JPH0158868B2 - - Google Patents

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JPH0158868B2
JPH0158868B2 JP19940182A JP19940182A JPH0158868B2 JP H0158868 B2 JPH0158868 B2 JP H0158868B2 JP 19940182 A JP19940182 A JP 19940182A JP 19940182 A JP19940182 A JP 19940182A JP H0158868 B2 JPH0158868 B2 JP H0158868B2
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JP
Japan
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wire
pellet
detector
switch
ball
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JP19940182A
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English (en)
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JPS5988842A (ja
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Takashi Endo
Kazumasa Kimura
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Shinkawa Ltd
Original Assignee
Shinkawa Ltd
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明はワイヤボンダにおけるワイヤの接続不
良検出方法に関する。
従来、ワイヤの接続不良検出方法として、例え
ば特開昭51−120175号公報、特開昭53−94178号
公報に示す方法が知られている。この方法はペレ
ツトにワイヤが接続された状態でワイヤに電流を
流し、ワイヤがペレツトに接続されているか否か
を検出器によつて検出している。このようにペレ
ツトの電極に直接電流を流すので、この検出電流
は半導体特性の破壊限度以下の微少電流を加えな
ければならない。そこで、前記検出器は前記微少
電流又は微少電圧の変化を検出するように設計さ
れている。
一方、ワイヤボンデイングにおいては、ワイヤ
をペレツトに接続する前に、ワイヤの先端を溶融
させてボールが形成される。このボール形成方法
として、一般にバーナトーチ又は電気トーチによ
る方法が用いられている。
バーナトーチによる方法はワイヤを単に火炎で
溶融させるのみであるので、前記ワイヤの接続不
良検出用の検出器には何ら悪影響を及ぼさない。
しかしながら、電気トーチによる方法は電気トー
チの高電圧による放電によつてボールを形成する
ので、この放電時にワイヤに高電圧がかかる。前
記のように、ワイヤの接続不良検出用の検出器は
微少電流又は微少電圧を検出するように設計され
ているので、放電時にワイヤに高電圧がかかる
と、これによつて検出器が破損するという欠点を
有する。
このため、従来、ワイヤがペレツトに接続され
た状態でワイヤの接続不良を検出する方法におい
ては、ボールの形成にはバーナトーチが用いられ
ている。しかしながら、バーナトーチによる方法
はボールが正常に形成されているか否か検出でき
ない欠点を有する。これに対し、電気トーチによ
る方法は、例えば特公昭54−35065号公報及び特
開昭54−9576号公報に示すように、放電時にワイ
ヤに電流が流れるので、これを検出することによ
りボールが正常に形成されたか否か検出できる。
しかしながら、この方法は前記したようにワイヤ
がペレツトに接続された状態でワイヤの接続不良
を検出できないという欠点を有する。
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたも
ので、ボールを電気トーチによつて形成する方法
において、ワイヤがペレツトに接続された状態で
ワイヤの接続不良を検出することができるワイヤ
の接続不良検出方法を提供することを目的とす
る。
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図は本発明の方法に用いる回路ブロツク図で
ある。ペレツト１が固着されたリードフレーム２
は試料台３に位置決め固定されている。ペレツト
１とリードフレーム２に接続されるワイヤ４は、
スプール５に巻回されており、一端はキヤピラリ
６に挿通され、他端は端子７に接続されている。
またキヤピラリ６の近傍にはワイヤ４の先端を溶
融してボール４ａを形成する電気トーチ８が設け
られている。前記端子７はリードリレー等よりな
るスイツチ９のコモン接点９ａに接続され、スイ
ツチ９の常時閉接点９ｂはアースされている。前
記スイツチ９の常時開接点９ｃは検出器１０及び
抵抗１１に接続されており、抵抗１１はスイツチ
１２によつて２個の直流電源１３，１４に選択的
に接続されるようになつている。
第２図はキヤピラリ６の上下動及びスイツチ９
の切換えタイミングを示し、スイツチ９の切換え
タイミングは第３図に示すボンデイング状態で行
われる。
次に作用について説明する。スイツチ１２は、
ペレツト１の電極が順送りの場合はプラス電圧が
かかるように直流電源１３に接続しておき、逆送
りの場合はマイナス電圧がかかるように直流電源
１４に接続しておく。まず、キヤピラリ６の下端
より延在したワイヤ４の先端に電気トーチ８の放
電によつてボール４ａが形成される。この時、ワ
イヤ４には放電による高電流が流れるが、スイツ
チ９はアースされている常時閉接点９ｂに接続さ
れているので、検出器１０には何ら悪影響を及ぼ
さない。
次に第２図に示すサイクルに従つてキヤピラリ
６が下降し、ワイヤ４はペレツト１に第１ボンド
される。その後キヤピラリ６は上昇し、第２ボン
ド点の上方に移動し、再び下降する。この間にス
イツチ９の切換信号がオンとなり、スイツチ９は
常時開接点９ｃに接続される。この場合、ワイヤ
４がペレツト１に接続されていると、直流電源１
３又は１４よりスイツチ１２、抵抗１１、スイツ
チ９、端子７を通つてワイヤ４に微少電流（例え
ば0.5ｍＡ）が流れ、検出器１０には電流が流れ
ない。もし、ワイヤ４がペレツト１に接続されて
いないと、ワイヤ４には電流が流れなく、検出器
１０に電流が流れ、検出器１０よりワイヤ接続不
良信号１０ａが出力される。
ワイヤ接続が正常であると、キヤピラリ６は下
降を続け、第２ボンド点にワイヤ４が接続され
る。その後キヤピラリ６は上昇及び図示しないク
ランパでワイヤ４は第２ボンド点の付根より切断
される。これによりボンデイングの１サイクルが
終了する。
なお、上記実施例において、９ｂを常時開接点
に、９ｃを常時閉接点にし、電気トーチ８による
放電時には接点９ｂに接続されるようにしてもよ
い。
このように、電気トーチ８の放電時にはワイヤ
４と検出器１０との接続はオフとなるので、放電
時にワイヤ４に高電流が流れても検出器１０には
何ら悪影響を及ぼさない。
以上の説明から明らかな如く、本発明によれ
ば、電気トーチによる放電でボールを形成する方
法において、ワイヤがペレツトに接続された状態
でワイヤの接続不良を検出できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の方法に用いる回路の一実施例
を示すブロツク図、第２図のキヤピラリの上下動
及びスイツチの切換のタイミング図、第３図はス
イツチの切換タイミング時のボンデイング状態の
説明図である。 １……ペレツト、２……リードフレーム、４…
…ワイヤ、４ａ……ボール、８……電気トーチ、
９……スイツチ、１０……検出器、１１……抵
抗、１３，１４……直流電源。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 電気トーチの放電によりワイヤの先端にボー
    ルを形成し、その後前記ボールをペレツトにボン
    デイングし、ワイヤがペレツトに接続された状態
    で前記ワイヤに微少電流を流してワイヤがペレツ
    トに接続されているか否かを検出器によつて検出
    する方法であつて、前記電気トーチの放電時には
    前記検出器と前記ワイヤとの接続をオフにするこ
    とを特徴とするワイヤの接続不良検出方法。
JP57199401A 1982-11-13 1982-11-13 ワイヤの接続不良検出方法 Granted JPS5988842A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57199401A JPS5988842A (ja) 1982-11-13 1982-11-13 ワイヤの接続不良検出方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57199401A JPS5988842A (ja) 1982-11-13 1982-11-13 ワイヤの接続不良検出方法

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Publication Number Publication Date
JPS5988842A JPS5988842A (ja) 1984-05-22
JPH0158868B2 true JPH0158868B2 (ja) 1989-12-13

Family

ID=16407170

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JP57199401A Granted JPS5988842A (ja) 1982-11-13 1982-11-13 ワイヤの接続不良検出方法

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JPS5988842A (ja) 1984-05-22

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