JPH0198167U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0198167U JPH0198167U JP19377087U JP19377087U JPH0198167U JP H0198167 U JPH0198167 U JP H0198167U JP 19377087 U JP19377087 U JP 19377087U JP 19377087 U JP19377087 U JP 19377087U JP H0198167 U JPH0198167 U JP H0198167U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pipe
- raw material
- retort
- thin film
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例であるプラズマＣ
ＶＤ装置の概略構成を示す側断面図である。 ２……レトルト、３……被処理物、６……給気
ノズル、７……排気ノズル、８……原料ガス供給
管、９……排ガス管、１４……バイパス管、１５
……循環ポンプ（ガス圧送手段）。
ＶＤ装置の概略構成を示す側断面図である。 ２……レトルト、３……被処理物、６……給気
ノズル、７……排気ノズル、８……原料ガス供給
管、９……排ガス管、１４……バイパス管、１５
……循環ポンプ（ガス圧送手段）。
Claims (1)
- 反応槽を形成するレトルトと、そのレトルト内
にそれぞれ配された給気ノズルおよび排気ノズル
と、前記給気ノズルに接続されている原料ガス供
給管と、前記排気ノズルに接続されている排ガス
管とを備え、前記給気ノズルから前記レトルト内
に吹き込まれた原料ガスの化学反応によつて被処
理物の表面に薄膜を形成するように構成された薄
膜形成装置において、前記原料ガス供給管と前記
排ガス管とをバイパス管によつて接続するととも
に、そのバイパス管の途中に前記排ガス管から前
記原料ガス供給管に向かつて排ガスを圧送するガ
ス圧送手段を設けてなり、レトルト内から排出さ
れた排ガスの一部を原料ガスと混合してレトルト
内に供給するようにされていることを特徴とする
薄膜形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19377087U JPH0198167U (ja) | 1987-12-21 | 1987-12-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19377087U JPH0198167U (ja) | 1987-12-21 | 1987-12-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0198167U true JPH0198167U (ja) | 1989-06-30 |
Family
ID=31484545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19377087U Pending JPH0198167U (ja) | 1987-12-21 | 1987-12-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0198167U (ja) |
-
1987
- 1987-12-21 JP JP19377087U patent/JPH0198167U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS63106765U (ja) | ||
| JPH03120030U (ja) | ||
| JPH01132951U (ja) | ||
| JPS6343637U (ja) | ||
| JPS63154664U (ja) | ||
| JPS6457636U (ja) | ||
| JPS63106757U (ja) | ||
| JPS63125793U (ja) | ||
| JPS537078A (en) | Apparatus for feeding sheet-like articles | |
| JPS6456857U (ja) | ||
| JPH0367063U (ja) | ||
| JPS6319565U (ja) | ||
| JPH02126113U (ja) | ||
| JPH0363571U (ja) | ||
| JPS62108329U (ja) | ||
| JPS63127943U (ja) | ||
| JPS63133841U (ja) | ||
| JPH01171028U (ja) | ||
| JPS6220023U (ja) | ||
| JPH0311058U (ja) | ||
| JPH0282732U (ja) | ||
| JPS6223856U (ja) | ||
| JPS6350127U (ja) | ||
| JPH0173930U (ja) | ||
| JPS6421081A (en) | Formation of aluminum nitride film |