JPH0161631U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す縦断側面図
、第２図はその平面型力覚センサの縦断側面図、
第３図および第４図はエツチングされる係止部の
状態を示す縦断側面図、第５図および第６図はＸ
，Ｙ軸方向への位置ズレを防ぐための変形例を示
すｎ―Ｓｉ基板の平面図、第７図は起歪体とｎ―
Ｓｉ基板との接着部分の縦断側面図、第８図は従
来の平面型力覚センサの縦断側面図、第９図はそ
のキヤツプを取り外した状態の平面図、第１０図
は各種の応力が発生した状態を示す特性図、第１
１図はｎ―Ｓｉ基板がＹ軸方向へ位置ズレした時
の応力の発生状態を示す特性図、第１２図はブリ
ツジ回路図である。 １１……Ｐ型拡散抵抗（検出素子）、１３……
起歪体、１９……ｎ型単結晶基板、２２……係止
部、２３……凸部（係止部）、２４……凹部（係
止部）、２５……凹部（係止部）、２６，２７…
…凸部（係止部）、２８……孔（係止部）。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 機械的変形により電気抵抗を変化させる検出素
   子を備えた検出面が一面に形成された単結晶基板
   の中心軸に凸部または凹部もしくは孔による係止
   部を設け、中心部と周辺部のいずれか一方を支持
   部とし他方を作用部とした起歪体の中心軸に凹部
   または凸部による係止部を設け、前記単結晶基板
   の係止部と前記起歪体の係止部とを嵌め合わせて
   前記起歪体に前記単結晶基板を接着固定したこと
   を特徴とする平面型力覚センサ。