JPH0139655B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は例えば表面を部分的にアルミで被覆し
た半導体用リードフレームを製造する場合におい
て、アルミを全面あるいは長手方向にストライプ
状に蒸着あるいはクラツド被覆した複合金属条か
ら不要部分のアルミを部分的に除去する様な場合
に適用することができる長尺条体の連続部分エツ
チング法に関するものである。

従来、トランジスタや集積回路（IC）の組立
てに使用されるリードフレームあるいは電気的端
子用リードフレームの製造には、ベース金属条の
一部に異種金属をクラツトあるいは蒸着等により
被覆した複合属条が素材として用いられる。異種
金属としては、主に金、銀、銅、アルミ等の金属
が用いられるが、これらは貴金属高謄の折から
金、銀から銅、アルミ等へと安いものに変わる傾
向にあり、その被覆部位も機能部あるいは必要部
に限るなど全面あるいはストライプ状被覆からス
ポツト状被覆に変わる傾向にある。

現在、このような複合金属条としてベース金属
条に異種金属をストライプ状あるいはスポツト状
に被覆したものが多く用いられ、しかもこの場合
被覆された異種金属の寸法精度は厚さを含めて極
めてシビアなものが要求されるようになつてきて
いる。

しかるに、ベース金属条に異種金属をスポツト
状に高精度に被覆接着することは、極めて困難な
ことであり、メツキの場合はともかく、クラツト
あるいは蒸着等の場合のやり方としてはベース金
属条に異種金属を全面被覆した後、印刷−エツチ
ング法により、不要部分の異種金属を部分的に除
去することが一般的に行われている。

ところで、印刷−エツチング法では、複合金属
条の必要部にエツチングレジストインキを塗布し
た後、全体をエツチング液中に浸漬する方法がと
られるが、このエツチング−印刷法では、少なく
ともインクを塗布、乾燥、エツチング及びインク
剥離の４工程を要し、さらに、各工程は厳しい品
質管理に基づき装置の保守、点検を要することか
ら複合金属条の各工程における所要時間が不規則
になるため、これを一ライン上で行うことは極め
て困難であり、複数のラインで行われるのが普通
一般である。

したがつて、前記印刷−エツチング法の場合は
工程の途中で複合金属条の巻き取り、搬出、巻き
戻しという移動のための操作が必ず必要になる
が、この移動操作により作業効率の低下と共に複
合金属条の損傷及びゴミ等の付着による歩留り並
びに品質の低下を招くという問題がある。

また、印刷−エツチング法の場合、インクを使
用する関係から作業環境上及び経済上の問題もあ
る。

本発明の目的は、前記した従来技術の欠点を解
消し、密閉室内において機械的マスクを用いてエ
ツチングする方式を採用することにより、インキ
等の塗布が不要となるほか一ライン上で連続して
エツチング処理できるので品質及び製造効率の著
しい向上を図ることができる長尺条体の連続部分
エツチング法に提供することにある。

本発明の連続部分エツチング法は、エツチング
処理の対象である被覆金属条からなる長尺条体を
用意し、前記長尺条体をエツチング処理を行うた
めの密閉室を通して間欠的に移動させる工程と、
前記密閉室内に機械的マスクを長尺条体に対し当
接及び離接可能に配置する行程と、長尺条体が密
閉室内を停止した状態のとき、密閉室内の前記機
械的マスクを長尺条体のエツチング不要部分に当
接すると同時にそれ以外の要エツチング部分をエ
ツチング液に接触させることによりエツチング処
理を行い、エツチング処理後、密閉室からエツチ
ング液を排出すると共に機械的マスクを長尺条体
から離接する行程と、長尺条体を間欠的に移動さ
せることにより前記エツチング行程を繰り返し行
う行程からなることを特徴とするものである。

本発明においては、長尺条体を間欠的に移動さ
せつつこれに有限長の機械的マスクを用いてエツ
チング処理を行うことにより、インキ等の塗布処
理を不要とできるほか、機械的マスク方式ではエ
ツチング処理を一ライン上で連続して行うことが
できるので、エツチング処理を効率的に行うこと
ができると共に品質の向上を図ることができ、さ
らに、密閉室内に前記マスクを配置してエツチン
グ処理を行うことによりエツチング液の飛散を防
止し、作業環境を改善し、これによりはじめて工
業的に連続してエツチング処理を行うことができ
るようにしたものである。

機械的マスクは、これを当接した部分の長尺条
体の表面がエツチング液に触れるのを防止するた
めのものであり、機械的マスクによりマスク方法
としては次のような方法が考えられる。

(1) ゴム、樹脂材料等の軟質弾性体、あるいは金
属等の剛体からなる機械的マスクを用い、これ
を長尺条体のエツチング不要部分に押し当てる
方法。

(2) 上記(1)の方法に加え、空気等のガス体を利用
してエツチング不要部分に対するエツチング液
の侵入を気密的に防止する方法。

以下、本発明を添付図面に示す実施例に基づい
て説明する。

第１図及び第２図は、本発明において使用され
るエツチング装置の断面図及び上面図である。こ
れらの図において、長尺条体１としては例えば鉄
−ニツケル合金製のベース金属の片側全面にアル
ミを被覆た複合金属条が用いられる。前記長尺条
体１はエツチング処理を行うための密閉室４を通
して間欠的に移動されるが、その一部は前記密閉
室４内に位置される。密閉室４はベースト２と上
蓋３からなり、その内部には長尺条体１の一部と
共に機械的マスク５が２個配置される。機械的マ
スク５は第３図に示すように本体部６と先端部１
４からなり、第３図の場合先端部１４は約７mm角
のゴム等の軟質弾性体によつて構成される。機械
的マスク５の本体部６は、上蓋３によつて長尺条
体１に対する当接の真直性を保持されながら摺動
可能に設けられる。機械的マスク５の長尺条体１
に対する当接及び離接はエアシリンダ７により行
われる。密閉室４はその密閉度を高く保つため
に、必要に応じてパツキング８が配置され、ま
た、長尺条体１の移動に応じてエアシリンダ１０
により解放されるようになつている。

次に、エツチング処理であるが、第１図に示す
ようにエアシリンダ７により機械的マスク５の先
端部を長尺条体１の所定部分に当接した状態にお
いて、上蓋３に設けられた入口１１からエツチン
グ液を注入もしくは圧入し、ここで、エツチング
処理中は密閉室４内に空間９をエツチング液で満
たすために上蓋３に設けられた出口１２からエツ
チング液を排出し、エツチング終了後はベース２
に設けられた出口１３からエツチング液を排出す
ることにより、エツチング処理を行う。本実施例
の場合、アルミを被覆した長尺条体１に対するマ
スク５の押し付け圧力を３〜５Kgｆとすることに
より、エツチングの精度としてはきわめて良好な
結果を得ることができた。

本実施例においては、マスク５の数は２個であ
るが、この数は密閉室４の空間構成部の製作精度
が許すかぎり増やすことができる。マスク５の先
端部が長尺条体１に一様に当たるように、ベース
２と長尺条体１との間に軟質シート材を挿入して
もよい。また、エツチング終了後は、本装置によ
る密閉室４の空間９を利用して洗浄水により洗浄
処理をすることもできる。

第４図は本発明の他の実施例を示し、マクスの
本体部６′の先の先端部１５がステンレス等剛体
によつて構成され、かつ本体部６′の内部が外部
と導通する中空部１６を有する構造となつている
ものである。このマスクの本体部６′によれば、
エツチング処理に際し、中空部１６を通して0.05
〜0.9気圧（ゲージ圧）の内圧をかけることによ
り、マスク内へのエツチング液の侵入を確実に防
止することができ、その結果、境界のきわめて鮮
明なエツチング処理面を得ることができる。１７
は長尺条体１に設けられたアルミ被覆である。

第５図及び第６図は、それぞれ本実施例に基づ
いてエツチング処理された製品の例を示す。すな
わち、第５図によれば、アルミ被覆金属条体から
なる長尺条体１に上記マスクの本体部６あるいは
６′を当接してエツチング処理を行い、必要なア
ルミ被覆部分をスポツト的に残してパターン化さ
せたICリードフレームを示す。第６図は前記リ
ードフレームをプレスにより打ち抜いて形成され
たICリードフレームを示す。

以上のように、本発明のエツチング法によれ
ば、長尺条体を間欠的に移動させつつこれに有限
長の機械的マスクを用いてエツチング処理を行う
ことにより、インキ等の塗布処理を不要とできる
ほか、機械的マスク方式ではエツチング処理を一
ライン上で連続して行うことができるので、エツ
チング処理を効果的に行うことができると共に品
質の向上を図ることができ、さらに、密閉室内に
前記マスクを配置してエツチング処理を行うこと
によりエツチング液の飛散を防止し、これにより
作業環境の問題を改善し、工業的かつ経済的には
じめて長尺条体に対しエツチング処理を行うこと
ができるようにしたものであり、その工業的価値
は従来の印刷−エツチング法と比較してきわめて
顕著なものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係るエツチング装
置の断面図、第２図は第１図の上面図、第３図は
機械的マスクの正面図及び底面図、第４図は他の
機械的マスクノ断面図及び底面図、第５図及び第
６図はそれぞれエツチング処理を行つて製品化さ
れたICリードフレームの正面図である。 １：長尺条体、２：ベース、３：上蓋、４：密
閉室、５：機械的マスス、６：本体部、７，１
０：エアシリンダ、８：パツキン、９：密閉空
間、１１：入口、１２，１３：出口。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ エツチング処理の対象である被覆金属条から
   なる長尺条体を用意し、前記長尺条体をエツチン
   グ処理を行うための密閉室を通して間欠的に移動
   させる工程と、前記密閉室内に機械的マスクを長
   尺条体に対し当接及び離接可能に配置する行程
   と、長尺条体が密閉室内を停止した状態のとき、
   密閉室内の前記機械的マスクを長尺条体のエツチ
   ング不要部分に当接すると同時にそれ以外の要エ
   ツチング部分をエツチング液に接触させることに
   よりエツチング処理を行い、エツチング処理後、
   密閉室からエツチング液を排出すると共に機械的
   マスクを長尺条体から離接する行程と、長尺条体
   を間欠的に移動させることにより前記エツチング
   行程を繰り返し行う行程からなることを特徴とす
   る長尺条体の連続部分エツチング法。