JPH01294879A - エッチング廃液の再生処理法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、めっき工場や印刷配Ｐｉ１基板製造工場から
排出される銅成分を多石に含んだＩｉ酸と過酸化水素を
主成分とするエツチング廃液を除銅処理し、再利用する
ための再生処理法に関する。

従来の技術 従来は、エツチング廃液を０〜５℃に冷７ＪＪ　Ｌ、銅
分を１ｉｄ（酸銅として結晶化させて除去し、再使用す
る方法がとられていた。しかし、冷加を行うために、処
理の作業性が悪く処理コストら高いという問題があった
。

発明が解決しようとする課題 本発明は、エツチング廃液の処理方法にＪ３いて、従来
より安価でかつ処理作業性に優れた方法・ε−生みだザ
ことを目的とする。

課題を解決するための手段 本発明は硫酸と過酸化水素を特徴とする特許ヂンダ液の
使用済廃液を用い、このエツチング廃液にチオシアン酸
を添加して反応をおこし、廃液中に含有する銅成分をチ
オシアン酸銅の沈澱物として除去し、この後分解して不
足状態にある過酸化水素を補充し、エツチング処理液と
して再使用するエツチング廃液の再生処理法を捏供する
。

本発明は、））　Ｉ−１＝　１以下の強酸エツチング廃
液の除銅手段としてチオシアン酸を添加することにより
、銅成分が５０００　ｐｐＩ１以上含有する廃液を５〜
３００　ｐｐｎにすることが可能であり、この処理液に
不足する過酸化水素を補充することにより、エツチング
処理液として再利用が可能であることがわかった。

エツチング廃液の銅′ｆ、度は、通常１０００〜１００
００（ＩＤ１１の範囲で変化するので、チオシアンの添
加量を廃液１ｆ！当り０．０５〜０．５モルの範囲で行
うことがよい。しかし実験結果ではチオシアン酸を０．
２モルの一定ωを添加した場合でも、処理液の濃度は３
０〜２５０　ｐａｌｌの範囲に入ることがわかった。

過酸化水素の補充量は、エツチング廃液の使用された条
件によって異なってくるが、通常の、使用状態では、使
用する曲の約半分の吊が分解するので、新規使用前エツ
チング液の過酸化水素量の半分量を処理液に追加補充す
れば十分である。

エツチング廃液に添加Ｌ７たブーオシアン酸は、僅かに
処理液中に溶解するが、再使用に支障がなく、複数回再
生処理を繰り返すことにより、一定の濃度＜０．７ｇ／
ｌ）になり実用上全く問題がない。

チオシアンＩｌｌの沈澱物をカゴ型フィルター付遠心分
離機、フィルタープレス又は回転ドラム脱水機を用い分
離すればよい。またチオシアン酸銅沈澱物の凝集状態を
良くするためにｏ、０５〜０．１ｙ／Ａのポリアミド系
の凝集剤を添加することは有効である。この凝集剤が微
量含まれていても支障をぎたすことはなく、凝集剤の添
加は最初の１回目の再生処理の際に用いるだけで十分で
ある。

処理液及び処理前液に過酸化水素の分解を制御する尿素
、アセトアニリド、リン酸塩、及び第２スズ塩酸等の安
定剤を微量添加することにより、エツチング液のエツチ
ング能力が高く維持され、貯槽内に長期間保管されても
過酸化水素の分解が少なくなりエツチング能力が安定化
する。

再生処理時に過酸化水素を補充するための、硫酸の濃度
が低下するので、硫酸も補充する必要がある。通常、エ
ツチング廃液１１に対し９８％硫酸を４０〜４５ｇ補充
すればよい。

実施例 本発明の具体的な実施例を説明する。

実施例１ ｔ−１ｚＯｚ５〜６％、硫酸１２％、５１ｉ１濃度１２
００〜９４００　ｐｏｉのエッチング廃液ＩＪ２に対し
て、チオシアン酸を適量添加し３０分間撹拌反応せしめ
、生成した褐色チオシアン酸銅の沈澱物を濾過分離した
処理液の８濃度を表１に示す。

以下余白。

表−１チオシアン酸処理した処理液の銅濃度表１から、
エツチング廃液１Ｊ２に対して、０．０５〜Ｏ１５モル
の範囲のチオシアン酸を添加することにより、廃液の銅
濃度が１２００−９４００　ｐｐｎの範囲で変化しても
、処理液の８濃度は５〜３００　ｐｐｎの範囲に入るこ
とがわかる。

また、チオシアン酸の添加量を一定ｆｆ１ｌ０，２モル
）添加した場合、エツチング廃液の銅濃度が変化しても
、処理液の銅濃度は２６〜２４５　ｐＨＩｎの馳囲に入
ることがわかる。チオシアン酸の添加量を０．７５モル
にすると、処理液の銅濃度は４．１〜８０１１１１１１
と小さくなるが処理コストが高くなり、添加量としては
０．２モル前後が適正である。　処理液の８濃度が５〜
３００　ｐｐｎに調整された水準番号２〜５．８〜１１
．１４〜１７及び２ｏ〜２３のものに３５％過酸化水素
１７０ｇ、９８％硫酸４０ｇを補充添加することにより
、エツチング能力が回復し、新規エツチング液のエツチ
ング能力と同等であることを！［できた。

実施例２ ＮｚＯｚ　　　７％、１１２３０４　　１１％及びＳｌ
；ｌ濃度１８００ｐｐｎのエツチング廃液を６尻の貯槽
に受け、２ゴ容吊の反応槽に２ｒｄのエツチング廃液を
移し、攪拌しなからチオシアンｆ４Ｍ２３．６Ｎｙ（４
００モル）を添加し、更に１時間攪拌を続行し、ポリア
ミド系凝集剤５０ｇを添加し、褐色のチオシアン酸銅を
凝集させ、３ｄ容Ｑの濃縮槽に移し、沈澱物と上澄み液
を分離し、３ボ容量の混合槽に処理液を移す。（沈澱物
はカゴ型遠心分離機で分離する。） 混合槽中に３５％過酸化水素を３４０　Ｋｇ、９８％の
硫酸を８０Ｋｙ補充添加し混合する。さらにアセトアミ
ドを５０ｇ添加し、６ゴ容Ｑの処理液タンクに移す。

このようにして再生処理したエツチング液の能力は、新
ＦＡ整エッヂング液と同等で、８回の再生処理作業を繰
り返しても所定のエツチング能力を持っていることを確
認した。

発明の効果 本発明のエツチング廃液の処理法は、以上に述べた如き
工程を経て行われるもので、簡単な操作で再生ができ、
新調整のエツチング液と同等の能力を有し、複数回の再
生処理を繰り返して行うことができる処理法である。

特許出願人　日立コンデンサ株式会社

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）硫酸と過酸化水素を主成分とするエッチング廃液
   を用い、このエッチング廃液にチオシアン酸を添加して
   反応をおこし、このエッチング廃液中に含有する銅成分
   をチオシアン酸銅の沈澱物として除去し、その後過酸化
   水素を補充し、エッチング処理液として再使用すること
   を特徴とするエッチング廃液の再生処理法。
2. （２）請求項１記載において、チオシアン酸の添加量を
   エッチング廃液の銅濃度に対応して変化させ、反応後の
   銅濃度を５〜３００ｐｐｍの範囲に調整することを特徴
   とするエッチング廃液の再生処理法。
3. （３）請求項１項又は２項記載において、エッチング廃
   液１ｌに対しチオシアン酸を０．０５〜０．５モル添加
   することを特徴とするエッチング廃液の再生処理法。