JPH01304742A - プローブカード - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はプローブカードに関し特に触針の固定構造に関
する。

〔従来の技術〕

従来、プローブカードの触針は、第４図に示すように、
その先端を中央に向けて放射状に基板に取付けられてい
た。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のプローブカードは、触針が周囲より内側
に延びてきているので、多数チップを同時に測定するプ
ローブカードを作成する場合、同時測定数に物理的に制
限が大きい欠点がある。

又、同時測定数が多くなると加工も難しくなり可工費も
かかる様になるという欠点がある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のプローブカードは、複数の触針がその先端を外
方に向けて放射状に基板に取付けられているというもの
である。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。

第１図は本発明の第１の実施例の断面図、第２図は触針
固定部の平面図である。

この実施例は、１４本の触針１−１〜１−１４がその先
端を外方に向けて放射状に基板３に取付けられていると
いうものである。

触針固定部２は触針１−１〜１−１４の根元を束ねて固
定する絶縁物であり、合成樹脂やガラスで構成され、同
じく絶縁性の基板３に取付けられている。端子４は金属
棒にフランジのついたもので、触針と同じ数だけ基板の
周辺部に取付けられている。触針と端子とはボンディン
グワイヤのような接続線５で接続されている。各触針の
長さ（触針固定部２の下方が突出している部分の長さ〉
は同じ寸法になっている。

触針がその根元を束ねられて放射状に取付けられている
ので、長さを均一にすることができ、安定なプローブテ
ストが可能となる。触針の長さが異なっていると゛、針
先の圧力差又はウェーハに針先が当ってからの滑り量の
差により、針先の摩耗度に差ができるので多数回使用す
ると測定が不安定となるが、長さが同じだと、全て同様
に摩耗するので測定の確実性が増す。

第３図は第２の実施例を示す平面図である。

この実施例は、基板３に２つの触針固定部２−１．２−
２を取付けたもので、２個同時測定用プローブカードで
ある。基板３として面積の大きいものを使用すれば、触
針固定部２−１．２−２の間隔は１チップ以上離すこと
もできる。更には３個以上設けることもできる。ウェー
ハとチップの大きさとのかね合いて個数を定めることが
できる。

従来のように、触針の先端が中央に向けて放射状に並ん
でいるものだと、隣接するチップを同時測定（マルチサ
イトブロービング）するプローブカードの製作は容易で
はないが、この実施例から分るように、本発明ではそれ
ほど困難ではない。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、触針の先端を外方に向け
て放状状に基板に取付けることにより、触針の長さを均
一にでき多数回の使用に耐えるプローブカードを実現で
きる効果がある。又、マルチサイトプロービング用のプ
ローブカードも比較的容易に実現できる効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例の縦断面図、第２図は触
針固定部２の平面図、第３図は第２の実施例の縦断面図
、第４図は従来のプローブカードの縦断面図である。 １．１−１〜１−１４・・・触針、２．２−１゜２−２
・・・触針固定部、３・・・基板、４・・・端子、５・
・・接続線。 Ｓ接１−１祿 第Ｚ固 隼４０

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　複数の触針がその先端を外方に向けて放射状に基板に
   取付けられていることを特徴とするプローブカード。