JPH01401A - Ｓｔｍ用微動素子着脱機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はＳＴＭ　（走査型トンネル顕微鏡）において
微動素子の取付機構に関する。

〔発明の概要〕

この発明は微動素子に予め探針をセットしておき、この
状態でＳＴＭ本体にワンタッチで着脱可能としたもので
ある。

〔従来の技術〕

試料表面と微動素子に固定された検出探針先端部間に流
れるトンネル電流が一定になるように試料表面と検出探
針先端部間を制御して原子像観察を行なう３７Ｍ装置に
おいて、第３図に示す微動素子ＩはＳＴＭ本体に取付ら
れている微動素子ホルダー５に接着剤、もしくはネジ等
で固定し、探針２のみを必要都度微動素子１に取付けて
使用するのが一般的であった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

以上に示した従来の方法において、第３図に示すように
探針２は微動素子１の針取付１１に挿入され、バネ４で
交換可能なようにセットされるが、例えば、測定中に針
の不具合が発見されて交換する場合、又は先端径を変え
た針で測定したい場合は装置の隙間から作業する必要が
あった。この場合針先端径は０．１μｍ以下の掻めて鋭
利なものであるため取板いには注意を要するものであっ
た。

又、針の長さｉを正確に調整しないと測定条件が変化す
るためこれにも多大な時間を嬰していた。

〔問題点を解決するための手段〕

上記問題点を解決するために、この発明は微動素子に予
め探針を正確にセントしておき、探針がセットされた微
動素子をワンタッチでＳＴＭ装置本体に着脱可能とした
ものである。

〔作用〕

上記の方法によれば、例えば測定中に探針を交換する必
要がある時にはワンタッチで交換できるため針交換に多
大な労力を費やすことなく、スムーズに測定がｗ１続で
きる。

〔実施例〕

以下に本発明による実施例を図面に基づいて説明する。

第１図においてｌは微動素子であり、２は探針である。

３．．３□、３３．３．は微動素子駆動用の電極（第１
図中、微動素子ｌに形成されたＸ。

ｙ、ｚ電極）と結ばれた端子である。

第２図は、微動素子１を保持するための微動素子ホルダ
ー６でこのホルダー６には端子７１，７□。

７３．７４が設けられ、微動素子１を各端子３１＋　３
　Ｌ３ｓ、３４と接触するようになっている。さらに端
子７１，７□、７２．７４は第２図（Ｃ１に示す如く、
バネ性を持ち、微動素子ｌを保持するよう形成されてい
る。又、３．は探針と結ばれた端子であり、第２図の微
動素子ホルダーの端子７．と接触するようになっている
。５は位置合わせ用の溝であり試料ホルダー６の位で合
わせ突起８と係合するようになっている。

第２図に示す微動素子ホルダー６は例えば第４図に示す
ような３７Ｍ装置に取付けられている。

（発明の効果〕 従って、探計の交換が必要な時は微動素子ごと３７Ｍ装
置に取付けられたホルダーにワンタッチで交換可能とな
った。さらに、探針は微動素子単体時点でセントできる
ため針の固定が確実に行えるようになった。

尚、この場合の微動素子は数個用意して使用済みのもの
は針を付は替えて繰り返し使用できるのでトータルのラ
ンニングコストは変わらない。

又、本実施例では微動素子に円筒型を用いたがこれが、
例えばキュービックなような他の形状でも同様な考え方
で実施可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本実施例による微動素子の斜視図であり
、第１図（ｂｌはその平面図、第２図（ａｌは本実施例
による微動素子ホルダーの斜視図であり、第２図中）は
その平面図、同図（Ｃ１は一部断面図、第３図は従来の
方式を示す斜視図であり、第４図は本実施例により３７
Ｍ装置の側面図である。 ｌ・・・・・・・・・・微動素子 ２・・・・・・・・・・探針 ３１．３□、３３，３．．３％・・電極端子４・・・・
・・・・・・針押えバネ ５・・・・・・・・・・位置合わせ溝 ６・・・・・・・・・・微動素子ホルダー７１．７□、
１ｓ、１−＝１ｓ・・電極端子８・・・・・・・・・・
位置合わせ用突起以上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 予め探針を装着した微動素子をワンタッチで交換可能に
   した事を特徴とするＳＴＭ用微動素子着脱機構。