JPH02103270U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02103270U JPH02103270U JP1146189U JP1146189U JPH02103270U JP H02103270 U JPH02103270 U JP H02103270U JP 1146189 U JP1146189 U JP 1146189U JP 1146189 U JP1146189 U JP 1146189U JP H02103270 U JPH02103270 U JP H02103270U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor element
- flow sensor
- lead wire
- substrate
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
第１図は本考案に係るフローセンサの一実施例
を示す断面図、第２図は第１図の矢線−に沿
う断面図、第３図は本考案に係る他のフローセン
サの正面図、第４図は第３図の側面図、第５図は
第３図のフローセンサの回路図、第６図は従来の
フローセンサを示す斜視図である。 １０……センサ素子、１１……シリコンチツプ
、１２……拡散抵抗領域、１３，１４……電極、
１５，１６，５１，５２，５６，５７……リード
線、１９……ハンダ、２０，４０……基板、３０
……フローセンサ、５０……センサ素子（風速検
出用センサ素子）、５５……センサ素子（温度補
償用センサ素子）。
を示す断面図、第２図は第１図の矢線−に沿
う断面図、第３図は本考案に係る他のフローセン
サの正面図、第４図は第３図の側面図、第５図は
第３図のフローセンサの回路図、第６図は従来の
フローセンサを示す斜視図である。 １０……センサ素子、１１……シリコンチツプ
、１２……拡散抵抗領域、１３，１４……電極、
１５，１６，５１，５２，５６，５７……リード
線、１９……ハンダ、２０，４０……基板、３０
……フローセンサ、５０……センサ素子（風速検
出用センサ素子）、５５……センサ素子（温度補
償用センサ素子）。
Claims (1)
- フローセンサの半導体センサ素子の電極にリー
ド線の一端をハンダ付けにより接続し、該リード
線の他端を基板に、前記センサ素子を該基板から
離隔させて、固定したことを特徴とするフローセ
ンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1146189U JPH02103270U (ja) | 1989-02-03 | 1989-02-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1146189U JPH02103270U (ja) | 1989-02-03 | 1989-02-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02103270U true JPH02103270U (ja) | 1990-08-16 |
Family
ID=31220039
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1146189U Pending JPH02103270U (ja) | 1989-02-03 | 1989-02-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02103270U (ja) |
-
1989
- 1989-02-03 JP JP1146189U patent/JPH02103270U/ja active Pending