JPH0214423A - 磁気記録媒体製造用真空蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、非磁性支持体を走行さきつつその表面に磁性
層を１着により形成して磁気記録媒体を製造する磁気記
録媒体製造用真空蒸着装置に関するものである。

〔発明の概要〕

本発明は、非磁性支持体を走行させつつその表面に磁性
層を蒸着により形成して磁気記録媒体を製造する磁気記
録媒体製造用真空蒸着装置において、非磁性支持体走行
機構を構成するガイドロールを強制駆動又はテンデンシ
ー駆動させることにより、走行系の安定化を図り、信頼
性に優れた磁気記録媒体を製造しようとするものである
。

〔従来の技術］ 従来よりビデオテープレコーダ（ＶＴＩ’？）等に用い
られる！磁気記録媒体としては、！ｎ性扮、バインダー
、添加剤等を混合してなる磁性塗料を非磁性支持体上に
塗布し乾燥することにより作製されるいわゆる塗布型の
磁気記録媒体が広く使用されている。

ところが、近年、ビデオテープレコーダ等の機器の小型
化、長時間化等の要求やいわゆるディジタル・ビデオテ
ープレコーダ等の出現に伴って、高密度記録化や短波長
記録化が進められ、これに対応して高抗磁力を有する磁
気記録媒体の研究が進められ、その一部が実用化されて
いる。

かかる高抗磁力磁気記録媒体としては、例えば強磁性金
属材料を非磁性支持体上に直接被着した、いわゆる金属
磁性薄膜型の磁気記録媒体が挙げられる。この金属磁性
薄膜型の磁気記録媒体は抗磁力や角形比等に優れ、短波
長での電磁変換特性に優れるばかりでなく、磁性層の厚
みを極めて薄くすることが可能であるため、記録減磁や
再生時の厚みの…失が著しく小さいこと、磁性層中に非
磁性材であるパイ、ンダーを混入する必要がないため磁
性材料の充填密度を高めることができること等、数々の
利点を有している。

上記磁気記録媒体を製造するには、真空薄膜形成技術、
例えば真空蒸着法、スパッタリング法。

イオンブレーティング法等が挙げられるが、なかでも装
置が簡便でしかもＹｉｉｎ形成速度が速いことから真空
蒸着法が用いられている。かかる真空蒸着法にて磁気記
録媒体を製造するには、真空中でテープ状の非磁性支持
体を巻き出しロールから巻き取りロールに亘って走行さ
せる中途部において大径の１冷却キヤンを介在させ、こ
の冷却キャンの周面を走行する際に上記非磁性支持体上
に金属磁性材料を蒸発させ被着させることにより磁性層
を形成させるようにしている。

〔発明を解決しようとする課題〕

ところで、上記非磁性支持体の走行系、すなわち巻き出
しロール、冷却キャン、巻き取りロールに亘る走行経路
中には、複数のガイドロールが配設され、該非磁性支持
体を円滑に走行させるようにしている。

ところが、これらガイドロールは回動自在に取り付けら
れてはいるものの、走行する非磁性支持体の摺接による
摩擦力で回転するようにされているのみであるため、非
磁性支持体の走行に抵抗を与える。特に、走行経路中の
ガイドロールの数が増えればその分だけ抵抗が増加する
ことになり、非磁性支持体の走行系には大きな抵抗が加
わることになる。この抵抗は媒体走行方向と反対方向に
働き非磁性支持体にバックテンションをかけることにな
り、これにより巻き出しロール、巻き取りロール、冷却
キャン等の駆動部に負荷を与える。

この結果、非磁性支持体を一定速度で走行させることが
できなくなり、安定した走行状態を確保することができ
なくなる等の不都合が生ずる。

また、バックテンションが大きい場合には、非磁性支持
体が伸びた状態又は撓んだ状態で磁性層が形成される虞
れがあり、この場合には非磁性支持体が通常の状態に戻
ったときに磁性層にクランクが入ったり、膜剥がれが生
じたり、あるいは膜厚不良等が生ずる。

そこで本発明は、かかる従来の実情に鑑みて提案された
ものであって、非磁性支持体の走行系の安定化を図り、
膜剥がれ等が無く信頼性に優れ、しかも歩留りの向上が
図れる磁気記録媒体を製造可能とする磁気記録媒体製造
用真空蒸着装置を提供することを目的とするものである
。

〔発明を解決するための手段〕

本発明の磁気記録媒体製造用真空蒸着装置は、上記の１
目的を達成するために、真空槽内に巻き出しロール、巻
き取りロール、冷却キャン、ガイドロールよりなる非磁
性支持体走行機構と、蒸発源及び該蒸発源の加熱手段よ
りなる蒸着機構とが設けられてなり、前記ガイドロール
が強制駆動、又は、テンデンシー駆動されていることを
特徴とするものである。

ここで、上記強制駆動とは、モータ等の駆動装置で直接
ガイドロールを非磁性支持体走行方向に回動させるよう
にしたものである。

一方、前記強制駆動がガイドロールを直接駆動装置で回
動させているのに対し、テンデンシー駆動では前記駆動
装置の駆動を直接ガイドロールに伝達せず、例えばベア
リング等を介して間接的にガイドロールに伝達して非磁
性支持体走行方向に回動させるようにし、当該媒体走行
速度の変動にも対処し得るようにしたものである。

なお、上記強制駆動及びテンデンシー駆動する際には、
ガイド１コールを冷却キャンとを同期させ°ζ回動させ
てやると良い。

〔作用〕

本発明の磁気記録媒体製造用真空蒸着装置によれば、非
磁性支持体走行機構を構成するガイドロールが強制駆動
又はテンデンシー駆動されているので、ガイドロールと
非磁性支持体との摺接による摩擦力が低減し当該非磁性
支持体にはパックテンションがかかる虞れがな（なる。

したがって、非磁性支持体の伸びや撓み等の発生が防止
され良好な走行状態が確保される。また、巻き出しロー
ル、冷却キャン、巻き取りロール等の駆動部への負荷も
なくなり、走行系の安定化が図れる。

〔実施例］ 以下、本発明を適用した具体的な一実施例を図面を参照
しながら説明する。

本発明の磁気記録媒体製造用真空蒸着装置は、第１図に
示すように、内部が真空状態となされる真空槽（１）内
に巻き出しロール（２）、巻き取りロール（３）、ガイ
ドロール（４）、（４）　、冷却キャン（５）よりなる
長尺状非磁性支持体（６）の走行系を構成する非磁性支
持体走行機構と、蒸着源であるルツボ（７）と該ルツボ
（７）を加熱する加熱手段である電子銃（８）よりなる
蒸着機構とを備えて４１：るものである。

上記真空蒸着装置は、前記長尺状の非磁性支持体（６）
を巻き出しロール（２）から供給し、冷却キャン（５）
上で磁性層を形成した後、巻き取りロール（３）に巻き
取ることにより蒸着型の磁気記録媒体を製造するもので
ある。

上記非磁性支持体（６）の走行系を構成する巻き出しロ
ール（２）から巻き取りロール（３）に亘って走行する
中途部には、非磁性支持体（６）をルツボ（７）側に引
き出すように配設される冷却キャン（５）が配設されて
いる。上記冷却キャン（５）は、その周面に非磁性支持
体（６）を摺接させながら該非磁性支持体（６）を巻き
取りロール（３）側に一定速度で走行させつつ、前記非
磁性支持体（６）表面に金属磁性材料を蒸着させるもの
である。なお冷却キャン（５）には、図示しない冷却装
置が設けられ、１８接する非磁性支持体（６）の温度上
界による変化等を抑制するようしている。

また、上記冷却キャン（５）と前記巻き出しロール（２
）間及び巻き取りロール（３）間に亘る走行経路中には
、前記非磁性支持体（６）を円滑に走行させるためのガ
イドロール（４）　、　（４）が配設されている。

上記ガイドロール（４）　、　（４）は、モータ等の駆
動装置により直接駆動させられ、すなわち強制駆動させ
られており、前記冷却キャン（５）と同期してノ目ｎ性
支持体（６）走行方向に回動するようになっている。こ
れによれば、ガイドロール（４）、（４）と非磁性支持
体（６）との摺接による摩擦力の低減が図れるので、非
磁性支持体（６）に加わる抵抗力が抑制される。したが
って、非磁性支持体（６）にはバックテンションがかか
る虞れが無くなり、当該非磁性支持体（６）の伸びや撓
み等の発生も回避され良好な走行状態が確保される。ま
た、巻き出しロール（２）、冷却キャン（５）１巻き取
りロール（３）等の駆動部への負荷もなくなり走行系の
安定化が図れる。

なお、上記ガイドロール（４）　、　（４）には、それ
ぞれ独立にモータが取り付けられているが、例えば両ガ
イドロール（４）、（４）間に亘って一定の回転数を正
値に伝達し得るタイミングベルトを掛けわたすことより
、両ガイドロール（４）、（４）をモータ１個で回動さ
せるようにしてもよい。さらに、上記タイミングベルト
の他、例えば平ベルトやプーリー等を使用してもよい。

さらに本発明にあっては、上記ガイドロール（４）。

（４）がテンデンシー駆動されていてもよい。すなわち
、第２図に示すように、ガイドロール軸（１２）に軸受
け（１３）を介して非磁性支持体（６）と摺接するガイ
ドロール外筒（１４）を取り付けてガイドロール（４）
　、　（４）を構成し、上記ガイドロール軸（１２）を
モータ等の駆動装置により非磁性支持体（６）走行方向
に回動させる。これによれば、上記ガイドロール軸（１
２）は直接駆動装置により回動させられる。

一方、ガイドロール外筒（１４）は、ガイドロール軸（
１２）に軸受け（１３）を介して回動可能とされている
ので、駆動装置の回転数に対応した回転数ではなくこれ
よりも少ない回転数でやはり非磁性支持体（６）走行方
向に回動する。これによれば、ガイドロール外筒（１４
）を直接回動させる強制駆動とまではいかないものの、
メカニカル・ロス等が低減されやはりガイドロール（４
）　、　（４）と非磁性支持体（６）との摺接による摩
擦力の低減が図れ、非磁性支持体（６）に加わる抵抗力
が抑制される。したがって、非磁性支持体（６）の良好
な走行状態が確保される。

よって、膜剥がれやクラック等が無く信頼性に優れた磁
気記録媒体を歩留り良く製造することが可能となる。

また、上記冷却キャン（５）　と該冷却キャン（５）に
対向する位置で真空槽（１）に設けられた排気孔（９）
との間には、金属磁性材料（ｌＯ）を収容するルツボ（
７）が配設されている。上記金属磁性材料（ｌＯ）は、
前記電子銃（８）からの電子ビームによって加熱させら
れることにより蒸発し、前記冷却キャン（５）の周面に
沿って走行する非磁性支持体（６）の表面に、被着する
。なお上記ルツボ（７）は、蒸発する金に磁性材料（１
０）の蒸着速度を任意に制御して蒸着させることができ
る。

さらに、上記冷却キャン（５）とルツボ（７）　との間
であって該冷却キャン（５）の近傍には、冷却キャン（
５）の周面と対向するように湾曲形成された遮蔽板（１
１）が配設されている。この遮１ｌｌｉＩｉＦｉ、（ｌ
ｌ）は、ルツボ（７）からの金属磁性材料（１０）の蒸
発蒸気流の蒸着状態及び後述の不活性ガスの導入状態を
制御するものであり、さらには斜め蒸着にも対応し得る
よう蒸発蒸気流の蒸着範囲を規制するためのものでもあ
る。なお、上記冷却キャン（５）とルツボ（７）間には
さらに、前記金属磁性材料（ＩＯ）を蒸着させる際に同
時に不活性ガス（例えばＡｒやＮ。

等、）を導入するためのガス導入管（１２）が配設され
ている。

上記真空蒸着装置を用いて磁気記録媒体を製造するには
、非磁性支持体（６）を巻き出しロール（２）より送り
出し一方のガイドロール（４）を介して順次冷却キャン
（５）に走行させ、当該冷却キャン（５）周面を走行さ
せる際に金属磁性材料（ｌＯ）を電子銃（８）で加熱し
蒸発させ前記非磁性支持体（６）表面に金属磁性薄膜を
被着形成する。そして、金属磁性薄膜が形成されて磁気
記録媒体となされた非磁性支持体（６）は、上記冷却キ
ャン（５）から他方のガイドロール（４）を介して前記
巻き取りロール（３）に向かって走行させられ巻き取ら
れる。

ここで、前記真空蒸着装置を使用して実際に磁気記録媒
体を以下の条件で作製した。

すなわち、非磁性支持体（６）にポリエチレンテフタレ
ートを使用し、酸素雰囲気中でＣｏ−Ｎ１合金（Ｃｏ　
：Ｎｉ−８０：　２０）を金ＩＡ＆ｎ性材料（１０）　
トＬ、ＭＦ￥２０００人の強磁性金属ｔＷＪｆ９を磁性
層として被着形成した。また、上記非磁性支持体（６）
の厚みを１０＃ｍ、８ｐｒｎ、６μｍに変え、前記ガイ
ドロール（４）を強制駆動（実施例！ないし実施例３）
又はテンデンシー駆動（実施例４ないし実施例６）させ
て各厚みでそれぞれ磁気記録媒体を製造し、非磁性支持
体（６）の走行状態及び巻き取りロール（３）に巻き取
られた後のロールフォーメｉ−ジョン（巻回状Ｊｌ！ｔ
）を１１視により観察した。なお比較例として、単に非
磁性支持体（６）の摺接により回動するガイドロール（
４）を用いて前記条件と同一条件で磁気記録媒体を製造
した。

その結果を第１表に示す、なお第１表中、非磁性支持体
（６）の走行状態及びロールフォーメーシッンが良好で
あるものを０．やや良好であるものをΔ、不良であるも
のを×で示す。

以下余白 第１表 上記第１表かられかるように、前記ガイドロール（４）
を強制駆動させた実施例１ないし実施例３では、ガイド
ロール（４）を単に非磁性支持体（６）の摺接により回
動させた比較例１ないし比較例３に比べて、走行状態及
びロールフォーメーションともに良好であった。特に、
非磁性支持体（６）の厚みが薄くなると、当該非磁性支
持体（６）の走行状態及びロールフォーメーションが悪
くなる（比較例２及び比較例３）が、ガイＩＩ：１−ル
（４）を強制駆動させた実施例２．実施例３ではいずれ
も比較的良好な状態に近づき、極め′Ｃ薄い非磁性支持
体（６）に対しても効果的である。なお、本実験例で得
られた磁気記録媒体は、磁性層にクランクが生ずること
も無く、また膜剥がれ等も見られなかった。

したがって、ガイドロールを強制駆動させた本実施例の
真空蒸着装置を用いて磁気記録媒体を製造すれば、非磁
性支持体の良好な走行状態を確保することができ、これ
により得られる磁気記録媒体の信頼性もより一層向上す
る。

一方、前記ガイドロール（４）をテンデンシー駆動させ
た実施例４ないし実施例６でも、やはり強制駆動させた
場合と同様、非磁性支持体（６）の走行状態とロールフ
ォーメーションともに良好であった。したがって、前記
ガイドロールをテンデンシー駆動させても非磁性支持体
（６）の良好な走行状態が確保できる。なお、この場合
においても得られる磁気記録媒体の磁性層には、クラン
クの発生も無く膜剥がれも無かった。

〔発明の効果〕

以上の説明からも明らかなように、本発明の磁気記録媒
体製造用真空蒸着装置によれば、非磁性支持体走行機構
を構成するガイドロールが強制駆動又はテンデンシー駆
動させられているので、ガイトロールと非磁性支持体と
の摺接による摩擦力が低減され当ｊｆ　Ｊ口１１性支持
体にかかる抵抗力が抑制されバックテンシゴンが生じな
い。したがって、非磁性支持体の伸びや撓み等の発生も
回避され良好な走行状態が確保される。また、巻き出し
ロール、冷却キャン、Ｓき取りロール等の駆動部への負
荷もなくなり、走行系の安定化が達成される。

よって、膜剥がれやクランク等の無い信頼性に優れた磁
気記録媒体を歩留り良く製造することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を通用した磁気記録媒体製造用真空蒸着
装置の一例を示す概略模式図である。 第２図はテンデンシー駆動されるガイドロールの一例を
示す要部拡大断面図である。 真空槽 巻き出しロール 巻き取りロール ガイトロール 冷却−トヤン 非磁性支持体 ルツボ 電子銃 特許出願人　　　ソニー株式会社

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）真空槽内に巻き出しロール，巻き取りロール，冷
   却キャン，ガイドロールよりなる非磁性支持体走行機構
   と、 蒸発源及び該蒸発源の加熱手段よりなる蒸着機構とが設
   けられてなり、 前記ガイドロールが強制駆動されていることを特徴とす
   る磁気記録媒体製造用真空蒸着装置。
2. （２）真空槽内に巻き出しロール，巻き取りロール，冷
   却キャン，ガイドロールよりなる非磁性支持体走行機構
   と、 蒸発源及び該蒸発源の加熱手段よりなる蒸着機構とが設
   けられてなり、 前記ガイドロールがテンデンシー駆動されていることを
   特徴とする磁気記録媒体製造用真空蒸着装置。