JPH0183432U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0183432U JPH0183432U JP1987178704U JP17870487U JPH0183432U JP H0183432 U JPH0183432 U JP H0183432U JP 1987178704 U JP1987178704 U JP 1987178704U JP 17870487 U JP17870487 U JP 17870487U JP H0183432 U JPH0183432 U JP H0183432U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- raw material
- chamber
- valve
- heating plate
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Description
第１図は本考案に係る原料気化供給制御装置の
縦断面図、第２図は同水平断面図、第３図は従来
の原料気化供給制御装置の縦断面図である。 １１…恒温槽、１２…ヒーテイングプレート、
１３…上室、１４…下室、１７，２６…ヒータ、
２０…質量流量計、２０ａ，２１ａ…通路形成部
材、２１…バルブ、２２…原料ガス供給配管、２
４…原料容器。
縦断面図、第２図は同水平断面図、第３図は従来
の原料気化供給制御装置の縦断面図である。 １１…恒温槽、１２…ヒーテイングプレート、
１３…上室、１４…下室、１７，２６…ヒータ、
２０…質量流量計、２０ａ，２１ａ…通路形成部
材、２１…バルブ、２２…原料ガス供給配管、２
４…原料容器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 原料容器に収容した原料を加熱気化し、気化し
た原料を質量流量計及びバルブ、並びにそれらを
接続する原料ガス供給配管を介して送出するよう
にした原料気化供給制御装置において、 恒温槽内をヒータ内蔵のヒーテイングプレート
により上下の室に分割し、 上室内において、温度制御されるヒーテイング
プレート上に質量流量計及びバルブの通路形成部
材を密着して取付けると共に、それらを接続する
原料ガス供給配管を所要の高さに配設し、 下室内に、内部の原料温度を一定に保持するよ
うに制御された原料容器を配設した、 ことを特徴とする原料気化供給制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17870487U JPH055941Y2 (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17870487U JPH055941Y2 (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0183432U true JPH0183432U (ja) | 1989-06-02 |
| JPH055941Y2 JPH055941Y2 (ja) | 1993-02-16 |
Family
ID=31470311
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17870487U Expired - Lifetime JPH055941Y2 (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH055941Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-11-24 JP JP17870487U patent/JPH055941Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH055941Y2 (ja) | 1993-02-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0183432U (ja) | ||
| JPH0349782Y2 (ja) | ||
| JPS63192439U (ja) | ||
| JPS5854585Y2 (ja) | 直火式温水器 | |
| JPS596808Y2 (ja) | 極低温治療装置 | |
| JPS6319569U (ja) | ||
| JPS63303825A (ja) | 原料供給装置 | |
| JPH02131195U (ja) | ||
| JPS6243637U (ja) | ||
| JPS6312000U (ja) | ||
| JPS6435476A (en) | Controller for amount of sweating | |
| JPS6161397U (ja) | ||
| JPS63173627U (ja) | ||
| JPH02140263U (ja) | ||
| JPH0258654U (ja) | ||
| JPH02127344U (ja) | ||
| JPH045201U (ja) | ||
| JPH0363749U (ja) | ||
| JPH0344697U (ja) | ||
| JPH02122955U (ja) | ||
| JPS6148228U (ja) | ||
| JPS6431478U (ja) | ||
| JPS6346753U (ja) | ||
| JPS6453860U (ja) | ||
| JPS62114974U (ja) |