JPH02167659A - 平面研摩装置及び研摩跡の方向の揃った研摩加工品の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、磁気ディスク用アルミニウム基板その他の
被研磨物の研磨加工に用いる平面研磨装置及び研磨跡の
方向の揃った研磨加工品の製造方法に関する。

従来の技術 この種の平面研磨装置の１つとして、回転可能に設けら
れた１対の砥石と、これら砥石の間で自転しながら公転
可能に設けられた被研磨物保持器とを備え、該保持器を
自転、公転させつつ被研磨物に圧接した前記砥石を回転
させて被研磨物の研磨加工を行うものとなされている平
面研磨装置が知られている。このような研磨装置によれ
ば、被研磨物保持器自体が自転、公転しているため被研
磨物を砥石の研磨面全体でまんべんなく研磨でき、砥石
の片減りを防虫できるとともに加工精度の良好な研磨面
を得ることができる。

発明が解決しようとする課題 ところが上記の平面研磨装置において、従来では、砥石
の回転停止と被研磨物保持器の回転停止が常に同時に行
われるものであったため、次のような欠点があった。

即ち、被研磨物保持器自体の自転・公転により、披研磨
物の研磨方向は加工中常時変化しているが、保Ｆ′４′
Ｉ器の回転停止と同時に砥石も停止するため、研磨終了
に至るまでの彼Ｖ［磨物の研磨跡の方向が一定に揃わな
いことか多い。このため、例えば磁気ディスク用ＡＱ基
板のように研磨跡を一定方向に揃えることが製品品質と
して要求されるものを、この研磨装置で歩留り良く製作
することは困難であるという欠点があった。

この発明はかかる技術的背景に鑑みてなされたものであ
って、研磨跡の方向を一定に揃えることのできる平面研
磨装置の提供を目的とし、さらには研磨跡の方向の揃っ
た研磨加工品の製造方法の提供を目的とするものである
。

課題を解決するたための手段 上記目的において、この発明は、図面の符号を参照して
示すと、回転可能に設けられた１χ１の砥石（３）（４
）と、これら砥石の間で自転しながら公転可能に設けら
れた被研磨物保持器（７）とを備え、該保持器を自転、
公転させつつ披研磨物（Ｂ）に圧接した前記砥石（３）
（４）を回転させて披研磨物の研磨を行うものとなされ
ている平面研磨装置において、前記被研磨物保持器（７
）の回転停止特産より後に所定のタイムラグを置いて前
記砥石（３）（４）の回転を停止する機構が設けられて
いることを特徴とするものである。さらにはまた、回転
ｒＪ能に設けられた１対の砥石（３）（４）の間で、被
研磨物保持器（７）を自転させつつ公転させるとともに
、披研磨物（Ｂ）に圧接した前記砥石（３）（４）を回
転させて披研磨物（Ｂ）の研磨を行う研磨加工品の製造
方法において、前記被研磨物保持器（７）の回転をまず
停止したのち、所定のタイムラグを置いて前記砥石（３
）（４）の回転を停止することを特徴とするものである
。

ここに、砥石（３）（４）は−膜内には第１図及び第２
図に示すように、１対の回転対向定盤（１）（２）の内
面に取着されることにより、回転可能に支持されるもの
となされる。また、被研磨物保持器（７）を自転・公転
可能となすための最も一般的な構成としては、該保持器
（７）を、砥石（３）（４）の回転中心に配した太陽歯
車（５）とこの太陽歯車（５）の同心外方に配した内歯
歯車（６）のいずれにもその外周面を噛合された状態に
配置し、これら太陽歯車（５）と内歯歯車（６）を回転
するようにしたものを挙げうる。また、砥石即ち定盤（
１）（２）や遊星歯車（５）、内歯歯車（６）の回転駆
動はモーター（１１）〜（１３）により行われ、これら
モーターの駆動はタイマー（２１）　　（２２）により
行われるのが一般的である。従って、被研磨物保持器（
７）の自転・公転の停止時点よりも後に所定のタイムラ
グを置いて砥石（３）（４）の回転を停止する機構はタ
イマー（２１）（２２）に組込むのが良い。

作用 披研磨物（Ｂ）を保持器（７）にセットしたのち定盤（
１）（２）を接近させて所定の加圧力で砥石（３）（４
）を披研磨物（Ｂ）に圧接させる。次いで、太陽歯車（
５）、内歯歯車（６）、定盤（１）（２）を回転駆動す
る第１〜第３モーター（１１）〜（１３）の作動を制御
する第１、第２タイマー（２１）　　（２２）が同時に
ＯＮとなる。これにより、第３図に示すように、太陽歯
車（５）、内歯歯車（６）、定盤（１）（２）は回転を
開始したのち速度か徐々に上昇する。太陽歯車（５）と
内歯歯車（６）の回転により、被研磨物保持器（７）は
砥石のｌＬ！１転中心に対して自転しつつ公転をはじめ
る。速度上昇後、太陽歯車（５）、内歯歯車（６）、定
盤（１）（２）は各定速度回転（Ｎｌ）（Ｎ２）（Ｎ３
　）　　（Ｎ４　）となり、砥石（３）（４）の作用で
被研磨物（Ｂ）の研磨加工が遂行される。

一定ｉ時間（Ｔ２）経過後まず第２タイマー（２２）が
ＯＦＦとなる。これにより第２、第３モーター（１２）
　　（１３）がＯＦＦになるが太陽歯車（５）と内歯歯
車（６）は慣性力で回転しつつ徐々に減速しやがて停止
する。第２タイマー（２２）のＯＦＦ後（Ｔ１−Ｔ２　
）のタイムラグを置いて第１タイマー（２Ｉ）がＯＦＦ
になる。これにより第１モーター（ｌ（）がＯＦＦにな
るが定盤（１）（２）は徐々に減速しつつち慣性力で回
転しており、この間に、既に停止した保持器（７）の被
研磨物（Ｂ）が研磨されることになる。このように研磨
加工の終了間際に、保持器（７）が停止した状態で砥石
（３）（４）のみ回転して加工が遂行される期間が生し
るから、被研磨物（Ｂ）の研磨方向が一定方向となり、
ｆＬ＋られる研磨加工品の研磨跡も一定方向に崩うこと
となる。

実施例 次にこの発明の構成を第１図〜第３図に示す実施例に基
いて説明する。

第１図及び第２図において、（Ａ）は平面研磨装置であ
り、該装置は上下一対の対向定盤（１）（２）と、各定
盤の内面に取着された上下砥石（３）（４）と、各砥石
（３）（４）の間において砥石の軸心に配置された太陽
歯車（５）と、該太陽歯車（５）の同心外方に配置され
た内歯歯車（６）と、前記太陽歯車（５）と内歯歯車（
６）のいずれにも外周面を噛合された状態に配置された
１または２以上の薄板・１４歯車状の被研磨物保持器（
７）とを備えている。

また、各保持器（７）には複数の孔が形成されており、
この孔に保持器よりも厚内の円板状被研磨物（Ｂ）か嵌
め込み状態に保持されるものとなされている。さらに、
上下定盤（１）（２）は駆動９ｄｌ　（ｌａ）　　（２
ａ）及びスプロケット（ｌｂ）（２ｂ）を介して第１モ
ーター（１１）に接続され、該モーター（１１）の駆動
により回転するものとなされている。なお、上側定盤（
１）はシリンダー（図示せず）により昇降自在に支持さ
れ、第１図に示す下降位置において駆動軸（ｌａ）の上
端の係合部（ｌａ’）に係合して、下側定盤（２）と逆
方向の回転力を付与されるものとなされている。一方、
太陽歯車（５）は駆動軸（５ａ）及びスプロケット（５
ｂ）を介して第２モーター（１２）に、また内歯歯車（
６）は駆動軸（６ａ）及びスプロケット（６ｂ）を介し
て第３モーター（１３）にそれぞれ接続されており、こ
れらモーター（１２）　　（１３）の駆動によりそれぞ
れゲ（なる回転数で回転し、これにより保ｔ！ｉ器（７
）を遊星歯車状に自転させつつ公転させうるちのとなさ
れている。また、前記第１モーター（１１）の作動は第
１タイマー（２１）によって制御され、この第１タイマ
ーはＯＮ後Ｔ１時間経過したときにＯＦＦするように設
定されている。一方、第２、第３各モーター（１２）　
　（１３）の作動は第２タイマー（２２）によって制御
され、この第２タイマー（２２）はＯＮＮ後２時間経過
したときにＯＦＦするものとなされている。而して、第
１タイマー（２１）の作動時間Ｔ１は第２タイマー　（
２２）の作動時間Ｔ２よりも長く設定されている。これ
により、太陽歯車（５）及び内歯歯車（６）の回転が停
止したのち、はぼ（Ｔ１−Ｔ２）時間のタイムラグを置
いて上下定盤（１）（２）の回転が停止するものとなさ
れている。

ここに、（Ｔ１−Ｔ２　）の好ましい値としては、１〜
１０秒程度に設定するのが良い。なお、上下定盤（１）
（２）、太陽歯車（５）、内歯歯車（６）の回転数は、
被研磨物（Ｂ）の両面を等しく加工できるように予め清
明する比率に設定されている。

次に図示した平面研磨装置の動作を、第３図の動作特性
図を参照しつつ説明する。

まず、被研磨物（Ｂ）を被研磨物保持器（７）にセット
したのち、上下定盤（１）（２）を接近させて砥石（３
）（４）を所定の加圧力で被研磨物（Ｂ）に圧接させる
。続いて第１タイマー　（２１）　、第２タイマー（２
２）が同時にＯＮになる。すると第１〜第３各モーター
（１１）　　（１２）（１３）が駆動され、これにより
上下定盤（１）（２）、太陽歯車（５）、内歯歯車（６
）は回転を開始したのち第３図に示すように速度が徐々
に上昇する。一方、太陽歯車（５）と内歯歯車（６）の
回転により被研磨物保持器（７）は上下砥石（３）（４
）の回転中心のまわりを自転しつつ公転をはじめる。速
度上昇後、太陽歯車（５）、内歯歯車（６）、定盤（１
）（２）は各定速度回転（Ｎ１）（Ｎ２）（Ｎ３）（Ｎ
４）となる。第１、第２タイマーのＯＮ後Ｈ１ｐ間Ｔ２
が経過したときにまず第２タイマー（２２）がＯＦＦと
なる。これにより第２、第３モーター　（１２）　　（
１３）はＯＦＦになるが、太陽歯車（５）と内歯歯車（
６）は慣性力で回転しつつ徐々に減速しやがて停止する
。第２タイマー（２２）のＯＦＦＦＦイタイムラグ１−
Ｔ２　）を置いて今度は第１タイマー（２１）がＯＦＦ
になる。これにより第１モーター（１１）がＯＦＦにな
るが上下定盤（１）（２）は徐々に減速しつつも慣性力
で回転しており、この間に、停止した保持器の彼研磨物
（Ｂ）は引続き研磨加工を受ける。この被研磨物保持器
（７）の停止後の加工により彼研磨物（Ｂ）の研磨方向
が一定となり、得られた研磨加工品の研磨跡が一定方向
に揃うこととなる。なお、比較のために第４国に従来の
太陽歯車（５）、内歯歯車（６）、上下定盤（１）（２
）の動作特性を示す。

発明の効果 この発明は、上述の次第で、被研磨物保持器の回転停止
時点より後に所定のタイムラフを置いて砥石の回転を停
止するしのであるから、研磨加工の終了間際に保持器が
停止した状態で砥石のみ回転して加工が遂行される期間
が生しることになる。従って、加工終了後の研磨加工品
の研磨跡を一定方向に揃えることができ、磁気ディスク
用ＡΩ基板等のように研磨跡を揃えることが製品品質と
して要求される部材を確実に歩留り良く製作堤供できる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は平面研磨装置の一部断面図、第２図は要部斜視
図、第３図は動作特性図、第４図は従来の動作特性図で
ある。 （Ａ）・・・平面研磨装置、（Ｂ）　　・・披研磨物、
（１）・・・主測定盤、（２）・・・下側定盤、（３）
・・・上側砥石、（４）・・・下側砥石、（５）・・太
陽歯車、（６）・・・内歯歯車、（７）・・・被研磨物
保持器。 以上 回　ぷ　増　セ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）回転可能に設けられた１対の砥石と、これら砥石
   の間で自転しながら公転可能に設けられた被研磨物保持
   器とを備え、該保持器を自転、公転させつつ被研磨物に
   圧接した前記砥石を回転させて被研磨物の研磨を行うも
   のとなされている平面研磨装置において、前記被研磨物
   保持器の回転停止時点より後に所定のタイムラグを置い
   て前記砥石の回転を停止する機構が設けられていること
   を特徴とする平面研磨装置。
2. （２）回転可能に設けられた１対の砥石の間で被研磨物
   保持器を自転させつつ公転させるとともに、被研磨物に
   圧接した前記砥石を回転させて被研磨物の研磨を行う研
   磨加工品の製造方法において、前記被研磨物保持器の回
   転をまず停止したのち、所定のタイムラグを置いて前記
   砥石の回転を停止することを特徴とする研磨跡の方向の
   揃った研磨加工品の製造方法。