JPH018483Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (1) 考案の技術分野 本考案は半導体製造装置の加工部から送出させ
た半導体装置を収納容器内に自動的に収納するよ
うにした半導体収納装置にかかり、特にセラミツ
ク製の半導体装置等でも収納容器内に順次収納さ
せても衝突によつて破損しないような半導体収納
装置に関する。

(2) 技術の背景 半導体装置の製造工程においては、半導体装置
に自動マーキングを行つたり、自動リード切断機
によつてリードの切断を行つたりする各種の加工
工程と半導体装置の特性の測定をしたりする測定
工程があり、これらの各工程から次の工程に半導
体装置を移送するためには収納容器（コンテナ）
に複数の半導体装置を収納して輸送が行われる。
このような半導体収納装置は一般には傾斜したガ
イドレールに半導体装置を送出し、該ガイドレー
ル上を半導体装置の折り曲げられたリードを案内
にして自然落下させることでコンテナに自動的に
収納するようになされている。

しかし、自然落下によつてコンテナ内に半導体
装置を収納する場合、特にセラミツク製の半導体
装置では収納容器内での半導体装置どうしの衝突
によつて破損したりクラツクを発生したりする弊
害を生じていた。

(3) 従来技術と問題点 このような弊害を除去するための従来構成を第
１図乃至第３図について説明する。

第１図は従来の第１の実施例を示す要部の斜視
図であり、被加工工程または測定工程等の工程終
了後に半導体装置１は傾斜したガイドレール２上
に送出される。該ガイドレール２は半導体装置１
の折り曲げリード１ａ，１ｂをガイドとして左右
が規正され自然落下されてガイドレール２の水平
部２ａに至る。

ガイドレール２の水平部２ａは基板３上に設け
た基台４上に配設され、レールカバー５で覆われ
ている。

ガイドレール２の水平部２ａの端部にはゴム等
の弾性体で構成したストツパー６が矢印Ｂ−
B′で示す方向に移動可能に配設されている。

ガイドレール２の終端には半導体収納容器７が
設けられている。

該収納容器７は長さが500mm前後あり複数の半
導体装置が順次送り込めるように断面ほぼ逆凹型
に形成した引抜部材等で構成されている。

さらに、後述するので図示しないがガイドレー
ル２の水平部２ａに移送され、且つストツパー６
に対接して停止した半導体装置１を収納容器７内
に押し込むための押圧装置を有する。

このような押圧装置の押圧爪８は例えば第１図
示の位置にあるとすると自然落下してきた半導体
装置１は重力によつてストツパー６のピンに衝突
して停止する場合と、バウンドして例えば第１図
の１′で示す位置まで戻つてしまう場合がある。

後者のような状態では押圧爪８が軌跡９を画い
て半導体装置１ａを収納容器７に収納しようとし
ても（勿論このときにはストツパー６は上動して
いる。）半導体装置１′と押圧爪８との関係が前後
しているので収納容器内に半導体装置を押圧させ
ることができない欠点を生ずる。

そこで弾性体構成のストツパー６を廃止して第
２図（第１図Ａ部拡大図）に示すようなストツパ
ー１０をガイドレール２の水平部２ａの端面に着
脱自在に装着させるものが提案された。

該ストツパー１０は左右側壁に末広がり状の板
バネ１１ａ，１１ｂを片持梁的に配設したもので
あるが、ガイドレール２から落下してきた半導体
装置１は第３図に示すようにそのリード１ａ，１
ｂ間の間隔L₁が末広がり状の板バネ１１ａ，１
１ｂの間隔L₂より小さければストツパー１０位
置で係止されるが、第３図に示すようにL₂＜L₁
の関係にあれば半導体装置をストツプさせること
ができない。

実際にはL₁の間隔は半導体装置の種類によつ
てかなりの差があつてすべての種類の半導体装置
を一つのストツパー１０で係止できないのでスト
ツパー１０を着脱自在となし、半導体装置の種類
に応じてその都度取り変えるようにしている。こ
のため、その取り扱いは極めて煩雑となる欠点を
有する。

(4) 考案の目的 本考案は上記従来の欠点に鑑み、半導体装置が
バウンドせず収納が確実にできるストツパーを提
供することを目的とするものである。

(5) 考案の構成 この目的は本考案によれば、半導体装置を傾斜
したガイドレールに沿つて送出し、収納容器に収
納する半導体収納装置において、該ガイドレール
端部にバキユームチヤツク部を配設し、該バキユ
ームチヤツク部により、送出されてきた半導体装
置を吸着停止させ、停止した半導体装置を押圧手
段により収納容器内に順次収納することを特徴と
する半導体収納装置を提供することによつて達成
される。

(6) 考案の実施例 以下、本考案の実施例を図面によつて説明す
る。第４図は本考案の半導体収納装置の要部斜視
図、第５図は第４図の要部の平面図、第６図はバ
キユームチヤツク部分の側断面図を示すものであ
り、図中、第１図と同一部分には同一符号を付し
て重複説明を省略するが、ガイドレール２の水平
部２ａ側部に押圧手段１２を有する。

該押圧手段はほぼ板状の基部１３よりなり該基
部はエアシリンダ１４の取付け部１３ａとカム部
１３ｂより構成され、エアシリンダ１４の一端は
エアシリンダ取付け台１５に固定され、該エアシ
リンダ１４のピストン１６の先端にはシリンダヘ
ツド１７が固定され、シリンダヘツド１７にはロ
ーラ１８が回動自在に枢着され、該ローラ１８は
ら基部１３のカム部１３ｂに設けた案内溝１９に
嵌り込んでいて、第５図においてピストン１６が
押し出されてシリンダヘツド１７が矢印Ｂ方向に
移動したときカム部１３ｂの案内溝１９に沿つて
移動する。

このとき、シリンダヘツド１７に取り付けられ
た押圧爪８の軌跡９は一点鎖線で示す如くカム部
１３ｂの案内溝１９の軌跡と同一となる。

２０はシリンダヘツド１７と基部１３間に架張
したスプリングでシリンダヘツドがカム部の傾斜
部に沿つてスムーズに移動するように矢印Ｃ方向
に常に偏倚させるためのものである。

さらに、本考案においてはガイドレールの水平
部２ａの端部に第６図の如く透孔２１を穿ち基台
４にナツト２２等を介して固定するとともに継手
２３を介して真空ポンプ（図示せず）に接合して
透孔２１内を負圧にしてバキユームチエンバーを
構成している。

上記した構成によればガイドレール２の傾斜部
に沿つて半導体１が滑り下りてくると水平部の所
定位置にきたことを第１のホトセンサが感知して
真空ポンプの電磁弁を「オン」状態となし、半導
体装置１″を所定位置にストツプさせる。次に第
２のホトセンサが第５図のバキユームチエンバー
である透孔２１上にあることを感知して電磁弁を
「オフ」状態となすことで押圧手段１２の押圧爪
８がエアシリンダ１４の動作によつて矢印Ｂ方向
に移動し軌跡９を通つて半導体装置１″の後部を
押圧爪８が押圧することで半導体装置１″は収納
容器７内に収納される。このような操作を順次繰
り返すことで収納容器７内に収納した複数の半導
体装置は次の工程に移送される。

(7) 考案の効果 以上、詳細に説明したように、本考案の半導体
収納装置によればガイドレールの水平部２ａ位置
で半導体装置を確実に停止させ、半導体装置の種
類が違つてリード間の間隔L₁が変化しても停止
させることができるので収納容器内で半導体装置
を破損させることなく収納できる効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の半導体収納装置の要部の斜視
図、第２図は第１図のＡ部拡大部分を示す従来の
他の実施例を示す半導体収納装置の斜視図、第３
図は従来の半導体装置と機械的ストツパー部との
関係を説明するストツパーの正面図、第４図は本
考案の半導体収納装置の要部の斜視図、第５図は
第４図のレール及び押圧手段の平面図、第６図は
バキユームチエンバーの側断面図である。 １……半導体装置、２……ガイドレール、３…
…基板、４……基台、６……ストツパー、７……
収納容器、８……押圧爪、９……軌跡、１０……
ストツパー、１２……押圧装置、１３……基部、
１４……エアシリンダ、１７……シリンダヘツ
ド、１８……ローラ、１９……案内溝、２０……
スプリング。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 半導体装置を傾斜したガイドレールに沿つて送
   出し収納容器に収納する半導体収納装置におい
   て、該ガイドレール端部にバキユームチヤツク部
   を配設し、該バキユームチヤツク部により、送出
   されてきた半導体装置を吸着停止させ、停止した
   半導体装置を押圧手段により収納容器内に順次収
   納することを特徴とする半導体収納装置。