JPH02133883A - 外観検査方法 - Google Patents
外観検査方法Info
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- JPH02133883A JPH02133883A JP63288167A JP28816788A JPH02133883A JP H02133883 A JPH02133883 A JP H02133883A JP 63288167 A JP63288167 A JP 63288167A JP 28816788 A JP28816788 A JP 28816788A JP H02133883 A JPH02133883 A JP H02133883A
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は印刷回路板の外観目視を自動化するための外観
検査方法に関するものである６［従来の技術］ 従来、回路パターンの欠陥を検出する方法としては特開
昭６２−８８９４６号に見られるような方法があった。
検査方法に関するものである６［従来の技術］ 従来、回路パターンの欠陥を検出する方法としては特開
昭６２−８８９４６号に見られるような方法があった。
この方法は暗視野照明と、明視野照明とを用いて夫々の
照明を切り換え、夫々の照明による画像を得て合成処理
することにより欠陥を検出していた。
照明を切り換え、夫々の照明による画像を得て合成処理
することにより欠陥を検出していた。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら上記従来例では画像処理が複雑となる上に
、照明を暗視野用と、明視野用とを夫々必要とするとい
う問題があった。
、照明を暗視野用と、明視野用とを夫々必要とするとい
う問題があった。
そこで照明を一つだけ使用して被検査物、例えぼ印刷回
路板の面に斜向する方向から投光して得られる濃淡画像
において、所定の閾値より濃度が大きい、或は小さい部
分に欠陥が在ると判定する方法も提供されている。この
従来方法を使用して凹凸欠陥の検査を行うと、凹部分が
深く又は凸部分が高く、しかも正常面に対して凹凸部分
がなす傾斜が大きいときには、濃淡画像において充分な
コントラストが得られるため検査することは可能であっ
たが、しかしながら凹部分の浅い又は凸部分の低いもの
や、深さや高さは充分にあるが正常面となす傾斜が緩や
かなため、濃淡画像においてコントラストの得にくいも
のは検査することができなかった。
路板の面に斜向する方向から投光して得られる濃淡画像
において、所定の閾値より濃度が大きい、或は小さい部
分に欠陥が在ると判定する方法も提供されている。この
従来方法を使用して凹凸欠陥の検査を行うと、凹部分が
深く又は凸部分が高く、しかも正常面に対して凹凸部分
がなす傾斜が大きいときには、濃淡画像において充分な
コントラストが得られるため検査することは可能であっ
たが、しかしながら凹部分の浅い又は凸部分の低いもの
や、深さや高さは充分にあるが正常面となす傾斜が緩や
かなため、濃淡画像においてコントラストの得にくいも
のは検査することができなかった。
本発明は上述の問題点に鑑みて為されたもので、その目
的とするところは装置や処理が簡単で、しかも斜向した
照明によってできる陰影と明るい部分とのコントラスト
が明確でない凹凸欠陥を確実に精度良く検出することが
でき、また凹凸欠陥のみを選択的に検出できる外観検査
方法を提供するにある。
的とするところは装置や処理が簡単で、しかも斜向した
照明によってできる陰影と明るい部分とのコントラスト
が明確でない凹凸欠陥を確実に精度良く検出することが
でき、また凹凸欠陥のみを選択的に検出できる外観検査
方法を提供するにある。
［課題を解決する手段］
本発明方法は被検査物の面に斜向する方向から投光して
得られる濃淡画像に対し、投光方向に平行な濃度分布を
測定し、この濃度分布の測定結果から被検査物の正常部
濃度より明るい方の閾値を越える部分の最大値と、暗い
方の閾値より小さい部分の最小値とを求め、これらの最
大値、最小値が濃度分布上で隣接している場合、最大値
と最小値との差を所定値と比較するものであり、特に請
求項２記載の発明では被検査物の面に斜向する方向から
投光して得られる濃淡画像を、微分、２値化、細線化、
エツジ延長して得られるエツジ画像において、エツジ画
像の中心で投光方向に平行な濃度分布を測定するもので
ある。
得られる濃淡画像に対し、投光方向に平行な濃度分布を
測定し、この濃度分布の測定結果から被検査物の正常部
濃度より明るい方の閾値を越える部分の最大値と、暗い
方の閾値より小さい部分の最小値とを求め、これらの最
大値、最小値が濃度分布上で隣接している場合、最大値
と最小値との差を所定値と比較するものであり、特に請
求項２記載の発明では被検査物の面に斜向する方向から
投光して得られる濃淡画像を、微分、２値化、細線化、
エツジ延長して得られるエツジ画像において、エツジ画
像の中心で投光方向に平行な濃度分布を測定するもので
ある。
［作用］
而して本発明方法を用いることにより、コントラストの
明確な凹凸欠陥及び、従来方法では検出が困難であった
コントランストの明確でない凹凸欠陥、即ち、凹凸が浅
い又は低いもの、凹凸は深い又は高いが正常面となす傾
斜が緩やかなものについても検出し、判定することがで
きる。また濃度の変化が正常面より明るい方、又は暗い
方のどちらか一方にしか表われてこない汚れ等の他の欠
陥については検出したないため、凹凸欠陥のみを選択的
に検出し判定することができるのである。
明確な凹凸欠陥及び、従来方法では検出が困難であった
コントランストの明確でない凹凸欠陥、即ち、凹凸が浅
い又は低いもの、凹凸は深い又は高いが正常面となす傾
斜が緩やかなものについても検出し、判定することがで
きる。また濃度の変化が正常面より明るい方、又は暗い
方のどちらか一方にしか表われてこない汚れ等の他の欠
陥については検出したないため、凹凸欠陥のみを選択的
に検出し判定することができるのである。
また濃度の変化が正常面より明るい方、又は暗い方のど
ちらか一方にしか表れてこない、汚れなどの他の欠陥に
ついては検出しないため、凹凸欠陥のみを選択的に検出
し、判定することができるのである。
ちらか一方にしか表れてこない、汚れなどの他の欠陥に
ついては検出しないため、凹凸欠陥のみを選択的に検出
し、判定することができるのである。
［実施例］
第１図は請求項１記載の本発明方法にかかる実施例の構
成を示しており、この実施例では被検査物、例えば印刷
回路板１の面に斜向す、る方向がら照明装置２によって
投光し、印刷回路板１上部に設置しであるＴＶカメラ３
により印刷回路板１の回路パターン１ａの表面を撮像す
る。ＴＶカメラ３で得られた映像信号をＡ／Ｄ変換器４
でＡ／Ｄ変換し、フレームメモリ５に蓄え、濃淡画像を
得る。この得られた濃淡画像において、第２図に示すよ
うに凹凸欠陥６の候補点である暗部イスは明部口の中心
に、投光方向に平行な濃度測定線ハに沿って濃度分布を
判定処理部７で作成する。
成を示しており、この実施例では被検査物、例えば印刷
回路板１の面に斜向す、る方向がら照明装置２によって
投光し、印刷回路板１上部に設置しであるＴＶカメラ３
により印刷回路板１の回路パターン１ａの表面を撮像す
る。ＴＶカメラ３で得られた映像信号をＡ／Ｄ変換器４
でＡ／Ｄ変換し、フレームメモリ５に蓄え、濃淡画像を
得る。この得られた濃淡画像において、第２図に示すよ
うに凹凸欠陥６の候補点である暗部イスは明部口の中心
に、投光方向に平行な濃度測定線ハに沿って濃度分布を
判定処理部７で作成する。
次に判定処理部７は第４図のフローチャートに基づいて
判定処理を行う、＝ｉず正常部を測定して第３図に示す
ように正常部の濃度の基準値を求めてその基準値を基準
濃度Ｓとし、この基準濃度Ｓより一定値α大きいところ
へ明るい方の閾値ｓｂ、一定値β小さいところへ暗い方
の閾値Ｓｄを設定する。基準濃度Ｓは各ワーク毎に測定
して常に更新し、ワークの違いや照明の変動による濃度
の変化に対応する。
判定処理を行う、＝ｉず正常部を測定して第３図に示す
ように正常部の濃度の基準値を求めてその基準値を基準
濃度Ｓとし、この基準濃度Ｓより一定値α大きいところ
へ明るい方の閾値ｓｂ、一定値β小さいところへ暗い方
の閾値Ｓｄを設定する。基準濃度Ｓは各ワーク毎に測定
して常に更新し、ワークの違いや照明の変動による濃度
の変化に対応する。
次に濃度分布が明るい方の閾値ｓｂより大きい部分の各
々について最大値ＭＡＸｂ１・・ＭＡＸｂｎを求める。
々について最大値ＭＡＸｂ１・・ＭＡＸｂｎを求める。
各最大値ＭＡＸｂｈ （ｋ＝１−・・ｍ）について、濃
度が単調に減少し、暗い方の閾値Ｓｄ以下になる点を探
索する。暗い方の閾値Ｓｄ以下の部分があれば、この暗
い方の閾値Ｓｄ以下の部分の最小値ＭＩＮｄｊ！（１＝
１・・・ｍ）を求める。
度が単調に減少し、暗い方の閾値Ｓｄ以下になる点を探
索する。暗い方の閾値Ｓｄ以下の部分があれば、この暗
い方の閾値Ｓｄ以下の部分の最小値ＭＩＮｄｊ！（１＝
１・・・ｍ）を求める。
次にこの隣接する最大値ＭＡＸｂｋと最小値Ｍ１Ｎｄｌ
の濃度差を計算し、この濃度差が予め定めた規定値１以
上のとき、凹凸欠陥６であると検出判定するのである。
の濃度差を計算し、この濃度差が予め定めた規定値１以
上のとき、凹凸欠陥６であると検出判定するのである。
これを式に表すと（１）式となる。
ＭＡＸｂｋ−ＭＩＮＩ≦γ ・・・（１）第５
図は請求項２記載の発明の実施例を示しており、この実
施例の装置では印刷回路板１の面に斜向する方向から照
明装置２により投光し、印刷回路板１上部に設置しであ
るＴＶカメラ３により撮像する。ＴＶカメラ３の撮像に
より得られた映像信号をＡ／Ｄ変換器４でＡ／Ｄ変換し
た後変換出力を分岐させ、一方をフレームメモリ５ａに
送ってフレームメモリ５ａ上に濃淡画像を作成し、もう
一方を微分回路９へ送り込む、微分回路９へ送られた映
像信号は微分され、２値化処理回路１０、細線化処理回
路１１を経て明るさが変化する部分についてのエツジ画
像となる。
図は請求項２記載の発明の実施例を示しており、この実
施例の装置では印刷回路板１の面に斜向する方向から照
明装置２により投光し、印刷回路板１上部に設置しであ
るＴＶカメラ３により撮像する。ＴＶカメラ３の撮像に
より得られた映像信号をＡ／Ｄ変換器４でＡ／Ｄ変換し
た後変換出力を分岐させ、一方をフレームメモリ５ａに
送ってフレームメモリ５ａ上に濃淡画像を作成し、もう
一方を微分回路９へ送り込む、微分回路９へ送られた映
像信号は微分され、２値化処理回路１０、細線化処理回
路１１を経て明るさが変化する部分についてのエツジ画
像となる。
ここで凹凸欠陥部分においてはエツジ画像がとぎれ易い
ため、更に細線処理回路１１の出力をエツジ延長処理回
路１２へ送り込んで、途切れな部分を継ぎ、エツジ画像
をフレームメモリ５ｂ上に作成する。
ため、更に細線処理回路１１の出力をエツジ延長処理回
路１２へ送り込んで、途切れな部分を継ぎ、エツジ画像
をフレームメモリ５ｂ上に作成する。
フレームメモリ５ｂ上においてエツジ画像をサーチし、
凹凸欠陥６の候補点のアドレスに対応する、フレームメ
モリ５ａの濃淡画像上のアドレスにおいて、投光方向に
平行に濃度を測定し、濃度分布を判定処理部７は作成す
る。
凹凸欠陥６の候補点のアドレスに対応する、フレームメ
モリ５ａの濃淡画像上のアドレスにおいて、投光方向に
平行に濃度を測定し、濃度分布を判定処理部７は作成す
る。
この濃度分布を第４図に示すフローチャートの手順に従
って上述したように濃度分布の測定結果を処理し、印刷
回路板１上の凹凸欠陥６の検出判定を行う。
って上述したように濃度分布の測定結果を処理し、印刷
回路板１上の凹凸欠陥６の検出判定を行う。
［発明の効果］
請求項１及び請求項２記載の発明は上述のように濃度分
布を測定して、この濃度分布の測定結果について、被検
査物の正常部濃度より明るい方の閾値を越える部分の最
大値と、暗い方の閾値より小さい部分の最小値とを求め
、これらの最大値、最小値が濃度分布上で隣接している
場合、最大値と最小値との差を所定値と比較するので、
・凹凸形状に影響されることなく被検査物上に存在する
凹凸欠陥を精度良く検出することができ、また凹凸欠陥
のみを他の汚れなどの欠陥と区別して検出し、判定する
ことができるという効果を奏し、しかも明視野、暗視野
の照明を行う従来方法に比して画像処理が簡単となると
ともに装置が簡略化できるという効果を奏する。
布を測定して、この濃度分布の測定結果について、被検
査物の正常部濃度より明るい方の閾値を越える部分の最
大値と、暗い方の閾値より小さい部分の最小値とを求め
、これらの最大値、最小値が濃度分布上で隣接している
場合、最大値と最小値との差を所定値と比較するので、
・凹凸形状に影響されることなく被検査物上に存在する
凹凸欠陥を精度良く検出することができ、また凹凸欠陥
のみを他の汚れなどの欠陥と区別して検出し、判定する
ことができるという効果を奏し、しかも明視野、暗視野
の照明を行う従来方法に比して画像処理が簡単となると
ともに装置が簡略化できるという効果を奏する。
第１図は請求項１記載の発明の実施例の回路構成図、第
２図及び第３図は同上の凹凸欠陥の検出判定の説明図、
第４図は同上の検出判定のフローチャート、第５図は請
求項２記載の発明の実施例の回路構成図である。 １は印刷回路板、２は照明装置、３はＴＶカメラ、４は
Ａ／Ｄ変換器、５はフレームメモリ、６は凹凸欠陥、７
は判定処理部である。 代理人 弁理士 石 １）長 七 手続補正書く自発） １．事件の表示 昭和６３年特許願第２８８１６７号 ２、発明の名称 外観検査方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 大阪府門真市大字門真１０４８番地名称（５８
３）松下電工株式会社 代表者 三 好 俊 夫 ４、代理人 郵便番号 ５３０ ５、補正命令の日付 自 発 ６、補正により増加する請求項の数 なし （１）本願明細書第５頁第１行乃至第５行の「また濃度
〜できるのである。」を削除する。 （２）同上第６頁第１５行のｒＭＡＸｂｈ、を「ＭＡＸ
ｋ、と訂正する。 （３）同上第６頁第１６行乃至第２０行の全文を下記の
ように訂正する。 「について、左右のＮ画素以内に暗い方の閾値Ｓｄ以下
の最小値ＭＩＮｄ１が存在するかどうかを判定し、存在
すれば次にこの隣接する最大値ＭＡＸｂｋと最小値Ｍ」 （４）同上第７頁第５行のｒＭＡＸｂｋ−ＭＩＮｄ１≦
γ」をｒＭＡＸｂｋ−ＭＩ Ｎｄｌ≧γ」と訂正する。 （５）同上第８頁第４行の「−チし、」の次にｒエツジ
画像の点を凹凸欠陥６の候補点とし、」を挿入する。 ＜６）図面中筒３図及び第４図を別紙のように訂正する
。 代理人 弁理士 石 １）長 七 第３図
２図及び第３図は同上の凹凸欠陥の検出判定の説明図、
第４図は同上の検出判定のフローチャート、第５図は請
求項２記載の発明の実施例の回路構成図である。 １は印刷回路板、２は照明装置、３はＴＶカメラ、４は
Ａ／Ｄ変換器、５はフレームメモリ、６は凹凸欠陥、７
は判定処理部である。 代理人 弁理士 石 １）長 七 手続補正書く自発） １．事件の表示 昭和６３年特許願第２８８１６７号 ２、発明の名称 外観検査方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 大阪府門真市大字門真１０４８番地名称（５８
３）松下電工株式会社 代表者 三 好 俊 夫 ４、代理人 郵便番号 ５３０ ５、補正命令の日付 自 発 ６、補正により増加する請求項の数 なし （１）本願明細書第５頁第１行乃至第５行の「また濃度
〜できるのである。」を削除する。 （２）同上第６頁第１５行のｒＭＡＸｂｈ、を「ＭＡＸ
ｋ、と訂正する。 （３）同上第６頁第１６行乃至第２０行の全文を下記の
ように訂正する。 「について、左右のＮ画素以内に暗い方の閾値Ｓｄ以下
の最小値ＭＩＮｄ１が存在するかどうかを判定し、存在
すれば次にこの隣接する最大値ＭＡＸｂｋと最小値Ｍ」 （４）同上第７頁第５行のｒＭＡＸｂｋ−ＭＩＮｄ１≦
γ」をｒＭＡＸｂｋ−ＭＩ Ｎｄｌ≧γ」と訂正する。 （５）同上第８頁第４行の「−チし、」の次にｒエツジ
画像の点を凹凸欠陥６の候補点とし、」を挿入する。 ＜６）図面中筒３図及び第４図を別紙のように訂正する
。 代理人 弁理士 石 １）長 七 第３図
Claims (2)
- （１）被検査物の面に斜向する方向から投光して得られ
る濃淡画像に対し、投光方向に平行な濃度分布を測定し
、この濃度分布の測定結果から被検査物の正常部濃度よ
り明るい方の閾値を越える部分の最大値と、暗い方の閾
値より小さい部分の最小値とを求め、これらの最大値、
最小値が濃度分布上で隣接している場合、最大値と最小
値との差を所定値と比較することを特徴とする外観検査
方法。 - （２）被検査物の面に斜向する方向から投光して得られ
る濃淡画像を、微分、２値化、細線化、エッジ延長して
得られるエッジ画像において、エッジ画像の中心で投光
方向に平行な濃度分布を測定し、この濃度分布の測定結
果から被検査物の正常部濃度より明るい方の閾値を越え
る部分の最大値と、暗い方の閾値より小さい部分の最小
値とを求め、これらの最大値、最小値が濃度分布上で隣
接している場合、最大値と最小値との差を所定値と比較
することを特徴とする外観検査方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63288167A JPH02133883A (ja) | 1988-11-15 | 1988-11-15 | 外観検査方法 |
| US07/433,823 US4974261A (en) | 1988-11-15 | 1989-11-09 | Optical surface inspection method |
| DE3937950A DE3937950A1 (de) | 1988-11-15 | 1989-11-15 | Verfahren zum pruefen optischer oberflaechen |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63288167A JPH02133883A (ja) | 1988-11-15 | 1988-11-15 | 外観検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02133883A true JPH02133883A (ja) | 1990-05-23 |
Family
ID=17726676
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63288167A Pending JPH02133883A (ja) | 1988-11-15 | 1988-11-15 | 外観検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02133883A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05142120A (ja) * | 1991-11-22 | 1993-06-08 | Asutemu Eng:Kk | 薄板鋼板試験片の表面に施される刻印及び刻印装置と該刻印の識別方法及び装置 |
| JP2014115608A (ja) * | 2012-11-15 | 2014-06-26 | Ricoh Co Ltd | 画像形成装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60259938A (ja) * | 1984-06-06 | 1985-12-23 | Matsushita Electric Works Ltd | 欠陥認識装置 |
| JPS61126455A (ja) * | 1984-11-26 | 1986-06-13 | Matsushita Electric Works Ltd | 画像処理方法 |
-
1988
- 1988-11-15 JP JP63288167A patent/JPH02133883A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60259938A (ja) * | 1984-06-06 | 1985-12-23 | Matsushita Electric Works Ltd | 欠陥認識装置 |
| JPS61126455A (ja) * | 1984-11-26 | 1986-06-13 | Matsushita Electric Works Ltd | 画像処理方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05142120A (ja) * | 1991-11-22 | 1993-06-08 | Asutemu Eng:Kk | 薄板鋼板試験片の表面に施される刻印及び刻印装置と該刻印の識別方法及び装置 |
| JP2014115608A (ja) * | 2012-11-15 | 2014-06-26 | Ricoh Co Ltd | 画像形成装置 |
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