JPH0158772B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0158772B2 JPH0158772B2 JP57076759A JP7675982A JPH0158772B2 JP H0158772 B2 JPH0158772 B2 JP H0158772B2 JP 57076759 A JP57076759 A JP 57076759A JP 7675982 A JP7675982 A JP 7675982A JP H0158772 B2 JPH0158772 B2 JP H0158772B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- upright wall
- bearing
- outer edge
- wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0662—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load
- F16C32/0666—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load of bearing pads
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
- F16C32/0614—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は可動部分と、固定部分とを具え、これ
ら部分の一方を直立壁、閉塞部材及び底壁付のコ
ツプ状部材に構成し、前記底壁を他方の部分に対
面させてこれと共に軸受ギヤツプを形成させると
共に中心孔付のダイアフラムで構成し、前記他方
の部分と対面する該ダイアフラムの側を前記両部
分間の軸受ギヤツプが前記ダイアフラムの中心孔
から外縁に向け狭くなる形状となし、前記コツプ
状部材にその内部空所へガス状圧力媒体を供給す
るための入口を設けた空気静力学的スラストベア
リングに関するものである。
ら部分の一方を直立壁、閉塞部材及び底壁付のコ
ツプ状部材に構成し、前記底壁を他方の部分に対
面させてこれと共に軸受ギヤツプを形成させると
共に中心孔付のダイアフラムで構成し、前記他方
の部分と対面する該ダイアフラムの側を前記両部
分間の軸受ギヤツプが前記ダイアフラムの中心孔
から外縁に向け狭くなる形状となし、前記コツプ
状部材にその内部空所へガス状圧力媒体を供給す
るための入口を設けた空気静力学的スラストベア
リングに関するものである。
この種スラストベアリングは周知である。この
種従来のスラストベアリングは、一方の軸受部分
をコツプ状部材として構成し、他方の軸受部分と
対面するその底壁を中心孔付のダイアフラムで構
成すると共に、その外縁をコツプ状部材の直立壁
に連結する。
種従来のスラストベアリングは、一方の軸受部分
をコツプ状部材として構成し、他方の軸受部分と
対面するその底壁を中心孔付のダイアフラムで構
成すると共に、その外縁をコツプ状部材の直立壁
に連結する。
ダイアフラムは軸受ギヤツプが中心孔から外縁
に向け減少する円錐形となる形状となす。これが
ため、軸受ギヤツプの形状がその頂角の変化によ
り種々の負荷条件に適合するが、ベアリングエレ
メント自体の位置はほとんど変化しない。従つ
て、高剛性を有するベアリングが得られ、ここで
「剛性」と称するは、ダイアフラムの連結点及び
固定軸受部分間の負荷条件による距離変化を意味
するものとする。
に向け減少する円錐形となる形状となす。これが
ため、軸受ギヤツプの形状がその頂角の変化によ
り種々の負荷条件に適合するが、ベアリングエレ
メント自体の位置はほとんど変化しない。従つ
て、高剛性を有するベアリングが得られ、ここで
「剛性」と称するは、ダイアフラムの連結点及び
固定軸受部分間の負荷条件による距離変化を意味
するものとする。
高いベアリング剛性は全ての高精密機械にとつ
て極めて重要である。
て極めて重要である。
本発明は従来のベアリングを、その剛性がほぼ
無限に高くなるよう、或いは軸受力及び剛性が供
給圧の変動による影響を受けないよう改良するこ
とを目的とする。
無限に高くなるよう、或いは軸受力及び剛性が供
給圧の変動による影響を受けないよう改良するこ
とを目的とする。
この目的のため本発明スラストベアリングは、
上記ダイアフラムをその中心孔及び外縁間の箇所
で上記コツプ状部材の直立壁に連結し、この連結
部を、ダイアフラムがスラスト荷重変化又は上記
ガス状媒体の圧力変化に応じ直立壁に対し回動す
る時のヒンジとして作用するよう構成したことを
特徴とする。本発明の好適例では、前記直立壁及
びダイアフラムを一体に構成し、直立壁に深い円
周条溝を設けてダイアフラム及び直立壁間に薄肉
部分を残し、これによりダイアフラムを直立壁に
連結するのが良い。
上記ダイアフラムをその中心孔及び外縁間の箇所
で上記コツプ状部材の直立壁に連結し、この連結
部を、ダイアフラムがスラスト荷重変化又は上記
ガス状媒体の圧力変化に応じ直立壁に対し回動す
る時のヒンジとして作用するよう構成したことを
特徴とする。本発明の好適例では、前記直立壁及
びダイアフラムを一体に構成し、直立壁に深い円
周条溝を設けてダイアフラム及び直立壁間に薄肉
部分を残し、これによりダイアフラムを直立壁に
連結するのが良い。
ダイアフラムをその外縁でなく、これと中心孔
との間の箇所で直立壁に連結する場合、ほとんど
無限に高い剛性が得られることを確かめた。コツ
プ状部材のダイアフラム及び直立壁間における薄
肉部分はヒンジとして作用し、この部分でダイア
フラムは負荷又は供給圧の変化時回動する。これ
により軸受ギヤツプの円錐形状は変化し、従つて
軸受力も変化するが、ヒンジ及び固定軸受部分間
の距離は不変である。
との間の箇所で直立壁に連結する場合、ほとんど
無限に高い剛性が得られることを確かめた。コツ
プ状部材のダイアフラム及び直立壁間における薄
肉部分はヒンジとして作用し、この部分でダイア
フラムは負荷又は供給圧の変化時回動する。これ
により軸受ギヤツプの円錐形状は変化し、従つて
軸受力も変化するが、ヒンジ及び固定軸受部分間
の距離は不変である。
今日、ダイアフラムがいかに正確に変形するか
知られていないが、本発明によれば大きな軸受力
及び無限に高い剛性を持つて極めて安定した軸受
を行ない得ることを確かめた。この種ベアリング
は種々の精密機械及び測定機械等に使うのに有用
である。
知られていないが、本発明によれば大きな軸受力
及び無限に高い剛性を持つて極めて安定した軸受
を行ない得ることを確かめた。この種ベアリング
は種々の精密機械及び測定機械等に使うのに有用
である。
以下、図面につき本発明を説明する。
図示の本発明ベアリングは固定第1部分1と回
転第2部分2とで構成する。第2部分2はコツプ
状とし、直立壁3、閉塞部材4及び可撓性ダイア
フラム5により形成した底壁で構成する。コツプ
状第2部分2内は空所6となつており、これを入
口7により圧力媒体源に接続し得るようにする。
転第2部分2とで構成する。第2部分2はコツプ
状とし、直立壁3、閉塞部材4及び可撓性ダイア
フラム5により形成した底壁で構成する。コツプ
状第2部分2内は空所6となつており、これを入
口7により圧力媒体源に接続し得るようにする。
ダイアフラム5に中心孔8を設ける。ベアリン
グの使用中閉塞部材4に力Fが作用する。
グの使用中閉塞部材4に力Fが作用する。
中心孔8をダイアフラム5に形成する前に、入
口7を経て空所6内に圧力を供給することにより
ダイアフラム5を外方に偏向させる。かかる偏向
中ダイアフラム5の外側面を平坦に研摩する。そ
の結果として、ダイアフラム5は中心に向け僅か
だが一層薄くされ、従つて軸受ギヤツプ10は中
心孔8から外縁に向け狭くなる。
口7を経て空所6内に圧力を供給することにより
ダイアフラム5を外方に偏向させる。かかる偏向
中ダイアフラム5の外側面を平坦に研摩する。そ
の結果として、ダイアフラム5は中心に向け僅か
だが一層薄くされ、従つて軸受ギヤツプ10は中
心孔8から外縁に向け狭くなる。
直立壁3の外側面に円周条溝11を形成し、こ
れによりダイアフラム5を薄肉部12においての
み直立壁3に結合する。薄肉部12は十分薄いた
め、ヒンジとして作用する。
れによりダイアフラム5を薄肉部12においての
み直立壁3に結合する。薄肉部12は十分薄いた
め、ヒンジとして作用する。
本実施例におけるベアリングの寸法は次の通り
である。
である。
ダイアフラム5の外径 100mm
ダイアフラム5の厚さ 6mm
空所6の直径 80mm
条溝11の深さ 9mm
空所6内の圧力 6バール
ガス状圧力媒体を使用したにもかかわらず、か
かるベアリングはほぼ無限に高い剛性を示し、こ
のことはベアリングの上面位置がいかなる種類の
力によつても変化しないことを意味する。これ
は、ベアリングの位置が力の種類によつて変化す
る従来のベアリングと異なる点である。
かるベアリングはほぼ無限に高い剛性を示し、こ
のことはベアリングの上面位置がいかなる種類の
力によつても変化しないことを意味する。これ
は、ベアリングの位置が力の種類によつて変化す
る従来のベアリングと異なる点である。
この効果は、本発明によるベアリングのダイア
フラム5が薄肉部分12の位置で回動し、この位
置がダイアフラムの外縁でなく、これから僅か内
方に存在するからである。
フラム5が薄肉部分12の位置で回動し、この位
置がダイアフラムの外縁でなく、これから僅か内
方に存在するからである。
圧力の影響を受ける円錐形軸受ギヤツプ10を
具える本発明ベアリングは比較的容易に造ること
ができ、又上記特性に起因して精密機械に用いる
のに極めて好適である。
具える本発明ベアリングは比較的容易に造ること
ができ、又上記特性に起因して精密機械に用いる
のに極めて好適である。
第1図は本発明スラストベアリングの縦断側面
図、第2図は同じくその横断平面図である。 1……固定第1部分、2……回転第2部分、3
……直立壁、4……閉塞部材、5……可撓性ダイ
アフラム、6……空所、7……入口、8……中心
孔、10……軸受ギヤツプ、11……条溝、12
……薄肉部分。
図、第2図は同じくその横断平面図である。 1……固定第1部分、2……回転第2部分、3
……直立壁、4……閉塞部材、5……可撓性ダイ
アフラム、6……空所、7……入口、8……中心
孔、10……軸受ギヤツプ、11……条溝、12
……薄肉部分。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 可動部分と、固定部分とを具え、これら部分
の一方を直立壁、閉塞部材及び底壁付のコツプ状
部材に構成し、前記底壁を他方の部分に対面させ
てこれと共に軸受ギヤツプを形成させると共に、
中心孔付のダイアフラムで構成し、前記他方の部
分と対面する該ダイアフラムの側を前記両部分間
の軸受ギヤツプが前記ダイアフラムの中心孔から
外縁に向け狭くなる形状となし、前記コツプ状部
材にその内部空所へガス状圧力媒体を供給するた
めの入口を設けた空気静力学的スラストベアリン
グにおいて、前記ダイアフラムをその中心孔及び
外縁間の箇所で前記コツプ状部材の直立壁に連結
し、この連結部を、ダイアフラムがスラスト荷重
変化又は前記ガス状媒体の圧力変化に応じ直立壁
に対し回動する時のヒンジとして作用するよう構
成したことを特徴とするスラストベアリング。 2 前記直立壁及びダイアフラムを一体に構成
し、直立壁に深い円周条溝を設けてダイアフラム
及び直立壁間に薄肉部分を残し、これによりダイ
アフラムを直立壁に連結してなる特許請求の範囲
第1項記載のスラストベアリング。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL8102285A NL8102285A (nl) | 1981-05-11 | 1981-05-11 | Aerostatisch axiaal lager. |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57192623A JPS57192623A (en) | 1982-11-26 |
| JPH0158772B2 true JPH0158772B2 (ja) | 1989-12-13 |
Family
ID=19837475
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57076759A Granted JPS57192623A (en) | 1981-05-11 | 1982-05-10 | Thrust bearing |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4449834A (ja) |
| EP (1) | EP0065337B1 (ja) |
| JP (1) | JPS57192623A (ja) |
| DE (1) | DE3261355D1 (ja) |
| NL (1) | NL8102285A (ja) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3343470A1 (de) * | 1983-12-01 | 1985-06-13 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Gasdrucklager |
| US4643590A (en) * | 1985-03-15 | 1987-02-17 | Federal Products Corporation | Guide system |
| DE3513896A1 (de) * | 1985-04-17 | 1986-10-30 | KLG Kaufbeurer Leiterplattengesellschaft mbH, 8950 Kaufbeuren | Lagerkoerper fuer ein luftkissenlager eines linearlagers |
| NL8701139A (nl) * | 1987-05-13 | 1988-12-01 | Philips Nv | Geleideinrichting. |
| GB8716481D0 (en) * | 1987-07-13 | 1987-08-19 | T & N Technology Ltd | Bearings & seals |
| GB2248892A (en) * | 1990-09-20 | 1992-04-22 | Pilgrim Eng Dev | Fluid bearing |
| DE4125802A1 (de) * | 1991-08-03 | 1993-02-04 | Zeiss Carl Fa | Gasdrucklager |
| DE19603218A1 (de) * | 1996-01-30 | 1997-07-31 | Wittemann Hans J | Gasdrucklager, Lastkompensiert, zur Einhaltung einer definierten Höhe über der Führungsebene einer Meßmaschine oder einer luftgelagerten Feinstbearbeitungsmaschine |
| DE19940103A1 (de) * | 1999-08-24 | 2001-03-01 | Zeiss Carl Fa | Fluiddrucklager |
| DE10209776B3 (de) * | 2002-02-28 | 2004-04-29 | Carl Zeiss | Fluid-Drehlager und Koordinaten-Messgerät |
| CN102128206B (zh) * | 2011-03-15 | 2013-02-06 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种空气静压止推轴承 |
| CN105202028A (zh) * | 2015-10-16 | 2015-12-30 | 西安工业大学 | 带有弹性阻尼气室的静压空气轴承 |
| CN107269701B (zh) * | 2017-07-12 | 2023-06-16 | 哈尔滨工业大学 | 一种带气槽的平面气浮轴承 |
| EP3460273A1 (en) | 2017-09-21 | 2019-03-27 | Etel S. A.. | Active aerostatic bearing |
| EP3653895B1 (de) * | 2018-11-15 | 2021-07-14 | Etel S.A. | Aerostatisches lager |
| CN115539510A (zh) * | 2022-01-28 | 2022-12-30 | 上海船鸿科技有限公司 | 一种平面气浮轴承 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1418179A (fr) * | 1964-10-06 | 1965-11-19 | Commissariat Energie Atomique | Perfectionnement aux paliers à fluide |
| US3765732A (en) * | 1972-02-28 | 1973-10-16 | G Watt | Outlet restrictor hydrostatic bearing |
| US3806209A (en) * | 1972-03-13 | 1974-04-23 | Laing Nikolaus | Bearing structure |
| PL83700B1 (ja) * | 1973-12-30 | 1976-01-31 | ||
| US3909084A (en) * | 1974-05-16 | 1975-09-30 | Gulf & Western Mfg Co | Ball joint construction |
| GB1509709A (en) * | 1974-10-08 | 1978-05-04 | Agfa Gevaert | Fluid bearing assembly |
| US4090742A (en) * | 1975-12-23 | 1978-05-23 | Hamana Iron Works Co., Ltd. | Bearing device |
| DE2831142C2 (de) * | 1978-07-11 | 1983-05-26 | Escher Wyss AG, Zürich | Durchbiegungseinstellwalze |
| CH631522A5 (de) * | 1978-08-04 | 1982-08-13 | Escher Wyss Ag | Zwischen einem stationaeren traeger und einem um diesen rotierbar angeordneten walzenmantel vorgesehenes stuetzelement. |
| DE2905543C2 (de) * | 1979-02-14 | 1981-02-05 | Kuesters, Eduard, 4150 Krefeld | Walze für die Druckbehandlung von Warenbahnen |
-
1981
- 1981-05-11 NL NL8102285A patent/NL8102285A/nl not_active Application Discontinuation
-
1982
- 1982-05-03 US US06/374,441 patent/US4449834A/en not_active Expired - Fee Related
- 1982-05-07 EP EP82200558A patent/EP0065337B1/en not_active Expired
- 1982-05-07 DE DE8282200558T patent/DE3261355D1/de not_active Expired
- 1982-05-10 JP JP57076759A patent/JPS57192623A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4449834A (en) | 1984-05-22 |
| EP0065337A1 (en) | 1982-11-24 |
| NL8102285A (nl) | 1982-12-01 |
| JPS57192623A (en) | 1982-11-26 |
| EP0065337B1 (en) | 1984-11-28 |
| DE3261355D1 (en) | 1985-01-10 |
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