物粉末を生成できる。

以上により、本発明にかかる金属炭化物、金属窒化物お
よび炭素の複合物粉末を生成できる。

また本発明にかかる金属炭化物、金属窒化物および炭素
の複合物粉末の製造方法の他の実施例について、その詳
細を説明する。

上述した出発原料としての金属炭化物粉末をアンモニア
ガス流中で８００℃以上の温度に加熱することにより、
たとえば次式の如く ２ＴＩＣ＋２ＮＨｓ　　→２ＴｉＮ　＋　２Ｃ＋　３Ｈ
２２ＣｒａＣｚ＋６８Ｈｚ　　−６ＣｒＮ　＋４Ｃ＋９
Ｈ２２ＺｒＣ＋２ＮＨ３−２ＺｒＮ　＋２Ｇ　　＋３Ｈ
２２ＶＣ＋２ＮＨ，−２ＶＮ　　＋２Ｇ　　＋３Ｈ２１
１１０２Ｇ　　＋２ＮＨ３−２ＭｏＮ　＋　Ｃ＋３Ｈ２
２ＮｂＣ＋　２ＮＨｓ　　→２ＮｂＮ　＋２Ｇ　　＋３
Ｈ。

２ＳｉＣ＋　４ＮＨ３→５ｉＪ４＋　３Ｇ　　＋　６Ｈ
２８４Ｇ　　＋４ＮＨ３→４ＢＮ　　＋　Ｃ＋６Ｈ２金
属炭化物粉末粒子中の金属炭化物を分解し、金属窒化物
および炭素を生成して金属炭化物、金属窒化物および炭
素の複合物粉末を作成する。

この場合には、金属炭化物粉末粒子中の金属炭化物の分
解に際して水素りが生成されるが、その分解工程に並行
して排気し除去することができるので、本発明にかかる
複合物粉末の製造工程を廉価かつ能率的に実行できる。

以上により、本発明にかかる金属炭化物、金属窒化物お
よび炭素の複合物粉末を生成できる。

次いで本発明にかかる金属窒化物および炭素の複合物粉
末について、その詳細を説明する。

本発明にかかる金属窒化物および炭素の複合物粉末は、
金属炭化物粉末粒子中の金属炭化物を完全に分解するこ
とにより生成された金属窒化物および炭素を、同一粉末
粒子の内部に包有している。換言すれば、本発明にかか
る複合物粉末は、金属炭化物粉末粒子中の金属炭化物の
全部を完全に分解することにより生成された金属窒化物
および炭素を同一粉末粒子中に含む粉末によって形成さ
れている。

更に本発明にかかる金属窒化物および炭素の複合物粉末
の製造方法の一実施例について、その詳細を説明する。

純度が５０重量％以上である金属炭化物粉末を、出発原
料として準備する。金属炭化物粉末の粒子サイズは、結
果物すなわち本発明にかかる複合物粉末の粒子サイズに
応じて所望により適宜選択すればよい。

出発原料としての金属炭化物粉末粒子中の金属炭化物を
、分解工程によって完全に分解することにより金属窒化
物および炭素を生成せしめる。すなわちｌＯ気圧以上の
窒素分圧を有する雰囲気中で８００℃の温度以上に加熱
して熱間静水圧プレス処理を行なうことにより、たとえ
ば次式の如く２ＴｉＣｚ　＋　Ｎ２　　→　２ＴｉＮ　
　＋　２Ｃ２ＣｒａＣｚ＋３Ｎｚ　　−６（：ｒＮ　　
＋４Ｃ２ＺｒＣ＋　Ｎ２　−　２ＺｒＮ　　＋　２Ｇ２
ＶＣ＋Ｎ２　−　２ＶＮ　　＋２Ｇ ＭｏｚＣ＋　　Ｎ２　　　→　２ＭｏＮ　　＋　　Ｃ２
ＮｂＣ＋　　Ｎｚ　　　→　２ＮｂＮ　　＋　　２に３
ＳｉＣ＋２Ｎ２　　　→　５ｉＪ４　＋　　３Ｇ８４Ｃ
＋　２Ｎ２　　　→　４ＢＮ＋Ｃ金属炭化物粉末粒子中
の金属炭化物をその同一の金属炭化物粉末粒子の内部で
完全に分解して金属窒化物および炭素を生成せしめ、金
属窒化物および炭素の複合物粉末を作成する。

換言すれば、上述の分解工程を所定の時間だけ持続せし
めることにより、出発原料すなわち金属炭化物粉末粒子
中の金属炭化物を、完全に金属窒化物および炭素に分解
することができる。ひいては金属窒化物粉末粒子を炭素
により複合化でき、金属窒化物および炭素の複合物粉末
を生成できる。

以上により、本発明にかかる金属窒化物および炭素の複
合物粉末を生成できる。

また本発明にかかる金属窒化物および炭素の複合物粉末
の製造方法の他の実施例について、その詳細を説明する
。

上述した出発原料としての金属炭化物粉末をアンモニア
ガス流中で８００℃以上の温度に加熱することにより、
たとえば次式の如く ２ＴｉＣ＋２ＮＨ３→２ＴＩＮ　＋　２Ｇ　　＋　３Ｈ
２２Ｃｒ３Ｃｚ＋６ＮＨｓ　　−６ＣｒＮ　＋４に　　
＋９Ｈ２２ＺｒＣ＋２ＮＨａ　　−４２ＺｒＮ　＋２Ｇ
　　＋３Ｈ２２ＶＣ＋２ＮＨ３−２ＶＮ　　＋２Ｃ＋３
Ｈ。

ＭＯ２Ｃ＋２ＮＨ３−２ＭｏＮ　＋　Ｃ＋３Ｈｚ２Ｎｂ
Ｃ＋２ＮＨ３−２ＮｂＮ　＋２Ｇ　　＋３Ｈ２２ＳｉＣ
＋４ＮＨ３−’　５ｉｓＮ４＋３Ｇ　　＋６Ｈ２Ｂ４Ｃ
＋４ＮＨ３−４８Ｎ　　＋　Ｃ＋６Ｈ２金属炭化物粉末
粒子中の金属炭化物を完全に分解し、金属窒化物および
炭素を生成して金属窒化物および炭素の複合物粉末を作
成する。

この場合には、金属炭化物粉末粒子中の金属炭化物の分
解に際して水素Ｈ２が生成されるが、その分解工程に並
行して排気し除去することができるので、本発明にかか
る金属窒化物および炭素の複合物粉末の製造工程を廉価
かつ能率的に実行できる。

以上により、本発明にかかる金属窒化物および炭素の複
合物粉末を生成できる。

次いで上述した本発明にかかる金属炭化物、金属窒化物
および炭素の複合物粉末およびその製造方法ならびに金
属窒化物および炭素の複合粉末およびその製造方法を、
−層良く理解するために、具体的な数値を挙げ詳細に説
明する６ ユ！施五工り 純度が９５重量％以上でかつ粒径が１〜ｌＯμｍである
炭化チタン粉末粒子中の炭化チタンＴｉＣを、ｌＯ気圧
以上の窒素分圧を有する雰囲気中で、１７８０℃の温度
に加熱して熱間静水圧プレス処理を５時間にわたり実行
した。

これにより炭化チタン粉末粒子中の炭化チタンＴｉＣは
、第１表に示した如（、部分的にすなわち変換率１％に
相当する量だけ窒化チタンＴｉＮおよび炭素Ｃ分解され
、本発明にかかる炭化チタン。

窒化チタンおよび炭素の複合物粉末が生成された。

ここで変換率は、出発原料たる炭化チタン粉末粒子中の
炭化チタンＴｉＣが窒化チタンＴｉＮおよび炭素Ｃに分
解され、炭化チタンＴｉＣと窒化チタンＴｉＮと炭素Ｃ
との重量比が（１−ｘｌ　：ｘ：ｘとなったとき、その
Ｘをいう（以下同様）。変換率Ｘは、炭化チタン、窒化
チタンおよび炭素の複合物粉末中の窒素の量を分析する
ことによって求められた。

工夾施旦１− 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
が１００気圧とされ、そのときの処理温度が１４５０℃
とされ、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実
施例１が反復された。

この時の結果は、第１表に変換率が８７％と示されてい
る如（、実施例１と同様であった。すなわち炭化チタン
粉末粒子中の炭化チタンＴｉＣは、部分的に窒化チタン
ＴｉＮおよび炭素Ｃに分解され、本発明にかかる炭化チ
タン、窒化チタンおよび炭素の複合物粉末が生成された
。

工夫血血旦二二１ 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
がともに１０００気圧とされ、そのときの処理温度がそ
れぞれ８００℃，９００℃および１２００℃とされ、か
つ処理時間がともに２時間とされたことを除き、それぞ
れ実施例１が反復された。

この時の結果は、第１表に変換率がそれぞれ２％、１２
％および７０％と示されている如く、実施例１と同様で
あった。すなわち炭化チタン粉末粒子中の炭化チタンＴ
ｉＣは、部分的に窒化チタンＴｉＮおよび炭素Ｃに分解
され、それぞれ本発明にかかる炭化チタン、窒化チタン
および炭素の複合物粉末が生成された。

工夫施血旦り 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中のの温度が
１５００℃仁されたことを除き、実施例５が反復された
。

この時の結果は、第１表に変換率が１００％と示されて
いる如く、実施例５とは異なっていた。すなわち炭化チ
タン粉末粒子中の炭化チタンＴｉＣは、全て窒化チタン
ＴｉＮおよび炭素Ｃに分解され、本発明にかかる窒化チ
タンおよび炭素の複合物粉末が生成された。

」災施亘ユＬ 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中のの圧力が
２０００気圧とされたことを除き、実施例６が反復され
た。

この時の結果は、第１表に変換率が１００％と示されて
いる如く、実施例６と同様であった。すなわち炭化チタ
ン粉末粒子中の炭化チタンＴｉＣは、全て窒化チタンＴ
ｉＮおよび炭素Ｃに分解され、本発明にかかる窒化チタ
ンおよび炭素の複合物粉末が生成された。

（比較例１） 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
が１気圧とされ、そのときの処理温度が１７００℃とさ
れ、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実施例
１が反復された。

この時の結果は、第１表に変換率が０％と示されている
如く、実施例１とは異なっていた。すなわち炭化チタン
粉末粒子中の炭化チタンＴｉＣは、窒化チタンＴｉＮお
よび炭素Ｃに全く分解されなかった。

（比較例２） 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の温度が７
００℃とされたことを除き、実施例３が反復された。

この時の結果は、第１表に変換率が０％と示されている
如く、実施例３とは異なっていた。すなわち炭化チタン
粉末粒子中の炭化チタンＴｉＣは、窒化チタンＴｊＮお
よび炭素Ｃに全く分解されなかった。

（実１」ｌ＋釦二 純度が９５重量％以上でかつ粒径が１〜１０ＩＬｍであ
る炭化チタン粉末粒子中の炭化チタンＴｉＣを、１０Ｑ
／分の割合で供給されるアンモニアガス流中で、１０時
間だけ９００℃の温度に加熱することにより分解した。

これにより炭化チタン粉末粒子中の炭化チタンＴｉＣが
、第２表に示した如く、部分的にすなわち変換率７％に
相当する量だけ窒化チタンＴｉＮ　、炭素Ｃおよび水素
Ｈ２に分解された。このとき水素Ｈ２は、炭化チタンＴ
ｉＣの分解に並行して排気除去されたので、炭化チタン
粉末から本発明にかかる炭化チタン、窒化チタンおよび
炭素の複合物粉末が直接に生成された。

ユ几遣吋生支と アンモニアガス流の温度（すなわち処理温度）が７００
℃とされたことを除き、実施例８が反復された。

この時の結果は、第２表に変換率が０％と示されている
如く、実施例８とは異なっていた。すなわち炭化チタン
粉末中の炭化チタンＴｉＣは、窒化チタンＴｉＮ　、炭
素Ｃおよび水素Ｈ２に全く分解されなかった。

ユ実且盟旦工 純度が９５重量％以上でかつ粒径が１〜１０μｍである
炭化クロム粉末粒子中の炭化クロムＣｒ５Ｃｚを、１０
気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気中で、１７８０℃の
温度に加熱して熱間静水圧プレス処理を５時間にわたり
実行した。

これにより炭化クロム粉末粒子中の炭化クロムＣｒａＣ
ｚは、第３表に示した如く、部分的にすなわち変換率１
％に相当する量だけ窒化クロムＣｒＮおよび炭素Ｃに分
解され、本発明にかかる炭化クロム、窒化クロムおよび
炭素の複合物粉末が生成された。

ユ叉胤医遷り 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
が１００気圧とされ、そのときの処理温度が１４５０℃
され、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実施
例９が反復された。

この時の結果は、第３表に変換率が１００％と示されて
いる如く、実施例９とは異なっていた。すなわち炭化ク
ロム粉末粒子中の炭化クロムＣｒ５Ｃ２は、全て窒化ク
ロムＣｒＮおよび炭素Ｃに分解され、本発明にかかる炭
化クロム、窒化クロムおよび炭素の複合物粉末が生成さ
れた。

１ｊ１１および１２ 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
がともに１０００気圧とされ、そのときの処理温度がそ
れぞれ７００℃および１０００℃とされ、かつ処理時間
がともに２時間とされたことを除き、それぞれ実施例９
が反復された。

この時の結果は、第３表に変換率がそれぞれ２％および
７０％と示されている如く、実施例９と同様であった。

すなわち炭化クロム粉末粒子中の炭化クロムＣｒ５Ｃｚ
は、部分的に窒化クロムＣｒＮおよび炭素Ｃに分解され
、それぞれ本発明にかかる炭化クロム、窒化クロムおよ
び炭素の複合物粉末が生成された。

施例１３および１４ 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中のの温度が
それぞれ１３００℃および１５００℃とされたことを除
き、実施例１２が反復された。

この時の結果は、第３表に変換率がともに１００％と示
されている如く、実施例１２とは異なっていた。すなわ
ち炭化クロム粉末粒子中の炭化クロムＣｒ５Ｃａは、全
て窒化クロムＣｒＮおよび炭素Ｃに分解され、本発明に
かかる窒化クロムおよび炭素の複合物粉末が生成された
。

ユヌｊｌ生匝と 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中のの圧力が
２０００気圧とされたことを除き、実施例１４が反復さ
れた。

この時の結果は、第３表に変換率が１００％と示されて
いる如く、実施例１４と同様であった。すなわち炭化ク
ロム粉末粒子中の炭化クロムＣｒ５Ｃｚは、全て窒化ク
ロムＣｒＮおよび炭素Ｃに分解され、本発明にかかる窒
化クロムおよび炭素の複合物粉末が生成された。

工比較皿土り 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
が１気圧とされ、そのときの処理温度が１７００℃とさ
れ、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実施例
９が反復された。

この時の結果は、第３表に変換率が０％と示されている
如く、実施例９とは異なっていた。すなわち炭化クロム
粉末粒子中の炭化クロムＣｒ３Ｃ２は、窒化クロムＣｒ
Ｎおよび炭素Ｃに全く分解されなかった。

（比較例５） 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の温度が６
００℃とされたことを除き、実施例１１が反復された。

この時の結果は、第３表に変換率が０％と示されている
如く、実施例１１とは異なっていた。すなわち炭化クロ
ム粉末粒子中の炭化クロムＣｒ５Ｃｚは、窒化クロム（
、ｒＮおよび炭素Ｃに全く分解されなかった。

工夫血凱旦り 純度が９５重量％以上でかつ粒径が１〜１０μｍである
炭化クロム粉末粒子中の炭化クロムＣｒ５Ｃｚを、１０
℃／分の割合で供給されるアンモニアガス流中で、１０
時間だけ８００℃の温度に加熱することにより分解した
。

これにより炭化クロム粉末粒子中の炭化クロムＣｒ５Ｇ
＋が、第４表に示した如く、部分的にすなわち変換率１
５％に相当する量だけ窒化クロムＣｒＮ　。

炭素Ｃおよび水素Ｈ２に分解された。このとき水素Ｈ２
は、炭化クロムＣｒ５Ｃｚの分解に並行して排気除去さ
れたので、炭化クロム粉末から本発明にかかる炭化クロ
ム、窒化クロムおよび炭素の複合物粉末が直接に生成さ
れた。

ユｍ較盟互Ｌ アンモニアガス流の温度（すなわち処理温度）が６００
℃とされたことを除き、実施例１６が反復された。

この時の結果は、第４表に変換率が０％と示されている
如く、実施例托とは異なっていた。すなわち炭化クロム
粉末中の炭化クロムＣｒ５Ｃｚは、窒化クロムＣｒＮ　
、炭素Ｃおよび水素Ｈ２に全く分解されなかった。

工夾施皿ＥＬ 純度が９５重量％以上でかつ粒径が１〜１０ｔＬｍであ
る炭化ジルコニウム粉末粒子中の炭化ジルコニウムＺｒ
Ｃを、１０気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気中で、　
１７８０℃の温度に加熱して熱間静水圧プレス処理を５
時間にわたり実行したに れにより炭化ジルコニウム粉末粒子中の炭化ジルコニウ
ムは、第５表に示した如く、部分的にすなわち変換率１
％に相当する量だけ窒化ジルコニウムＺｒＮ　Ｐ、よび
炭素Ｃに分解され、本発明にかかる炭化ジルコニウム、
窒化ジルコニウムおよび炭素の複合物粉末が生成された
。

ユ夾施盟遷１ 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
が１００気圧とされ、そのときの処理温度が１４５０℃
とされ、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実
施例１７が反復された。

この時の結果は、第５表に変換率が５３％と示されてい
る如く、実施例１７と同様であった。すなわち炭化ジル
コニウム粉末粒子中の炭化ジルコニウムは、部分的に窒
化ジルコニウム２ｒＮおよび炭素Ｃに分解され、本発明
にかかる炭化ジルコニウム、窒化ジルコニウムおよび炭
素の複合物粉末が生成された。

ユ叉胤呵卦二刀工 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
が１０００気圧とされ、そのときの処理温度がそれぞれ
７０口”Ｃ，９００℃および１５００℃とされたことを
除き、実施例１８が反復された。

この時の結果は、第５表に変換率がそれぞれ１％、３０
％およぶ８４％と示されている如く、実施例１８とは同
様であった。すなわち炭化ジルコニウム粉末粒子中の炭
化ジルコニウムは、部分的に窒化ジルコニウムＺｒＮお
よび炭素Ｃに分解され、本発明にかかる窒化ジルコニウ
ムおよび炭素の複合物粉末が生成された。

ユ里五土μＬ 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中のの圧力が
２０００気圧とされたことを除き、実施例２１が反復さ
れた。

この時の結果は、第５表に変換率が９０％と示されてい
る如く、実施例２１と実質的に同様であった。すなわち
炭化ジルコニウム粉末粒子中の炭化ジルコニウムは、大
半が窒化ジルコニウムＺｒＮ　ｂよび炭素Ｃに分解され
、本発明にかかる窒化ジルコニウムおよび炭素の複合物
粉末が生成された。

ユ土較皿工り 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
が１気圧とされ、そのときの処理温度が１７００℃とさ
れ、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実施例
１７が反復されたに の時の結果は、第５表に変換率が０％と示されている如
く、実施例１７とは異なっていた。すなわち炭化ジルコ
ニウム粉末粒子中の炭化ジルコニウムは、窒化ジルコニ
ウムＺｒＮおよび炭素Ｃに全く分解されなかった。

ユ此Ｓ」引凱り 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の温度が６
００℃とされたことを除き、実施例１９が反復された。

この時の結果は、第５表に変換率が０％と示されている
如く、実施例１９とは異なっていた。すなわち炭化ジル
コニウム粉末粒子中の炭化ジルコニウムは、窒化ジルコ
ニウムＺｒＮおよび炭素Ｃに全く分解されなかった。

工夫嵐皿ｇ 純度が９５重量％以上でかつ粒径が１〜１０μｍである
炭化ジルコニウム粉末粒子中の炭化ジルコニウムを、１
０２／分の割合で供給されるアンモニアガス流中で、１
０時間だけ８００℃の温度に加熱することにより分解し
た。

これにより炭化ジルコニウム粉末粒子中の炭化ジルコニ
ウムが、第６表に示した如く、部分的にすなわち変換率
５％に相当する量だけ窒化ジルコニウムＺｒＮ　、炭素
Ｃおよび水素Ｈ２に分解された。

このとき水素Ｈ２は、炭化ジルコニウムの分解に並行し
て排気除去されたので、炭化ジルコニウム粉末から本発
明にかかる炭化ジルコニウム、窒化ジルコニウムおよび
炭素の複合物粉末が直接に生成された。

ニル較皿旦エ アンモニアガス流の温度（すなわち処理温度）が７００
℃とされたことを除き、実施例２３が反復された。

この時の結果は、第６表に変換率が０％と示されている
如（、実施例２２とは異な゛っていた。すなわち炭化ジ
ルコニウム粉末中の炭化ジルコニウムは、窒化ジルコニ
ウムＺｒＮ　、炭素Ｃおよび水素Ｈ２に全く分解されな
かった。

工裏施五迄り 純度が９５重量％以上でかつ粒径が１〜１０μｍである
炭化バナジウム粉末粒子中の炭化バナジウムＶＣを、１
０気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気中で、１７８０℃
の温度に加熱して熱間静水圧プレス処理を５時間にわた
り実行した。

これにより炭化バナジウム粉末粒子中の炭化バナジウム
ＶＣは、第７表に示した如く、部分的にすなわち変換率
１％に相当する量だけ窒化バナジウムＶＮおよび炭素Ｃ
に分解され、本発明にかかる炭化バナジウム、窒化バナ
ジウムおよび炭素の複合物粉末が生成された。

工夫鳳■卦り 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
が１００気圧とされ、そのときの処理温度が１４５０℃
され、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実施
例２４が反復された。

この時の結果は、第３表に変換率が１００％と示されて
いる如く、実施例２４とは異なっていた。すなわち炭化
バナジウム粉末粒子中の炭化バナジウムＶＣは、全て窒
化バナジウムＶＮおよび炭素Ｃに分解され、本発明にか
かる窒化バナジウムおよび炭素の複合物粉末が生成され
た。

（−施（り１２６および２７） 熱間静水圧プレス処理の実行さ゛れた雰囲気中の窒素分
圧がともに１０００気圧とされ、そのときの処理温度が
それぞれ５００℃および８００℃とされ、かつ処理時間
がともに２時間とされたことを除き、それぞれ実施例２
４が反復された。

この時の結果は、第７表に変換率がそれぞれ２％および
７０％と示されている如く、実施例２４と同様であった
。すなわち炭化バナジウム粉末粒子中の炭化バナジウム
ＶＣは、部分的に窒化バナジウムＶＮおよび炭素Ｃに分
解され、それぞれ本発明にかかる炭化バナジウム、窒化
バナジウムおよび炭素の複合物粉末が生成された。

工夫施狙訃り 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中のの温度が
１５００℃とされたことを除き、実施例２７が反復され
た。

この時の結果は、第７表に変換率が１００％と示されて
いる如く、実施例２７とは異なっていた。すなわち炭化
バナジウム粉末粒子中の炭化バナジウムＶＣは、全て窒
化バナジウムＶＮおよび炭素Ｃに分解され、本発明にか
かる窒化バナジウムおよび炭素の複合物粉末が生成され
た。

工夾胤拠遷り 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中のの圧力が
２０００気圧とされたことを除き、実施例２８が反復さ
れた。

この時の結果は、第７表に変換率が１００％と示されて
いる如く、実施例２８と同様であった。すなわち炭化バ
ナジウム粉末粒子中の炭化バナジウムＶＣは、全て窒化
バナジウムＶＮおよび炭素Ｃに分解され、本発明にかか
る窒化バナジウムおよび炭素の複合物粉末が生成された
。

工比較五旦り 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
が１気圧とされ、そのときの処理温度が１７００℃とさ
れ、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実施例
２４が反復された。

この時の結果は、第７表に変換率が０％と示されている
如く、実施例２４とは異なっていた。すなわち炭化バナ
ジウム粉末粒子中の炭化バナジウムＶＣは、窒化バナジ
ウムＶＮおよび炭素Ｃに全く分解されなかった。

」此ｌぴ引１Ｌ 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の温度が４
００℃とされたことを除き、実施例２６が反復された。

この時の結果は、第７表に変換率が０％と示されている
如く、実施例２６とは異なっていた。すなわち炭化バナ
ジウム粉末粒子中の炭化バナジウムＶＣは、窒化バナジ
ウムＶＮおよび炭素Ｃに全く分解されなかった。

」逃ｔｉｄｅ引狙り 純度が９５重量％以上でかつ粒径が１〜１０μｍである
炭化バナジウム粉末粒子中の炭化バナジウムＶＣを、１
０Ｉ２／分の割合で供給されるアンモニアガス流中で、
１０時間だけ６００℃の温度に加熱することにより分解
した。

これにより炭化バナジウム粉末粒子中の炭化バナジウム
ＶＣが、第８表に示した如く、部分的にすなわち変換率
１０％に相当する量だけ窒化バナジウムＶＮ、炭素Ｃお
よび水素Ｈ２に分解された。このとき水素Ｈ２は、炭化
バナジウムＶＣの分解に並行して排気除去されたので、
炭化バナジウム粉末から本発明にかかる炭化バナジウム
、窒化バナジウムおよび炭素の複合物粉末が直接に生成
された。

エル校医μＬ アンモニアガス流の温度（すなわち処理温度）が４００
℃とされたことを除き、実施例２９が反復された。

この時の結果は、第８表に変換率が０％と示されている
如く、実施例３０とは異なっていた。すなわち炭化バナ
ジウム粉末中の炭化バナジウムＶＣは、窒化バナジウム
ＶＮ、炭素Ｃおよび水素１１゜に全く分解されなかった
。

ユ災血盟狙上 純度が９５重量％以上でかつ粒径が１１−１ＯＬＬであ
る炭化モリブデン粉末粒子中の炭化モリブデン１１１０
２ｃを、ＩＯ気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気中で、
１７８０℃の温度に加熱して熱間静水圧プレス処理を５
時間にわたり実行した。

これにより炭化モリブデン粉末粒子中の炭化モリブデン
ＭＯ２Ｃは、第９表に示した如く、部分的にすなわち変
換率１％に相当する情だけ窒化モリブデンＭｏＮおよび
炭素Ｃ分解され、本発明にかかる炭化モリブデン、窒化
モリブデンおよび炭素の複合物粉末が生成された。

ここで変換率は、出発原料たる炭化モリブデン粉末粒子
中の炭化モリブデンＭＯ２Ｇが窒化モリブデンＭｏＮお
よび炭素Ｃに分解され、炭化モリブデンＭｏｗ（：と窒
化モリブデンＭｏＮと炭素Ｃとの重量比が（１−ｘｌ　
：ｘ：ｘとなったとき、そのＸをいう（以下同様）。変
換率Ｘは、炭化モリブデン、窒化モリブデンおよび炭素
の複合物粉末中の窒素の量を分析することによって求め
られた。

ユ皇施±ｙ１ 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
が１００気圧とされ、そのときの処理温度が１３００℃
とされ、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実
施例３１が反復された。

この時の結果は、第９表に変換率が１５％と示されてい
る如く、実施例３１と同様であった。すなわち炭化モリ
ブデン粉末粒子中の炭化モリブデンＭＯ２Ｇは、部分的
に窒化モリブデンＭｏＮおよび炭素Ｃに分解され、本発
明にかかる炭化モリブデン。

窒化モリブデンおよび炭素の複合物粉末が生成された。

ユ実Ｆａ　ｉ５１３士二亜り 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
がともに１０００気圧とされ、そのときの処理温度がそ
れぞれ７００℃、　１０００℃および１３００℃とされ
、かつ処理時間がともに２時間とされたことを除き、そ
れぞれ実施例３１が反復された。

この時の結果は、第９表に変換率がそれぞれ２％、３０
％および３０％と示されている如く、実施例３１と同様
であった。すなわち炭化モリブデン粉末粒子中の炭化モ
リブデンｌｌ！０２Ｇは、部分的に窒化モリブデンＭｏ
Ｎおよび炭素Ｃに分解され、それぞれ本発明にかかる炭
化モリブデン、窒化モリブデンおよび炭素の複合物粉末
が生成された。

工夾施拠匪り 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中のの圧力が
２０００気圧とされたことを除き、実施例３５が反復さ
れた。

この時の結果は、第９表に変換率が３５％と示されてい
る如く、実施例３５と同様であった。すなわち炭化モリ
ブデン粉末粒子中の炭化モリブデンＭＯ２Ｃは、部分的
に窒化モリブデンＭｏＮおよび炭素Ｃに分解され、本発
明にかかる炭化モリブデン。

窒化モリブデンおよび炭素の複合物粉末が生成された。

ユ此ｌ硅ＬＬＬ 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
が１気圧とされ、そのときの処理温度が１７００℃とさ
れ、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実施例
３１が反復された。

この時の結果は、第９表に変換率が０％と示されている
如く、実施例３１とは異なっていた。すなわち炭化モリ
ブデン粉末粒子中の炭化モリブデンＭＯ２Ｃは、窒化モ
リブデンＭｏＮおよび炭素Ｃに全く分解されなかった。

エル較且旦り 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の温度が６
００℃とされたことを除き、実施例３３が反復された。

この時の結果は、第９表に変換率が０％と示されている
如く、実施例３３とは異なっていた。すなわち炭化モリ
ブデン粉末粒子中の炭化モリブデンＭＯ２Ｇは、窒化モ
リブデンＭｏＮおよび炭素Ｃに全く分解されなかった。

工夫皿且３７） 純度が９５重量％以上でかつ粒径が１〜ｌＯμｍである
炭化モリブデン粉末粒子中の炭化モリブデン１１１０２
ｃを、１０４２／分の割合で供給されるアンモニアガス
流中で、１０時間だけ８００℃の温度に加熱することに
より分解した。

これにより炭化モリブデン粉末粒子中の炭化モリブデン
ＭＯ２Ｇが、第１０表に示した如く、部分的にすなわち
変換率ｌＯ％に相当する量だけ窒化モリブデンＭｏＮ　
、炭素Ｃおよび水素Ｈ２に分解された。このとき水素Ｈ
２は、炭化モリブデンＭＯ□Ｃの分解に並行して排気除
去されたので、炭化モリブデン粉末から本発明にかかる
炭化モリブデン、窒化モリブデンおよび炭素の複合物粉
末が直接に生成された。

Ａ肚１ｄｌ硯戸 アンモニアガス流の温度（すなわち処理温度）が６００
℃とされたことを除き、実施例３７が反復された。

この時の結果は、第１０表に変換率が０％と示されてい
る如く、実施例３７とは異なっていた。すなわち炭化モ
リブデン粉末中の炭化モリブデンＭＯ２Ｃは、窒化モリ
ブデンＭｏＮ　、炭素Ｃおよび水素Ｈ２に全く分解され
なかった。

利叉施拠逼り 純度が９５重量％以上でかつ粒径が１〜１０μｍである
炭化ニオブ粉末粒子中の炭化ニオブＮｂＣを、ＩＯ気圧
以上の窒素分圧を有する雰囲気中で、１７８０℃の温度
に加熱して熱間静水圧プレス処理を５時間にわたり実行
した。

これにより炭化ニオブ粉末粒子中の炭化ニオブＮｂＣは
、第１１表に示した如く、部分的にすなわち変換率１％
に相当する量だけ窒化ニオブＮｂＮおよび炭素Ｃに分解
され、本発明にかかる炭化ニオブ、窒化ニオブおよび炭
素の複合物粉末が生成された。

１ヌｊｕ建狙と 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
が１００気圧とされ、そのときの処理温度が１４５０℃
され、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実施
例３８が反復された。

この時の結果は、第１１表に変換率が１８％と示されて
いる如く、実施例３８とは異なっていた。すなわち炭化
ニオブ粉末粒子中の炭化ニオブＮｂＣは、全て窒化ニオ
ブＮｂＮおよび炭素Ｃに分解され、本発明にかかる炭化
ニオブ、窒化ニオブおよび炭素の複合物粉末が生成され
た。

」凍１１４士二１ 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
がともに１０００気圧とされ、そのときの処理温度がそ
れぞれ８００℃、　１３００℃および１５００℃とされ
、かつ処理時間がともに２時間とされたことを除き、そ
れぞれ実施例３８が反復された。

この時の結果は、第１１表に変換率がそれぞれ２％、３
７％および３８％と示されている如く、実施例３８と同
様であった。すなわち炭化ニオブ粉末粒子中の炭化ニオ
ブＮｂＣは、部分的に窒化ニオブＮｂＮおよび炭素Ｃに
分解され、それぞれ本発明にかかる炭化ニオブ、窒化ニ
オブおよび炭素の複合物粉末が生成された。

ユ叉施盟刀り 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中のの圧力が
２０００気圧とされたことを除き、実施例４２が反復さ
れた。

この時の結果は、第１１表に変換率が４０％と示されて
いる如く、実施例４２と同様であった。すなわち炭化ニ
オブ粉末粒子中の炭化ニオブＮｂＣは、全て窒化ニオブ
ＮｂＮおよび炭素Ｃに分解され、本発明にかかる窒化ニ
オブおよび炭素の複合物粉末が生成された。

エル栓型」工 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
が１気圧とされ、そのときの処理温度が１７００℃とさ
れ、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実施例
３８が反復された。

この時の結果は、第１１表に変換率が０％と示されてい
る如く、実施例３８とは異なっていた。すなわち炭化ニ
オブ粉末粒子中の炭化ニオブＮｂＣは、窒化ニオブＮｂ
Ｎおよび炭素Ｃに全く分解されなかった。

ユ且ｊ」シュＬ 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の温度が７
００℃とされたことを除き、実施例４０が反復された。

この時の結果は、第１１表に変換率が０％と示されてい
る如く、実施例４０とは異なっていた。すなわち炭化ニ
オブ粉末粒子中の炭化ニオブＮｂＣは、窒化ニオブＮｂ
Ｎおよび炭素Ｃに全く分解されなかった。

工夫血皿旦り 純度が９５重量％以上でかつ粒径が１〜１０ＬＬｍで　
　　□ある炭化ニオブ粉末粒子中の炭化ニオブＮｂＣを
、１０２７分の割合で供給されるアンモニアガス流中で
、１０時間だけ１０００℃の温度に加熱することにより
分解した。

これにより炭化ニオブ粉末粒子中の炭化ニオブＮｂＣが
、第１２表に示した如く、部分的にすなわち変換率１０
％に相当する量だけ窒化ニオブＮｂＮ　、炭素Ｃおよび
水素Ｈ２に分解された。このとき水素Ｈ２ば、炭化ニオ
ブＮｂＣの分解に並行して排気除去されたので、炭化ニ
オブ粉末から本発明にかかる炭化ニオブ、窒化ニオブお
よび炭素の複合物粉末が直接に生成された。

ユ旦ま君牝胆Ｙ アンモニアガス流の温度（すなわち処理温度）が７００
℃とされたことを除き、実施例４４が反復された。

この時の結果は、第１２表に変換率が０％と示されてい
る如く、実施例４４とは異なっていた。すなわち炭化ニ
オブ粉末中の炭化ニオブＮｂＣは、窒化ニオブＮｂＮ　
、炭素Ｃおよび水素Ｈ２に全く分解されなかった。

ユ夫血盟卦り 純度が９５重量％以上でかつ粒径が１〜１０μｍである
炭化珪素粉末粒子中の炭化珪素ＳｉＣを、１０気圧以上
の窒素分圧を有する雰囲気中で、１７８０℃の温度に加
熱して熱間静水圧プレス処理を５時間にわたり実行した
。

これにより炭化珪素粉末粒子中の炭化珪素は、第１３表
に示した如く、部分的にすなわち変換率１％に相当する
量だけ窒化珪素５ｉａＮ４および炭素Ｃに分解され、本
発明にかかる炭化珪素、窒化珪素および炭素の複合物粉
末が生成された。

工夫皇盟卦り 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
が１００気圧とされ、そのときの処理温度が１４５０℃
とされ、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実
施例４５が反復された。

この時の結果は、第１３表に変換率が１０％と示されて
いる如く、実施例４５と同様であった。すなわち炭化珪
素粉末粒子中の炭化珪素は、部分的に窒化珪素５ｉａＮ
４および炭素Ｃに分解され、本発明にかかる炭化珪素、
窒化珪素および炭素の複合物粉末が生成された。

施例４７および４８ 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
が１０００気圧とされ、そのときの処理温度がそれぞれ
１３００℃および１４５０℃とされたことを除き、実施
例４６が反復された。

この時の結果は、第１３表に変換率がそれぞれ２％およ
ぶ５０％と示されている如く、実施例４６とは同様であ
った。すなわち炭化珪素粉末粒子中の炭化珪素は、部分
的に窒化珪素５１３Ｎ４および炭素Ｃに分解され、本発
明にかかる炭化珪素、窒化珪素および炭素の複合物粉末
が生成された。

工亙廐盟徂１ 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中のの処理温
度が１５００℃とされたことを除き、実施例４８が反復
された。

この時の結果は、第１３表に変換率が１００％と示され
ている如く、実施例４８とは異なっていた。すなわち炭
化珪素粉末粒子中の炭化珪素は、全て窒化珪素５ｉ３Ｌ
および炭素Ｃに分解され、本発明にかかる窒化珪素およ
び炭素の複合物粉末が生成された。

ユｙｊＩ引刈り 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中のの圧力が
２０００気圧とされたことを除き、実施例４９が反復さ
れた。

この時の結果は、第１３表に変換率が１００％と示され
ている如く、実施例４９と実質的に同様であった。すな
わち炭化珪素粉末粒子中の炭化珪素は、全て窒化珪素５
ｉＪ４および炭素Ｃに分解され、本発明にかかる窒化珪
素および炭素の複合物粉末が生成された。

」此ｌ旧ユし 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
が１気圧とされ、そのときの処理温度が１７００℃とさ
れ、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実施例
４５が反復された。

この時の結果は、第１３表に変換率が０％と示されてい
る如く、実施例４５とは異なっていた。すなわち炭化珪
素粉末粒子中の炭化珪素は、窒化珪素５Ｌ３Ｎ４および
炭素Ｃに全く分解されなかった。

（比較例２０） 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の温度が１
２００℃とされたことを除き、実施例４７が反復された
。

この時の結果は、第１３表に変換率が０％と示されてい
る如く、実施例４７とは異なっていた。すなわち炭化珪
素粉末粒子中の炭化珪素は、窒化珪素Ｓｉ３Ｎ４および
炭素Ｃに全く分解されなかった。

工夫嵐阿旦り 純度が９５重量％以上でかつ粒径が１〜１０μｍである
炭化珪素粉末粒子中の炭化珪素を、１０Ｉ２／分の割合
で供給されるアンモニアガス流中で、１０時間だけ１４
５０℃の温度に加熱することにより分解した。

これにより炭化珪素粉末粒子中の炭化珪素が、第１４表
に示した如く、部分的にすなわち変換率２５％に相当す
る量だけ窒化珪素５ｘ３ＮＬ　、炭素Ｃおよび水素Ｈ２
に分解された。このとき水素Ｈ２は、炭化珪素の分解に
並行して排気除去されたので、炭化珪素粉末から本発明
にかかる炭化珪素、窒化珪素および炭素の複合物粉末が
直接に生成された。

工比較五ムＬ アンモニアガス流の温度（すなわち処理温度）が１２０
０℃とされたことを除き、実施例５１が反復された。

この時の結果は、第１４表に変換率が０％と示されてい
る如く、実施例５１とは異なっていた。すなわち炭化珪
素粉末中の炭化珪素は、窒化珪素Ｓｉ：ＪＬ　、炭素Ｃ
および水素Ｈ２に全く分解されなかった。

ユ災施±ｙ工 純度が９５重量％以上でかつ粒径が１〜１０ｕｍである
炭化ホウ素粉末粒子中の炭化ホウ素８４Ｃを、ｌＯ気圧
以上の窒素分圧を有する雰囲気中で、１７８０℃の温度
に加熱して熱間静水圧プレス処理を５時間にわたり実行
した。

これにより炭化ホウ素粉末粒子中の炭化ホウ素Ｂ、Ｃは
、第１５表に示した如く、部分的にすなわち変換率１％
に相当する量だけ窒化ホウ素ＢＮおよび炭素Ｃに分解さ
れ、本発明にかかる炭化ホウ素。

窒化ホウ素および炭素の複合物粉末が生成された。

ユ尖狙拠服り 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
が１００気圧とされ、そのときの処理温度が１４５０℃
され、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実施
例５２が反復された。

この時の結果は、第１５表に変換率が３％と示されてい
る如く、実施例５２と同様であった。すなわち炭化ホウ
素粉末粒子中の炭化ホウ素８４Ｇは、部分的に窒化ホウ
素ＢＮおよび炭素Ｃに分解され、本発明にかかる炭化ホ
ウ素、窒化ホウ素および炭素の複合物粉末が生成された
。

Ａユ１」師士二岨と 熱間・静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分
圧がともに１０００気圧とされ、そのときの処理温度が
それぞれ１０００℃，１３００℃および１７００℃とさ
れ、かつ処理時間がともに２時間とされたことを除き、
それぞれ実施例５２が反復された。

この時の結果は、第１５表に変換率がそれぞれ２％、１
０％よび７０％と示されている如く、実施例５２と同様
であった。すなわち炭化ホウ素粉末粒子中の炭化ホウ素
Ｂ、Ｃは、部分的に窒化ホウ素ＢＮおよび炭素Ｃに分解
され、それぞれ本発明にかかる炭化ホウ素１窒化ホウ素
および炭素の複合物粉末が生成された。

ユ夫皇皿ｙＬ 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中のの圧力が
２０００気圧とされ、かそのときの★★湿温度１５００
℃とされたことを除き、実施例５６が反復された。

この時の結果は、第１５表に変換率が４０％と示されて
いる如く、実施例５６と同様であった。すなわち炭化ホ
ウ素粉末粒子中の炭化ホウ素８４Ｃは、部分的に窒化ホ
ウ素ＢＮおよび炭素Ｃに分解され、本発明にかかる炭化
ホウ素、窒化ホウ素および炭素の複合物粉末が生成され
た。

エル校医互り 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
が１気圧とされ、そのときの処理温度が１７００℃とさ
れ、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実施例
５２が反復された。

この時の結果は、第１５表に変換率が０％と示されてい
る如く、実施例５２とは異なっていた。すなわち炭化ホ
ウ素粉末粒子中の炭化ホウ素Ｂ、Ｃは、窒化ホウ素ＢＮ
および炭素Ｃに全く分解されなかった。

ユ此ｊ」し１Ｌ 熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の温度が９
００℃とされたことを除き、実施例５４が反復された。

この時の結果は、第１５表に変換率が０％と示されてい
る如く、実施例５４とは異なっていた。すなわち炭化ホ
ウ素粉末粒子中の炭化ホウ素８４Ｇは、窒化ホウ素ＢＮ
および炭素Ｃに全く分解されなかった。

ユ夾嵐皿且り 純度が９５重量％以上でかつ粒径が１〜１０μｍである
炭化ホウ素粉末粒子中の炭化ホウ素８４Ｃを、１０Ｉ２
／分の割合で供給されるアンモニアガス流中で、１０時
間だけ１２００℃の温度に加熱することにより分解した
。

これにより炭化ホウ素粉末粒子中の炭化ホウ素８４Ｇが
、第１６表に示した如く、部分的にすなわち変換率３％
に相当する量だけ窒化ホウ素ＢＮ、炭素Ｃおよび水素Ｈ
２に分解された。このとき水素Ｈ２は、炭イヒホウ素８
４Ｃの分解に並行して排気除去されたので、炭化ホウ素
粉末から本発明にかかる炭化ホウ素、窒化ホウ素および
炭素の複合物粉末が直接に生成された。

（比較例２４） アンモニアガス流の温度（すなわち処理温度）が９００
℃とされたことを除き、実施例５８が反復された。

この時の結果は、第１６表に変換率が０％と示されてい
る如く、実施例５８とは異なっていた。すなわち炭化ホ
ウ素粉末中の炭化ホウ素８４Ｃは、窒化ホウ素ＢＮ、炭
素Ｃ８よび水素Ｈ２に全く分解されなかった。

なお上述した実施例においては、出発原料たる炭化チタ
ン粉末、炭化クロム粉末、炭化ジルコニウム粉末、炭化
バナジウム粉末、炭化モリブデン粉末、炭化ニオブ粉末
、炭化珪素粉末および炭化ホウ素粉末の純度がともに９
５重量％とされていたが、本発明は、これに限定される
ものではなく、それらの純度が５０重量％以上であれば
支障がないことが判明している。

（３）発明の効果 上述により明らかなように、本発明にかかる第１の複合
物粉末は、 金属炭化物粉末粒子中の金属炭化物を部分的に分解する
ことにより生成された金属窒化物および炭素が、同一の
金属粉末粒子の内部に包有され てなるので、 （１）金属炭化物粉末粒子を金属窒化 物および炭素によって微細に複 白化できる効果 を有し、ひいては （１１）焼結体に添加することにより、その焼結特性を
改善する効果 を有し、加えて （ｉｉｉｌ焼結体などに添加することにより、その機械
的特性（たとえば 破壊靭性値）を改善できる効果 を有する。

また本発明にかかる第１の複合物粉末の製造方法は、 純度が５０重量％以上である金属炭化物粉末粒子中の金
属炭化物を、ｌＯ気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気中
で８００℃以上の温度に加熱して熱間静水圧プレス処理
を行なうことにより、部分的に分解して金属窒化物およ
び炭素を生成する分解工程を包有してなるので、 （ＩＶ）金属炭化物粉末粒子を金属窒化化物および炭素
によって直接に 複合化できる効果 を有し、ひいては （ｖ）同時に大量の金属炭化物粉末を 金属窒化物および炭素によって 廉価かつ安定した状態で複合化 できる効果 を有し、併せて （Ｖｌ）金属炭化物粉末の粒子サイズを予め選択するこ
とにより、金属 炭化物、金属窒化物および炭素 の複合物粉末の粒子サイズを適 宜に調節できる効果 を有し、加えて （ｖｉｉｌ処理温度および処理時間を調節することによ
り、金属炭化物。

金属窒化物および炭素の組成を 調節できる効果 を有する。

また本発明にかかる第１の複合物粉末の伯の製造方法は
、 純度が５０重量％以上である金属炭化物粉末粒子中の金
属を、アンモニアガス流中で８００℃の温度以上に加熱
することにより、部分的に分解して金属窒化物および炭
素を生成する分解工程を包有し てなるので、上述の（１ｖ）〜（ｖｉｉ）の効果を有す
る。

更にまた本発明にかかる第２の複合物粉末は、金属炭化
物粉末粒子中の金属炭化物を完全に分解することにより
生成された金属窒化物および炭素が、同一粉末粒子の内
部に包有され でなるので、 （ｖｉｉｉ）金属窒化物粉末粒子を炭素によって微細に
複合化できる効果 を有し、ひいては （ｉｘ）焼結体に添加することにより、その焼結特性を
改善する効果 を有し、加えて （幻焼粘体などに添加することによ り、その機械的特性（たとえば 破壊靭性値）を改善できる効果 を有する。

加えて本発明にかかる第２の複合物粉末の製造方法は１ 、　　純度が５０重量％以上である金属炭化物粉末粒子
中の金属炭化物を、ｌＯ気圧以上の窒素分圧を有する雰
囲気中で８００℃以上の温度に加熱して熱間静水圧プレ
ス処理を行なうことにより、完全に分解して金属窒化物
および炭素を生成する分解工程を包有し てなるので、 （ｘｉｌ金属窒化物粉末粒子を炭素に よって直接に複合化できる効果 を有し、ひいては （ｘｉｉ）同時に大量の金属窒化物粉末粒子を炭素によ
って廉価かつ安定 した状態に複合化できる効果 を有し、併せて （ｘｉｉｉ）金属炭化物粉末の粒子サイズを予め選択す
ることにより、金属 窒化物および炭素の複合物粉末 の粒子サイズを適宜に調節でき る効果 を有し、加えて ［ｘｉｖ）処理温度および処理時間を調節することによ
り、金属窒化物お よび炭素の組成を調節できる効 果 を有する。

加えてまた本発明にかかる第２の複合物粉末の他の製造
方法は、 純度が５０重量％以上である金属炭化物粉末粒子中の金
属炭化物を、アンモニアガス流中で８００℃の温度以上
に加熱することにより、完全に分解して金属窒化物およ
び炭素を生成する分解工程を包有し でなるので、上述の（ｘｉｌ〜（ｘｉｖ）の効果を有す
る。

代理人　　　　　弁理士　　　工　藤　　隆　夫手　糸
売　ネ由　正　書（自発） 昭和６３年　９す１６日 “二′ 特許庁長官　吉　１）文　穀　殿 １　事件の表示 昭和６３年　特許願　第１２７５２５号２　発明の名称 複合物粉末およびその製造方法 ３、補正をする者 事件との関係　　特許出願人 住　所　　東京都新宿区新宿−丁目２６番２号名　称　
　東芝セラミックス株式会社 代表者　糟　谷　　清　彦 ４、代理人　　　　　〒１６０　　　　電話　０３−３
５６−３０１６住　所　　東京都新宿乾縛ｍｌ見開。３
４号氏　名　（９３１７）　　弁理士　工　藤　　隆　
夫、！、＼、、゛、＋−，２，’ｒ〜′ ５、補正により増加する請求項の数　　　　　　０７　
補正の内容 （１）明細書第１１頁上第５行の「性的特性」を、「機
械的特性」と補正する。

（２）明細書第７６頁上第４行の［かそのときの★★湿
温度を、「そのときの処理温度」と補正する。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）金属炭化物粉末粒子中の金属炭化物を部分的に分
   解することにより生成された金属窒化物および炭素が、
   同一の金属炭化物粉末粒子の内部に包有されてなること
   を特徴とする複合物粉末。
2. （２）純度が５０重量％以上である金属炭化物粉末粒子
   中の金属炭化物を、１０気圧以上の窒素分圧を有する雰
   囲気中で８００℃以上の温度に加熱して熱間静水圧プレ
   ス処理を行なうことにより、部分的に分解して金属窒化
   物および炭素を生成する分解工程を包有してなることを
   特徴とする複合物粉末の製造方法。
3. （３）純度が５０重量％以上である金属炭化物粉末粒子
   中の金属炭化物を、アンモニアガス流中で８００℃の温
   度以上に加熱することにより、部分的に分解して金属窒
   化物および炭素を生成する分解工程を包有してなること
   を特徴とする複合物粉末の製造方法。
4. （４）金属炭化物粉末粒子中の金属炭化物を完全に分解
   することにより生成された金属窒化物および炭素が、同
   一粉末粒子の内部に包有されてなることを特徴とする複
   合物粉末。
5. （５）純度が５０重量％以上である金属炭化物粉末粒子
   中の金属炭化物を１０気圧以上の窒素分圧を有する雰囲
   気中で８００℃以上の温度に加熱して熱間静水圧プレス
   処理を行なうことにより、完全に分解して金属窒化物お
   よび炭素を生成する分解工程を包有してなることを特徴
   とする複合物粉末の製造方法。
6. （６）純度が５０重量％以上である金属炭化物粉末粒子
   中の金属炭化物を、アンモニアガス流中で８００℃の温
   度以上に加熱することにより、完全に分解して金属窒化
   物および炭素を生成する分解工程を包有してなることを
   特徴とする複合物粉末の製造方法。