JPH01320269A - 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム焼結体の製造方法Info
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- JPH01320269A JPH01320269A JP63150024A JP15002488A JPH01320269A JP H01320269 A JPH01320269 A JP H01320269A JP 63150024 A JP63150024 A JP 63150024A JP 15002488 A JP15002488 A JP 15002488A JP H01320269 A JPH01320269 A JP H01320269A
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- JP
- Japan
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- firing
- temperature
- container
- aluminum nitride
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- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/581—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on aluminium nitride
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
高熱伝導性ＡＩＮ焼結体の製造方法に関し、酸素不純物
の除去をほぼ完全に行なって高熱伝導率のＡβＮ焼結体
を得ることを目的として、ＩＮと焼結助剤からなる被焼
成成形体を加圧状態、減圧状態そして超高圧状態の順序
で焼成するように構成する。
の除去をほぼ完全に行なって高熱伝導率のＡβＮ焼結体
を得ることを目的として、ＩＮと焼結助剤からなる被焼
成成形体を加圧状態、減圧状態そして超高圧状態の順序
で焼成するように構成する。
本発明は、窒化アルミニウム焼結体の製造方法、特に高
純度なアルミナを出発原料とし、還元窒化法により得ら
れた窒化アルミニウム原料粉末から製造された、緻密で
透光性に優れ、熱伝導率の高い窒化アルミニウム焼結体
の製造方法に関する。
純度なアルミナを出発原料とし、還元窒化法により得ら
れた窒化アルミニウム原料粉末から製造された、緻密で
透光性に優れ、熱伝導率の高い窒化アルミニウム焼結体
の製造方法に関する。
ＩＣ，ＬＳＩ などの素子を高密度に実装するためには
、熱伝導性の優れた回路基板を必要とする。このような
基板材料としては、毒性のため使用範囲が限定されてい
るＢｅＯがあるが、多くはアルミナが用いられている。
、熱伝導性の優れた回路基板を必要とする。このような
基板材料としては、毒性のため使用範囲が限定されてい
るＢｅＯがあるが、多くはアルミナが用いられている。
そこで、ＢｅＯやアルミナに代わる基板材料として、熱
伝導率が高く、アルミナ並の強度を有する窒化アルミニ
ウムが使用されるようになってきている。
伝導率が高く、アルミナ並の強度を有する窒化アルミニ
ウムが使用されるようになってきている。
窒化アルミニウムは難焼結性で、単味では焼結しにくく
、このためにトンネル炉を使用する通常の常圧焼結法に
おいては焼結助剤を添加することが多い。また、焼結助
剤を用いずに焼結する方法としてはホットプレス法があ
るが、量産性に劣ることや複雑な形状のものが製造しに
くいなどの欠点を持つ。まして、内部に三次元の配線を
有する回路基板の焼結は不可能である。上記の焼結助剤
としては、ＹやＣａの化合物が有効であることが知られ
ている（特開昭５９−２０７８１４号公報、特開昭６０
−６０９１０号公報、特開昭６０−７１５７５号公報等
参照）。
、このためにトンネル炉を使用する通常の常圧焼結法に
おいては焼結助剤を添加することが多い。また、焼結助
剤を用いずに焼結する方法としてはホットプレス法があ
るが、量産性に劣ることや複雑な形状のものが製造しに
くいなどの欠点を持つ。まして、内部に三次元の配線を
有する回路基板の焼結は不可能である。上記の焼結助剤
としては、ＹやＣａの化合物が有効であることが知られ
ている（特開昭５９−２０７８１４号公報、特開昭６０
−６０９１０号公報、特開昭６０−７１５７５号公報等
参照）。
上記の焼結助剤を用い、トンネル炉を使用する通常の常
圧焼結法によって得られる焼結体の熱伝導率は、１４０
〜１８０Ｗ／ｍＫと理論値３２０Ｗ／ｍＫの１／２程度
にとどまっている。
圧焼結法によって得られる焼結体の熱伝導率は、１４０
〜１８０Ｗ／ｍＫと理論値３２０Ｗ／ｍＫの１／２程度
にとどまっている。
これは、ＩＮの熱伝導率を低下させる最大の要因である
酸素不純物の除去が不完全なためである。特殊な雰囲気
（Ｈ２を含むＮ、、ＣＯガス中等の還元性雰囲気）のも
とて焼成される場合には２００Ｗ／ｍにを超すこともあ
る。
酸素不純物の除去が不完全なためである。特殊な雰囲気
（Ｈ２を含むＮ、、ＣＯガス中等の還元性雰囲気）のも
とて焼成される場合には２００Ｗ／ｍにを超すこともあ
る。
そこで、本発明は、酸素不純物の除去をほぼ完全に行う
ことによって、熱伝導率の高いＡｆｌＮ焼結体を得るた
めの製造方法を提供することを目的とする。
ことによって、熱伝導率の高いＡｆｌＮ焼結体を得るた
めの製造方法を提供することを目的とする。
本発明は、上記目的を達成するために、焼結助剤を含む
窒化アルミニウム粉末成形体を焼成する方法において、
加圧状態、次いで減圧状態さらに超高圧状態の順序で焼
成し、 上記加圧状態での焼成は被焼成品を入れた密閉容器中に
焼結助剤及び窒化アルミニウムの揮散を防止する物質を
被焼成品と非接触状態で配置し、該密閉容器中への実質
的な昇温前の窒素ガスの封入と昇温熱膨張とによって該
容器内の圧力を調整し、そして１７００〜２１００℃の
温度及び１〜ｌ〇−気圧の圧力下で行ない、 上記減圧状態での焼成は、被焼成品を入れた密閉容器中
に窒化アルミニウム又はアルミニウムを被焼成品と非接
触状態で配置し、該密閉容器中への実質的な昇温前の窒
素ガスの封入と昇温熱膨張とによって該容器内の圧力を
調整し、そして１７００〜２０００℃の温度及び０．１
〜０．９気圧の圧力下で行ない、 上記超高圧状態での焼成は、被焼成品を入れた密閉容器
中に窒化アルミニウム又はアルミニウムを被焼成品と非
接触状態で配置し、該密閉容器中への実質的な昇温前の
窒素ガスの封入と昇温熱膨張とによって該容器内の圧力
を調整し、そして１８００〜２０００℃の温度及び５０
〜１０００気圧の圧力下で行なうことを特徴とする窒化
アルミニウム焼結体の製造方法を提供する。
窒化アルミニウム粉末成形体を焼成する方法において、
加圧状態、次いで減圧状態さらに超高圧状態の順序で焼
成し、 上記加圧状態での焼成は被焼成品を入れた密閉容器中に
焼結助剤及び窒化アルミニウムの揮散を防止する物質を
被焼成品と非接触状態で配置し、該密閉容器中への実質
的な昇温前の窒素ガスの封入と昇温熱膨張とによって該
容器内の圧力を調整し、そして１７００〜２１００℃の
温度及び１〜ｌ〇−気圧の圧力下で行ない、 上記減圧状態での焼成は、被焼成品を入れた密閉容器中
に窒化アルミニウム又はアルミニウムを被焼成品と非接
触状態で配置し、該密閉容器中への実質的な昇温前の窒
素ガスの封入と昇温熱膨張とによって該容器内の圧力を
調整し、そして１７００〜２０００℃の温度及び０．１
〜０．９気圧の圧力下で行ない、 上記超高圧状態での焼成は、被焼成品を入れた密閉容器
中に窒化アルミニウム又はアルミニウムを被焼成品と非
接触状態で配置し、該密閉容器中への実質的な昇温前の
窒素ガスの封入と昇温熱膨張とによって該容器内の圧力
を調整し、そして１８００〜２０００℃の温度及び５０
〜１０００気圧の圧力下で行なうことを特徴とする窒化
アルミニウム焼結体の製造方法を提供する。
本発明の方法では、（イ）加圧状態での焼成により、焼
結助剤と原料粉末に含まれる不純物によって形成される
液相の分解を抑えてＡＩＮの焼結を促進し、これを第一
段階の焼成とし、続いて、（ロ）減圧状態での焼成によ
り、液相の蒸発を素早く完了させる。これを第二段階の
焼成とする。
結助剤と原料粉末に含まれる不純物によって形成される
液相の分解を抑えてＡＩＮの焼結を促進し、これを第一
段階の焼成とし、続いて、（ロ）減圧状態での焼成によ
り、液相の蒸発を素早く完了させる。これを第二段階の
焼成とする。
引続き、（ハ）超高圧状態での焼成を行い、粒成長と空
隙の消滅によって緻密化させ、これを第三段階の焼成と
する。（イ）、（ロ）、（ハ）の順で焼成することによ
って、粒界相の不純物を除去し、緻密で透光性に優れ、
熱伝導率の高いＩＮ焼結体が得られる。
隙の消滅によって緻密化させ、これを第三段階の焼成と
する。（イ）、（ロ）、（ハ）の順で焼成することによ
って、粒界相の不純物を除去し、緻密で透光性に優れ、
熱伝導率の高いＩＮ焼結体が得られる。
第１段の加圧状態の焼成では、ＡＩＮと焼結助剤の揮散
を防止する物質を配置する。このような物質としてはＡ
ＩＮと焼結助剤と同一組成からなる粉末が好ましい。こ
の粉末は被焼成品と接触しないように配置する。これは
ＡＩＮと焼結助剤の成分の蒸気圧を高めてこれらの分野
蒸発を防止するためである。焼成圧力は１〜１０気圧、
好ましくは２〜４気圧である。１気圧未満では液相が蒸
発し易く、また１０気圧以上では残留量が多過ぎてしま
う。第１〜３段の焼成のすべてに共通であるが、焼成圧
力の調整は昇温前に密閉容器中にＮ２ガスを適当量封入
し、昇温時の熱膨張によって所定の圧力に到達するよう
にする。昇温の途中や昇温後にＮ２ガスを封入すること
は、それ以前に容器内の雰囲気が不所望な状態にあって
ＡＩＮや焼結助剤あるいは液相の不所望な分解、揮散の
原因となるからである。焼成温度は１７００〜２１００
℃、好ましくは１８００〜１９５０℃である。１７００
℃未満では焼結が十分に進行せず、また２１００℃超で
はＡＩＮの分解を防げない。
を防止する物質を配置する。このような物質としてはＡ
ＩＮと焼結助剤と同一組成からなる粉末が好ましい。こ
の粉末は被焼成品と接触しないように配置する。これは
ＡＩＮと焼結助剤の成分の蒸気圧を高めてこれらの分野
蒸発を防止するためである。焼成圧力は１〜１０気圧、
好ましくは２〜４気圧である。１気圧未満では液相が蒸
発し易く、また１０気圧以上では残留量が多過ぎてしま
う。第１〜３段の焼成のすべてに共通であるが、焼成圧
力の調整は昇温前に密閉容器中にＮ２ガスを適当量封入
し、昇温時の熱膨張によって所定の圧力に到達するよう
にする。昇温の途中や昇温後にＮ２ガスを封入すること
は、それ以前に容器内の雰囲気が不所望な状態にあって
ＡＩＮや焼結助剤あるいは液相の不所望な分解、揮散の
原因となるからである。焼成温度は１７００〜２１００
℃、好ましくは１８００〜１９５０℃である。１７００
℃未満では焼結が十分に進行せず、また２１００℃超で
はＡＩＮの分解を防げない。
焼結助剤としてはカルシウムやイツトリウムの化合物な
どを用いることができる。好ましくは、ＡｎＮ１００重
量部に対してカルシウム化合物、例えば、Ｃａｎ 、Ｃ
ａＣ０，、、Ｃａ（ＮＯ，）、 、 ＣａＴｉ０． 、
Ｃａ３（ＰＯ，）、 。
どを用いることができる。好ましくは、ＡｎＮ１００重
量部に対してカルシウム化合物、例えば、Ｃａｎ 、Ｃ
ａＣ０，、、Ｃａ（ＮＯ，）、 、 ＣａＴｉ０． 、
Ｃａ３（ＰＯ，）、 。
ハロゲン化カルシウムを０．５〜１０重量部、好ましく
は１〜４重量部添加する。
は１〜４重量部添加する。
なお、Ａｊ２Ｎ粉末成形体の製造は常法によることがで
きる。すなわち、適当な有機バインダーや溶剤とＡβＮ
粉末、焼結助剤を混練後、成形する。
きる。すなわち、適当な有機バインダーや溶剤とＡβＮ
粉末、焼結助剤を混練後、成形する。
成形後、有機バインダーや溶剤などの有機成分は熱処理
して除去する。
して除去する。
第２段の減圧状態の焼成では容器内にＡＩＮ又はＡｊｌ
！を配置する。この段階では焼結助剤によって生成しだ
液相を蒸発させて除去することを目的としているのでＡ
ＩＮの分解蒸発を防止するＡＩＮ又はＡβだけを配置す
るのである。焼成圧力は０．１〜０．９気圧、好ましく
は０．２〜０．６気圧である。０．９気圧を超えると液
相蒸発の効果が小さく、また０、１気圧より低い圧力で
はＩＮの分解、蒸発のおそれが増大する。焼成温度１７
００〜２０００℃、好ましくは１７００〜１９００℃で
ある。１７００℃未満では蒸発成分の除去ができず、２
０００℃を越えるとＡＩＮが分解してしまう。
！を配置する。この段階では焼結助剤によって生成しだ
液相を蒸発させて除去することを目的としているのでＡ
ＩＮの分解蒸発を防止するＡＩＮ又はＡβだけを配置す
るのである。焼成圧力は０．１〜０．９気圧、好ましく
は０．２〜０．６気圧である。０．９気圧を超えると液
相蒸発の効果が小さく、また０、１気圧より低い圧力で
はＩＮの分解、蒸発のおそれが増大する。焼成温度１７
００〜２０００℃、好ましくは１７００〜１９００℃で
ある。１７００℃未満では蒸発成分の除去ができず、２
０００℃を越えるとＡＩＮが分解してしまう。
第３の超高圧状態の焼成でも容器内にはＡＩＮ又はＡβ
を配置する。ＩＮの分解、蒸発を防止するためである。
を配置する。ＩＮの分解、蒸発を防止するためである。
焼成圧力は５０〜１０００気圧、好ましくは１００〜５
００気圧とする。５０気圧未満ではＡＩＮの緻密化に効
果が少なく、一方１０００気圧を越えると不純物の拡散
が促進され、透光性が劣化する。温度は１８００〜２０
００℃、好ましくは１８００〜１９００℃である。１８
００℃未満では粒成長やち密化の効果がなく、２０００
℃超では粒界の不純物が粒内に固溶する。
００気圧とする。５０気圧未満ではＡＩＮの緻密化に効
果が少なく、一方１０００気圧を越えると不純物の拡散
が促進され、透光性が劣化する。温度は１８００〜２０
００℃、好ましくは１８００〜１９００℃である。１８
００℃未満では粒成長やち密化の効果がなく、２０００
℃超では粒界の不純物が粒内に固溶する。
ＡβＮ粉末（徳山ソーダ製）１００重量部に対して、焼
結助剤ＣａＣ０３（日本石灰工業新製）３重量部を秤量
する。この粉末４００ ｇを樹脂ポットを用い、エタノ
ール２６０ｇとともに、綱球に樹脂をコーティングした
ボールで５０時間ミリングした。続いて、有機バインダ
ーとしてＰＶＢ （ポリビニルブチラール）２５ｇと可
塑剤ＤＢＰ （ジブチルフタレート）３５ｇを添加し、
さらに５０時間ミリングした。このようにして得られた
スラリーを真空脱泡によって、粘度の調整と泡抜きをし
、ドクターブレード法でグリーンシートとした。ドクタ
ーブレードのギャップは４００−、キャリアーフィルム
の送り速度は２．２ｍ／分とした。
結助剤ＣａＣ０３（日本石灰工業新製）３重量部を秤量
する。この粉末４００ ｇを樹脂ポットを用い、エタノ
ール２６０ｇとともに、綱球に樹脂をコーティングした
ボールで５０時間ミリングした。続いて、有機バインダ
ーとしてＰＶＢ （ポリビニルブチラール）２５ｇと可
塑剤ＤＢＰ （ジブチルフタレート）３５ｇを添加し、
さらに５０時間ミリングした。このようにして得られた
スラリーを真空脱泡によって、粘度の調整と泡抜きをし
、ドクターブレード法でグリーンシートとした。ドクタ
ーブレードのギャップは４００−、キャリアーフィルム
の送り速度は２．２ｍ／分とした。
得られたグリーンシートは、厚さが２５０−で、これを
１０枚重ね、積層圧４５ＭＰａで積層体とした。
１０枚重ね、積層圧４５ＭＰａで積層体とした。
積層体を湿潤窒素雲囲気中、６００℃、１０時間保持で
焼成し、バインダーや可塑剤などの有機成分を除去した
。
焼成し、バインダーや可塑剤などの有機成分を除去した
。
有機成分を除去した積層体を、第１図に示すように容器
内にセットした。図中の１はグラファイト製の容器であ
り、２．３はＢＮ製のスペーサーとセッターである。４
は有機成分を除去した積層体と同組成の粉末であり、第
二、第三段階の焼成ではＡＡＮ粉末だけとする。充填度
は２０〜４０％程度である。５は積層体である。
内にセットした。図中の１はグラファイト製の容器であ
り、２．３はＢＮ製のスペーサーとセッターである。４
は有機成分を除去した積層体と同組成の粉末であり、第
二、第三段階の焼成ではＡＡＮ粉末だけとする。充填度
は２０〜４０％程度である。５は積層体である。
このようにセットした試料をバッチ炉で焼成した。最高
温度を１９００℃、 １９００℃の保持時間を３時間、
１９００℃までの昇温時間を２時間とした。炉内の雰囲
気は、室温で充分にガス置換し、１，５気圧のＮ２ガス
を封入した。この時、１９００℃での炉内圧力は３気圧
となった。以上を第一段階の焼成とした。
温度を１９００℃、 １９００℃の保持時間を３時間、
１９００℃までの昇温時間を２時間とした。炉内の雰囲
気は、室温で充分にガス置換し、１，５気圧のＮ２ガス
を封入した。この時、１９００℃での炉内圧力は３気圧
となった。以上を第一段階の焼成とした。
一旦室温まで冷却し、第１図の３の粉末をＩＮ粉末に変
える。そして炉内におさめ、再び充分にガス置換番し、
炉内に０．１気圧のＮ２ガスを封入し、１８００℃まで
昇温した。この時の昇温時間は２時間、１８００℃の保
持は３時間とした。１８００℃での炉内圧力は、０．３
気圧であった。以上を第二段階の焼成とした。
える。そして炉内におさめ、再び充分にガス置換番し、
炉内に０．１気圧のＮ２ガスを封入し、１８００℃まで
昇温した。この時の昇温時間は２時間、１８００℃の保
持は３時間とした。１８００℃での炉内圧力は、０．３
気圧であった。以上を第二段階の焼成とした。
次に、高圧状態での焼成を行った。これはＨＩＰ処理と
呼ばれるものである。充分にガス置換を行った後、炉内
に５０気圧のＮ２ガスを封入し、１８５０℃まで２時間
で昇温した。１８５０℃での保持時間を６時間とし、こ
の時の炉内の圧力は２００気圧であった。これを第三段
階の焼成とする。
呼ばれるものである。充分にガス置換を行った後、炉内
に５０気圧のＮ２ガスを封入し、１８５０℃まで２時間
で昇温した。１８５０℃での保持時間を６時間とし、こ
の時の炉内の圧力は２００気圧であった。これを第三段
階の焼成とする。
室温まで冷却した後、密度と熱伝導率の測定を行った。
結果を下表に示す。
表−１
比較のために、上記の（イ）加圧、（ロ）減圧、及び（
ハ）超高圧の状態での焼成を単独で、又は２つの組合せ
で行なった。これらの場合に得られたＡＪ２Ｎ焼結体の
密度と熱伝導率を下記表に示す。
ハ）超高圧の状態での焼成を単独で、又は２つの組合せ
で行なった。これらの場合に得られたＡＪ２Ｎ焼結体の
密度と熱伝導率を下記表に示す。
表−２
表−３
］ヲ
表−１と表−２、表−３との比較より、本発明の効果は
明らかである。
明らかである。
以上説明したように、本発明によれば緻密で透光性が優
れ、かつ熱伝導率の高いｌｌｔ焼結体を得ることが可能
となる。
れ、かつ熱伝導率の高いｌｌｔ焼結体を得ることが可能
となる。
第１図は本発明の方法における焼成の様子を示す断面図
である。 ｌ・・・グラファイト容器、 ２・・・ＢＮ （ボロンナイトライド）スペーサー、３
・・・ＢＮ（ボロンナイトライド）セッター、４・・・
ＡＩＮ粉末、もしくは積層体と同組成の粉末、５・・・
積層体。
である。 ｌ・・・グラファイト容器、 ２・・・ＢＮ （ボロンナイトライド）スペーサー、３
・・・ＢＮ（ボロンナイトライド）セッター、４・・・
ＡＩＮ粉末、もしくは積層体と同組成の粉末、５・・・
積層体。
Claims (1)
- １．焼結助剤を含む窒化アルミニウム粉末成形体を焼成
するに当り、加圧状態、次いで減圧状態さらに超高圧状
態の順で焼成し、 上記加圧状態での焼成は、被焼成品を入れた密閉容器中
に焼結助剤及び窒化アルミニウムの揮散を防止する物質
を被焼成品と非接触状態で配置し、該密閉容器中への実
質的な昇温前の窒素ガスの封入と昇温熱膨張とによって
該容器内の圧力を調整し、そして１７００〜２１００℃
の温度及び１〜１０気圧の圧力下で行ない、 上記減圧状態での焼成は、被焼成品を入れた密閉容器中
に窒化アルミニウム又はアルミニウムを被焼成品と非接
触状態で配置し、該密閉容器中への実質的な昇温前の窒
素ガスの封入と昇温熱膨張とによって該容器内の圧力を
調整し、そして１７００〜２０００℃の温度及び０．１
〜０．９気圧の圧力下で行ない、 上記超高圧状態での焼成は、被焼成品を入れた密閉容器
中に窒化アルミニウム又はアルミニウムを被焼成品と非
接触状態で配置し、該密閉容器中への実質的な昇温前の
窒素ガスの封入と昇温熱膨張とによって該容器内の圧力
を調整し、そして１８００〜２０００℃の温度及び５０
〜１０００気圧の圧力下で行なうことを特徴とする窒化
アルミニウム焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63150024A JPH01320269A (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63150024A JPH01320269A (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01320269A true JPH01320269A (ja) | 1989-12-26 |
Family
ID=15487827
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63150024A Pending JPH01320269A (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01320269A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2024252896A1 (ja) * | 2023-06-09 | 2024-12-12 | Ａｇｃ株式会社 | 焼結体の製造方法、グリーンシート及び焼結体 |
-
1988
- 1988-06-20 JP JP63150024A patent/JPH01320269A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2024252896A1 (ja) * | 2023-06-09 | 2024-12-12 | Ａｇｃ株式会社 | 焼結体の製造方法、グリーンシート及び焼結体 |
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