JPH02116141A - 真空チャンバへの試料の挿入，取出し装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、真空装置への試料の挿入、取出し装置に関す
るものである６ （従来の技術） 近年真空装置は、チャンバ内での試料の加工を行う場合
、試料の挿入、取出し時間を短縮することが重要となっ
ている。以下に従来の真空装置の試料の挿入、取出し装
置について説明する。

第３図は、従来の試料の挿入、取出し装置を示す図であ
る。１は真空チャンバ、２は試料予備排気室２３は仕切
弁、４は試料（ウェハ）、５は真空チャンバと試料予備
排気室との間の試料の挿入。

取出し方向、６は試料予備排気室ドアである。

以上のように構成された試料挿入、取出し装置について
、その使用方法を説明する。まず試料予備排気室ドア６
を開け、試料予備排気室２に試料（ウェハ）４を挿入す
る。ドアを閉め予備排気室の排気を行う。一定時間たっ
た後、予備排気室の真空度が、仕切弁３を開けても真空
チャンバ１内での加工に影響をおよぼさないまで達した
ら、仕切弁３を開け、試料を真空チャンバ１内に挿入す
る。

そして仕切弁３を閉め、真空チャンバ１内での加工を行
う。加工が終了したら仕切弁３を開け、試料予備排気室
６へ試料４を取出した後、仕切弁３を閉じる。そして、
試料予備排気室２をリークし、大気状態になったらドア
６を開け、試料４を取り出す。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら上記従来の構成では、試料予備排気時間が
問題となる。排気時間を短くするため、試料予備排気室
を小さくすると、試料が少数しか入れられず、多数枚の
試料を連続して加工する場合、排気、リークの回数が増
え、試料処理時間がかかる。予備排気室２を大きくし一
度にたくさんの試料を入れた時、排気、リークの回数は
減るが、排気時間がかかる。真空チャンバ１内で試料加
工中に小型予備排気室に次の試料のみを装填することは
、振動をきらう真空内での加ニオ９よび試料温度コント
ロールの要求が厳しい加工（例えば電子ビーム露光）の
場合、試料加工と同時にはできない。従って処理時間が
かかる。

本発明は上記従来の問題点を解決するもので、試料温度
安定性の良い、短時間での試料挿入、取出しを可能にす
る装置を提供することを目的とする。

（課題を解決するための手段） この目的を達成するために本発明の試料挿入。

取出し装置は、大気状態にしない真空予備室および真空
、大気状態をつくれる予備排気室を複数有している。

（作　用） 大気状態にしない小型の真空予備室で次に加工する試料
の温度安定性が確保され、また小型の予備排気室が挿入
、取出し側にそれぞれあることから短時間での試料挿入
、取出しが可能となる。

（実施例） 以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明する。第１図は本発明の試料挿入、取出し装置を示す
ものである。第１図において、１１は真空チャンバ、１
２ａ〜１２ｅは仕切弁、１３は仕切弁１２ａを介して真
空チャンバに取付られた真空予備室、１４は仕切弁１２
ｂを介して真空予備室１３に取付けられた試料挿入用予
備排気室、１５は仕切弁１２ｄを介して真空予備室１３
に通ずるように取付けられた試料取出し用予備排気室、
１６は仕切弁１２ｃを介して試料挿入用予備排気室１４
に連結可能な試料挿入用カセット、１７は仕切弁１２ｅ
を介して試料取出し用予備排気室１５に連結可能な試料
取出し用カセット、１８は真空予備室１３内に移動可能
に設けられたスライド台である。第２図（ａ）〜（ｇ）
は第１図を模式化して試料の位置と装置の動作状態をス
テップ毎に示したものである。（ａ）は、試料Ａが加工
終了して試料取出し用カセット１７にあり、試料Ｂは加
工終了してチャンバ取出し口に戻って来た状態である。

Ｃ，Ｄ、Ｅは未加工試料である。

（ｂ）では、加工終了した試料Ｂが真空予備室１３内の
スライド台１８へ取出される。（Ｃ）ではスライド台１
８が移動したことを表わす、（ｄ）では、加工終了した
試料Ｂが試料取出し用予備排気室１５へ取出され、次に
加工する試料Ｃが真空チャンバｌｌ内に挿入されたこと
を示す。Ｃは加工を開始する。（ｅ）はスライド台１８
が移動したことを表わす、（ｆ）では、試料挿入用予備
排気室１４から真空予備室１３へ次の加工試料りが挿入
されたことを示す、（ｇ）は、挿入、取出し用予備排気
室１４．１５がリークされ試料Ｂは取出され、試料Ｅは
挿入用予備排気室１４へ挿入されたことを示す。次いで
２つの予備排気室１４、１５を排気しくａ）の状態に戻
る。

本実施例では２つの予備排気室１４．１５を小型にする
ことにより排気時間を短くできる。また挿入用予備排気
室１４と真空予備室１３を有することから、試料加工ま
で長い時間真空状態を保てるため、試料の温度安定性が
良くなる。さらに、加工用真空チャンバと予備排気室と
の間に真空予備室があることから、排気の際の振動も真
空チャンバに伝わりに＜＜、予備排気室排気中でも真空
チャンバ内での加工が可能である。従って試料処理時間
が短縮される。

（発明の効果） 以上のように本発明は、真空予備室および複数の予備室
を設けることにより、温度安定性が良く短時間の試料挿
入、取出しができる。また、挿入。

取出し時に試料が交差することがないので、パーティク
ルの付着が低減できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の試料の挿入、取出し装置を示す図、第
２図は第１図を模式化して示した図、第３図は従来の試
料の挿入、取出し装置を示す図である。 １１・・・真空チャンバ、１２ａ〜１２ｅ・・・仕切弁
、１３・・・真空予備室、１４・・・試料挿入用予備排
気室、　１５・・・試料取出し用予備排気室、１６　　
・・試料挿入用カセット（大気中）、１７・・・試料取
出し用カセット（大気中）、　１８・・・スライド台。 特許出願人　松下電子工業株式会社 第 図 １２ａ　〜］２ｅ　、−イ士しつすｔ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 加工を行う真空チャンバに対して第１の仕切弁を介して
   設けた真空予備室と、試料挿入用カセットを連結可能に
   する第３の仕切弁を有し、前記真空予備室に対し第２の
   仕切弁を介して設けた試料挿入用予備排気室と、試料取
   出し用カセットを連結可能にする第５の仕切弁を有し、
   前記真空予備室に対し第４の仕切弁を介して設けた試料
   取出し用予備排気室とを具備することを特徴とする真空
   チャンバへの試料の挿入、取出し装置。