JPH0221628A - 超電導素子用ボンディングpb合金線及び超電導装置 - Google Patents
超電導素子用ボンディングpb合金線及び超電導装置Info
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- JPH0221628A JPH0221628A JP62335113A JP33511387A JPH0221628A JP H0221628 A JPH0221628 A JP H0221628A JP 62335113 A JP62335113 A JP 62335113A JP 33511387 A JP33511387 A JP 33511387A JP H0221628 A JPH0221628 A JP H0221628A
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- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
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- Wire Bonding (AREA)
- Containers, Films, And Cooling For Superconductive Devices (AREA)
- Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は超電導素子の接続において、ワイヤボンディン
グ法、詳しくはネールへラドボンディング法又はウェッ
ジボンディング法によシ超電導素子と外部リードとを電
気的に接続するため使用するボンディングPb合金線及
びそれを用いた超電導装置に関する。
グ法、詳しくはネールへラドボンディング法又はウェッ
ジボンディング法によシ超電導素子と外部リードとを電
気的に接続するため使用するボンディングPb合金線及
びそれを用いた超電導装置に関する。
(従来技術とその問題点)
従来、超電導素子の接続にはそのボンディング用線とし
てAl線を使用し、外部リードに接続されていた。
てAl線を使用し、外部リードに接続されていた。
しかるに超電導素子の動作温度4.2 K (液体ヘリ
ウム温度)においてAIは未だ超電導状態へ転移せず(
AIの臨界温度は1.2 K ) 、そのため残留抵抗
が微弱信号のエネルギー損失を生じる原因となり、超電
導装置の信頼性低下の要因となっている。
ウム温度)においてAIは未だ超電導状態へ転移せず(
AIの臨界温度は1.2 K ) 、そのため残留抵抗
が微弱信号のエネルギー損失を生じる原因となり、超電
導装置の信頼性低下の要因となっている。
斯る不具合を解決するためには、4.2に以上の臨界温
度をもつNb (9K )あるいはPb(7K)又はそ
れらの合金を使用することが考えられるが、Nbは硬す
ぎてボンディング時にチ。
度をもつNb (9K )あるいはPb(7K)又はそ
れらの合金を使用することが考えられるが、Nbは硬す
ぎてボンディング時にチ。
プ割れを起すなどボンディング用線として不適でろ・る
。
。
又、単なるpb又はその合金線の場合は細線化が難しく
、ボンディング後のループ形成状態が悪い等の問題点が
ある。
、ボンディング後のループ形成状態が悪い等の問題点が
ある。
(発明の技術的課題)
本発明は叙上問題点を解決して伸線加工性、ループ形成
状態を良好ならしめるボンディング用pb合金線を提供
するとともに信頼性の高い超電導装置を提供せんとする
ものである。
状態を良好ならしめるボンディング用pb合金線を提供
するとともに信頼性の高い超電導装置を提供せんとする
ものである。
(発明の構成)
斯る本発明のボンディング用pb合金線は、pbを主要
元素とし、それに添加元素を配合した合金を急冷凝固法
により細いワイヤー状に作製してなることを特徴とし、
本発明の超電導装置は超電導素子と外部リードとを、p
bを主要元素とし、かつ急冷凝固法により作製された細
い合金ワイヤーにより接続してなることを特徴とする。
元素とし、それに添加元素を配合した合金を急冷凝固法
により細いワイヤー状に作製してなることを特徴とし、
本発明の超電導装置は超電導素子と外部リードとを、p
bを主要元素とし、かつ急冷凝固法により作製された細
い合金ワイヤーにより接続してなることを特徴とする。
添加元素としてはCu、 Qa、 Ges SeXAg
、■nX SnX Sb、TeS Au、TI、Bi、
Pd、Pt中の1種又は2種以上を用い、この添加元素
の配合により、Pb線の引張り強度を高めてボンディン
グ特性を確保するとともに室温から4.2Kに冷却時、
また4、2Kから室温へ昇温時における熱歪による応力
を緩和せしめる。
、■nX SnX Sb、TeS Au、TI、Bi、
Pd、Pt中の1種又は2種以上を用い、この添加元素
の配合により、Pb線の引張り強度を高めてボンディン
グ特性を確保するとともに室温から4.2Kに冷却時、
また4、2Kから室温へ昇温時における熱歪による応力
を緩和せしめる。
(作用及び効果)
■ 本発明のpb合金線によれば、通常凝固法により作
製されたワイヤーと比較して、次の特性を有する。
製されたワイヤーと比較して、次の特性を有する。
(1)多くの格子欠陥の導入、
(11)績晶粒の微細化、
(111)化合物相の微細分散、
(1い非平衡相の生成、
()元素相互間の強制固溶を有する組織、(■1)引張
り強度の著しい向上。
り強度の著しい向上。
これによりpb線の伸線加工性が向上し、ボンディング
用としての細線化が可能となり、またボンディング後の
ループ形成状態が良好となるなどボンディング特性を確
保できた。
用としての細線化が可能となり、またボンディング後の
ループ形成状態が良好となるなどボンディング特性を確
保できた。
■ 超電導素子の動作温度(4,2K)において、pb
lljも超電導状態へ転移し、その結果、超電導素子と
外部リードとが超電導状態で接合され、微弱信号のエネ
ルギー損失がなく超電導装置の信頼性を高め得た。
lljも超電導状態へ転移し、その結果、超電導素子と
外部リードとが超電導状態で接合され、微弱信号のエネ
ルギー損失がなく超電導装置の信頼性を高め得た。
(実施例)
図面第1図は本発明の超電導装置を示し、(1)はプラ
スチック又はセラミック製の基板、(2)は超電導素子
、(3)は外部リード、(4)はボンディング用の合金
ワイヤーである。
スチック又はセラミック製の基板、(2)は超電導素子
、(3)は外部リード、(4)はボンディング用の合金
ワイヤーである。
ワイヤー(4)はpbを主要元素とし、それに添加元素
を配合した合金を急冷凝固法に製造し、かつ伸線加工に
よって細いワイヤー状に作製したものであり、その径は
30〜50pmφである。
を配合した合金を急冷凝固法に製造し、かつ伸線加工に
よって細いワイヤー状に作製したものであり、その径は
30〜50pmφである。
上記ワイヤー(4)はウェッジボンディング法によって
素子(2)と外部リード(3)とに渉ってループを形成
した状態で接続され、素子(2)はSi層と回路を形成
したNb層との積層構造であり、ワイヤー(4)の接続
部分にはワイヤー(4)と同質材の下地金属層(5)を
設け、また外部リード(3)にも下地金属層(6)を設
けておく(第2図)。尚第2図において(7)は絶縁材
からなる保護層である。
素子(2)と外部リード(3)とに渉ってループを形成
した状態で接続され、素子(2)はSi層と回路を形成
したNb層との積層構造であり、ワイヤー(4)の接続
部分にはワイヤー(4)と同質材の下地金属層(5)を
設け、また外部リード(3)にも下地金属層(6)を設
けておく(第2図)。尚第2図において(7)は絶縁材
からなる保護層である。
上記下地金属層(5X6)には例えばPbIn Auを
用いる。
用いる。
而して、急冷凝固法により作製された本発明のワイヤー
(4)の実施品を示せば次表の通りであシ、通常凝固法
により作製した比較品と共に臨界温度(Tc)、引張り
強度、伸び、ループ形成状態の良否及び伸線加工性の良
否を示す。
(4)の実施品を示せば次表の通りであシ、通常凝固法
により作製した比較品と共に臨界温度(Tc)、引張り
強度、伸び、ループ形成状態の良否及び伸線加工性の良
否を示す。
何れのワイヤーも40μmφの細aK伸線加工したもの
で、伸線加工性の評価は、○印が断線等を生ぜずに40
μφに伸線できたことを示し、X印が伸線時に断線等を
生じたことを示す。
で、伸線加工性の評価は、○印が断線等を生ぜずに40
μφに伸線できたことを示し、X印が伸線時に断線等を
生じたことを示す。
表
第1図は本発明超電導装置の断面図、第2図はそのA部
拡大図である。 図中、(1)は基板、(2)は超電導素子、(3)は外
部リード、(4)は合金ワイヤーである。
拡大図である。 図中、(1)は基板、(2)は超電導素子、(3)は外
部リード、(4)は合金ワイヤーである。
Claims (3)
- (1)Pbを主要元素とし、それに添加元素を配合した
合金を急冷凝固法により細いワイヤー状に作製してなる
超電導素子用ボンディングPb合金線。 - (2)上記添加元素がCu、Ga、Ge、Se、Ag、
In、Sn、Sb、Te、Au、Tl、Bi、Pd、P
t中の1種又は2種以上である特許請求の範囲第1項記
載のボンディングPb合金線。 - (3)超電導素子と外部リードとを、Pbを主要元素と
し、かつ急冷凝固法により作製された細い合金ワイヤー
により接続してなる超電導装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62335113A JPH0221628A (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | 超電導素子用ボンディングpb合金線及び超電導装置 |
| GB8828875A GB2214193B (en) | 1987-12-28 | 1988-12-09 | Bonding pb alloy wire for superconductor device and superconductor device |
| DE3844114A DE3844114C3 (de) | 1987-12-28 | 1988-12-28 | Verwendung eines Kontaktierdrahtes aus einer Bleilegierung in einer Supraleitervorrichtung |
| DE3844879A DE3844879C3 (de) | 1987-12-28 | 1988-12-28 | Supraleitervorrichtung mit einem Kontaktierdraht |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62335113A JPH0221628A (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | 超電導素子用ボンディングpb合金線及び超電導装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0221628A true JPH0221628A (ja) | 1990-01-24 |
| JPH0543296B2 JPH0543296B2 (ja) | 1993-07-01 |
Family
ID=18284915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62335113A Granted JPH0221628A (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | 超電導素子用ボンディングpb合金線及び超電導装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0221628A (ja) |
| GB (1) | GB2214193B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0519675A (ja) * | 1991-07-16 | 1993-01-29 | Patoroma Res Kk | 光デイスク式電子学習装置 |
| CN103474408A (zh) * | 2013-09-26 | 2013-12-25 | 辽宁凯立尔电子科技有限公司 | 一种表面有镀金层的金银合金键合丝及其制备方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3845805A (en) * | 1972-11-14 | 1974-11-05 | Allied Chem | Liquid quenching of free jet spun metal filaments |
| GB1458284A (en) * | 1974-03-20 | 1976-12-15 | Bnf Metals Tech Centre | Superconducting alloys |
-
1987
- 1987-12-28 JP JP62335113A patent/JPH0221628A/ja active Granted
-
1988
- 1988-12-09 GB GB8828875A patent/GB2214193B/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0519675A (ja) * | 1991-07-16 | 1993-01-29 | Patoroma Res Kk | 光デイスク式電子学習装置 |
| CN103474408A (zh) * | 2013-09-26 | 2013-12-25 | 辽宁凯立尔电子科技有限公司 | 一种表面有镀金层的金银合金键合丝及其制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB8828875D0 (en) | 1989-01-18 |
| GB2214193A (en) | 1989-08-31 |
| JPH0543296B2 (ja) | 1993-07-01 |
| GB2214193B (en) | 1991-08-14 |
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