JPH02199638A - マスター用ガラス基板 - Google Patents
マスター用ガラス基板Info
- Publication number
- JPH02199638A JPH02199638A JP1908589A JP1908589A JPH02199638A JP H02199638 A JPH02199638 A JP H02199638A JP 1908589 A JP1908589 A JP 1908589A JP 1908589 A JP1908589 A JP 1908589A JP H02199638 A JPH02199638 A JP H02199638A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist
- master
- glass substrate
- parts
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C19/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by mechanical means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は光デイスク製造技術に関するものであり、特に
詳しくは表面に塗布するレジストが剥離し難いマスター
用ガラス基板に関する。
詳しくは表面に塗布するレジストが剥離し難いマスター
用ガラス基板に関する。
従来、この種の技術としてはシランカップリング剤等、
適宜のカップリング剤をガラス基板に塗布してレジスト
の密着性を改善する方法、レジストとの密着性の強いク
ロム下地を蒸着、スパッタリング等の手法によって形成
する方法、ガラス基板に同心円状、放射状等の微細な溝
を形成し、密着面積を拡大することにより剥離を防止す
る方法等が周知である。
適宜のカップリング剤をガラス基板に塗布してレジスト
の密着性を改善する方法、レジストとの密着性の強いク
ロム下地を蒸着、スパッタリング等の手法によって形成
する方法、ガラス基板に同心円状、放射状等の微細な溝
を形成し、密着面積を拡大することにより剥離を防止す
る方法等が周知である。
しかし、上記向れの方法によってもレジストの剥離を完
全に防止することは困難であり、マスターからスタンパ
−を作る際に行うニッケルめっき工程において、塗布し
たレジストが剥離して折角形成したパターンが破壊され
ることがあった。 従って、マスターからスタンパ−を作成する工程におい
て、レジストが剥離することのないマスター用ガラス基
板の開発が望まれていた。
全に防止することは困難であり、マスターからスタンパ
−を作る際に行うニッケルめっき工程において、塗布し
たレジストが剥離して折角形成したパターンが破壊され
ることがあった。 従って、マスターからスタンパ−を作成する工程におい
て、レジストが剥離することのないマスター用ガラス基
板の開発が望まれていた。
本発明は上記した従来技術の課題を解決するためになさ
れたもので、パターン形成部を除（レジスト塗布部に、
微細な凹凸が形成されたことを特徴とするマスター用ガ
ラス基板である。
れたもので、パターン形成部を除（レジスト塗布部に、
微細な凹凸が形成されたことを特徴とするマスター用ガ
ラス基板である。
つぎに本発明を図示の一実施例に基づいて詳細に説明す
る。 図中１は一面にパターン形成部１１と非パターン形成部
１２とが設けられた、２４０■禦φ×５寵の円盤状のマ
スター用ガラス基板（以下ガラス基板と呼ぶ）である。 パターン形成部１１はこの場合半径２０目〜７０ｍ■の
間に設けられており、中心部と外周部の非パターン形成
部１２には何れも４０００番の研摩舐により５分間研摩
されて微細な凹凸が無数に形成されている。 上記構成のガラス基板１は通常の方法により、光デイス
ク製造用マスター、及びスタンパ−の製造に供される。 即ち、ガラス基板１は洗浄命乾燥の後、前記微細な凹凸
が形成された面に適宜のカップリング剤（例えばシラン
カップリング剤）１３が全面に塗布されて、次工程で塗
布するレジスト（例えば富士ハント社製１１ＰＲ−２０
４） １４の密着性が改善される。レジスト１４は適宜
の膜厚（例えばＬ２Ｏｎ＋＋）で塗布され、前記パター
ン形成部１１に適宜のパターン形成用露光手段（例えば
レーザー）２を用いて所望のパターンを形成する。続い
て適宜の手段（例えばアルカリ水溶液等）によってレジ
スト１４を現像し、露光部は全て除去して現像レジスト
１４ａとしては、未露光部のみを残して乾燥すると、所
望のパターンが形成されたマスター３が出来上がる。 マスター３の表面部にスパッタリング、Ｍ着等の手断に
よって適宜の導電性金属薄膜（例えば銀、ニッケル等）
１５を一様に形成させ、該薄膜１５の上に堅固な金属膜
（例えばニッケル膜）１６を適宜の厚さ（例えば０．２
．−程度）に形成させる。最後にガラス基板１から所望
パターンが形成された金属部を剥離させると、樹脂等に
所望のパターンを転写して光ディスクを製造することの
可能なスタンパ−４が完成する。 前記マスター３とスタンパ−４を作る全工程に渡り、ガ
ラス基板１とレジスト１４、又は現像レジスト１４ａと
の間で剥離は観察されなかった。 尚、非パターン形成部１２に形成する微細な無数の凹凸
は、パターン形成部１１を適宜の耐蝕性レジスト（例え
ば富士ハント社製１１ＰＲ−２０４）により被覆した後
、非パターン形成部１２を適宜のエツチング液（例えば
４９％ぶつ酸と４０％ふっ化アンモニュウムとの１＝１
０の混合液）に適宜の時間（例えば前記エツチング液の
場合であれば２分間程度）浸漬して形成することも出来
る。 又、本発明のマスター用ガラス基板は実施例にも示した
ように、従来のレジスト剥離防止手段との併用を妨げる
ものではなく、適宜併用して効果を倍加させることが出
来る。
る。 図中１は一面にパターン形成部１１と非パターン形成部
１２とが設けられた、２４０■禦φ×５寵の円盤状のマ
スター用ガラス基板（以下ガラス基板と呼ぶ）である。 パターン形成部１１はこの場合半径２０目〜７０ｍ■の
間に設けられており、中心部と外周部の非パターン形成
部１２には何れも４０００番の研摩舐により５分間研摩
されて微細な凹凸が無数に形成されている。 上記構成のガラス基板１は通常の方法により、光デイス
ク製造用マスター、及びスタンパ−の製造に供される。 即ち、ガラス基板１は洗浄命乾燥の後、前記微細な凹凸
が形成された面に適宜のカップリング剤（例えばシラン
カップリング剤）１３が全面に塗布されて、次工程で塗
布するレジスト（例えば富士ハント社製１１ＰＲ−２０
４） １４の密着性が改善される。レジスト１４は適宜
の膜厚（例えばＬ２Ｏｎ＋＋）で塗布され、前記パター
ン形成部１１に適宜のパターン形成用露光手段（例えば
レーザー）２を用いて所望のパターンを形成する。続い
て適宜の手段（例えばアルカリ水溶液等）によってレジ
スト１４を現像し、露光部は全て除去して現像レジスト
１４ａとしては、未露光部のみを残して乾燥すると、所
望のパターンが形成されたマスター３が出来上がる。 マスター３の表面部にスパッタリング、Ｍ着等の手断に
よって適宜の導電性金属薄膜（例えば銀、ニッケル等）
１５を一様に形成させ、該薄膜１５の上に堅固な金属膜
（例えばニッケル膜）１６を適宜の厚さ（例えば０．２
．−程度）に形成させる。最後にガラス基板１から所望
パターンが形成された金属部を剥離させると、樹脂等に
所望のパターンを転写して光ディスクを製造することの
可能なスタンパ−４が完成する。 前記マスター３とスタンパ−４を作る全工程に渡り、ガ
ラス基板１とレジスト１４、又は現像レジスト１４ａと
の間で剥離は観察されなかった。 尚、非パターン形成部１２に形成する微細な無数の凹凸
は、パターン形成部１１を適宜の耐蝕性レジスト（例え
ば富士ハント社製１１ＰＲ−２０４）により被覆した後
、非パターン形成部１２を適宜のエツチング液（例えば
４９％ぶつ酸と４０％ふっ化アンモニュウムとの１＝１
０の混合液）に適宜の時間（例えば前記エツチング液の
場合であれば２分間程度）浸漬して形成することも出来
る。 又、本発明のマスター用ガラス基板は実施例にも示した
ように、従来のレジスト剥離防止手段との併用を妨げる
ものではなく、適宜併用して効果を倍加させることが出
来る。
以上説明したように、本発明になるマスター用ガラス基
板は表面に塗布するレジストとの密着性が良好であるた
め、マスター及びスタンパ−を作成する工程でガラス基
板とレジストとの剥離が極めて起こり難い。従うて、製
品の大幅な歩留まり向上が可能となった。
板は表面に塗布するレジストとの密着性が良好であるた
め、マスター及びスタンパ−を作成する工程でガラス基
板とレジストとの剥離が極めて起こり難い。従うて、製
品の大幅な歩留まり向上が可能となった。
第１図は本発明のマスター用ガラス基板を断面で示す説
明図、第２図はマスターの断面説明図、第３図はスタン
パ−の作成を断面で示す説明図である。 １・・・ガラス基板、 １１・・・パターン形成部、 １２・・・非パターン形成部、 １３・・・カップリング剤、 １４・・・レジスト、 １４ａ・・・現像レジスト、 １５・・・導電性金属薄膜、 １６・・・金属膜、 ２・・・露光手段、 ３・・・マスター ４・・・スタンパ−
明図、第２図はマスターの断面説明図、第３図はスタン
パ−の作成を断面で示す説明図である。 １・・・ガラス基板、 １１・・・パターン形成部、 １２・・・非パターン形成部、 １３・・・カップリング剤、 １４・・・レジスト、 １４ａ・・・現像レジスト、 １５・・・導電性金属薄膜、 １６・・・金属膜、 ２・・・露光手段、 ３・・・マスター ４・・・スタンパ−
Claims (1)
- パターン形成部を除くレジスト塗布部に、微細な凹凸が
形成されたことを特徴とするマスター用ガラス基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1908589A JPH02199638A (ja) | 1989-01-27 | 1989-01-27 | マスター用ガラス基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1908589A JPH02199638A (ja) | 1989-01-27 | 1989-01-27 | マスター用ガラス基板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02199638A true JPH02199638A (ja) | 1990-08-08 |
Family
ID=11989614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1908589A Pending JPH02199638A (ja) | 1989-01-27 | 1989-01-27 | マスター用ガラス基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02199638A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111511543A (zh) * | 2018-02-20 | 2020-08-07 | 三井金属矿业株式会社 | 带玻璃载体的铜箔及其制造方法 |
-
1989
- 1989-01-27 JP JP1908589A patent/JPH02199638A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111511543A (zh) * | 2018-02-20 | 2020-08-07 | 三井金属矿业株式会社 | 带玻璃载体的铜箔及其制造方法 |
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