JPH0189953U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0189953U JPH0189953U JP18621587U JP18621587U JPH0189953U JP H0189953 U JPH0189953 U JP H0189953U JP 18621587 U JP18621587 U JP 18621587U JP 18621587 U JP18621587 U JP 18621587U JP H0189953 U JPH0189953 U JP H0189953U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- evaporation source
- support plate
- coil
- alumina material
- Prior art date
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- Granted
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例による蒸発源の断面図
、第２図は従来例の蒸発源の平面図及び第３図は
第２図における―線方向の断面図で第１図と
同様な図である。 なお図において、１９……電気抵抗体。
、第２図は従来例の蒸発源の平面図及び第３図は
第２図における―線方向の断面図で第１図と
同様な図である。 なお図において、１９……電気抵抗体。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 複数のるつぼの外周に共通に高周波誘導加
熱用コイルを巻装し、該コイルに高周波の電流を
通電させることにより各前記るつぼ内の金属を誘
導加熱により融解して蒸発させるようにした蒸発
源において、各前記るつぼの下方に補助加熱源を
配設し、各前記るつぼの温度を検出し、この検出
に基いて前記補助加熱源の発生熱量を制御するこ
とにより各前記るつぼの温度をほゞ等しくしたこ
とを特徴とする蒸発源。 (2) 前記補助加熱源は電気抵抗体であつて、該
抵抗体は前記るつぼの下方で前記るつぼを支持す
るための第１支持板の下方に配設されている前記
第１項に記載の蒸発源。 (3) 前記第１支持板はアルミナ材で成る前記第
２項に記載の蒸発源。 (4) 前記電気抵抗体はアルミナ材で成る第２の
支持板で支持されている前記第３項に記載の蒸発
源。 (5) 前記電気抵抗体は線状又はコイル状であつ
て、この径より大きいアルミナ材で成るスペーサ
部材が前記第１と第２の支持板との間に介在され
ている前記第４項に記載の蒸発源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987186215U JPH047182Y2 (ja) | 1987-12-07 | 1987-12-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987186215U JPH047182Y2 (ja) | 1987-12-07 | 1987-12-07 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0189953U true JPH0189953U (ja) | 1989-06-13 |
| JPH047182Y2 JPH047182Y2 (ja) | 1992-02-26 |
Family
ID=31477454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987186215U Expired JPH047182Y2 (ja) | 1987-12-07 | 1987-12-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH047182Y2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5725734U (ja) * | 1980-07-18 | 1982-02-10 | ||
| JPS5943875A (ja) * | 1982-09-04 | 1984-03-12 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 蒸発源及びその使用方法 |
| JPS60255971A (ja) * | 1984-05-30 | 1985-12-17 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜形成装置 |
-
1987
- 1987-12-07 JP JP1987186215U patent/JPH047182Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5725734U (ja) * | 1980-07-18 | 1982-02-10 | ||
| JPS5943875A (ja) * | 1982-09-04 | 1984-03-12 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 蒸発源及びその使用方法 |
| JPS60255971A (ja) * | 1984-05-30 | 1985-12-17 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜形成装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH047182Y2 (ja) | 1992-02-26 |