JPH0223529A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPH0223529A JPH0223529A JP63172138A JP17213888A JPH0223529A JP H0223529 A JPH0223529 A JP H0223529A JP 63172138 A JP63172138 A JP 63172138A JP 17213888 A JP17213888 A JP 17213888A JP H0223529 A JPH0223529 A JP H0223529A
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- Japan
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- magnetic recording
- evaporation source
- recording medium
- film
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、高密度記録特性に優れた垂直記録用の磁気記
録媒体の製造方法に間する。
録媒体の製造方法に間する。
従来の技術
従来、磁気記録媒体としては高分子フィルム等の非磁性
基板上に磁性粉を塗布した塗布型のものが使用されて来
たが、より高い記録密度を達成するために、非磁性基板
上に金属ｉ１膜をスパッタ法や真空蒸着法で形成した薄
膜型が実用化されつつある。薄膜型磁気記録媒体の中で
も、特にＣｏ基磁性薄膜を磁性層として形成した磁気記
録媒体が、優れた短波長記録特性のゆえに注目を集めて
いる。
基板上に磁性粉を塗布した塗布型のものが使用されて来
たが、より高い記録密度を達成するために、非磁性基板
上に金属ｉ１膜をスパッタ法や真空蒸着法で形成した薄
膜型が実用化されつつある。薄膜型磁気記録媒体の中で
も、特にＣｏ基磁性薄膜を磁性層として形成した磁気記
録媒体が、優れた短波長記録特性のゆえに注目を集めて
いる。
Ｃｏ基磁性薄膜はスパッタ法や真空蒸着法（イオンブレ
ーティング法のように蒸発原子の一部をイオン化して膜
を堆積する方法も含む）により作成されるが、特に後者
の方法によれば高い堆積速度が達成でき、量産に適して
いる。
ーティング法のように蒸発原子の一部をイオン化して膜
を堆積する方法も含む）により作成されるが、特に後者
の方法によれば高い堆積速度が達成でき、量産に適して
いる。
非磁性基板として高分子フィルムを用いて、真空蒸着法
により金属薄膜型磁気記録媒体を製造する方法としては
、高分子フィルムを円筒状キャンの周面に沿わせて走行
させつつ磁性層を蒸着する方法が最も優れている。第４
図は、このような方法を用いた真空蒸着装置の内部構造
の概略を示す正面図である。高分子フィルム１は円筒状
キャン２の周面に沿って矢印の向きに走行する。この高
分子フィルム１上に蒸発源５によって磁性層が形成され
る。３．４はそれぞれ高分子フィルムｌの供給ロール及
び巻き取りロールである。蒸発源５としては、抵抗加熱
蒸発源、誘導加熱蒸発源、電子ビーム蒸発源等が考えら
れるが、高融点金属であるＣｏ基合金を高速で蒸発させ
るためには、電子ビーム蒸発源を採用する必要がある。
により金属薄膜型磁気記録媒体を製造する方法としては
、高分子フィルムを円筒状キャンの周面に沿わせて走行
させつつ磁性層を蒸着する方法が最も優れている。第４
図は、このような方法を用いた真空蒸着装置の内部構造
の概略を示す正面図である。高分子フィルム１は円筒状
キャン２の周面に沿って矢印の向きに走行する。この高
分子フィルム１上に蒸発源５によって磁性層が形成され
る。３．４はそれぞれ高分子フィルムｌの供給ロール及
び巻き取りロールである。蒸発源５としては、抵抗加熱
蒸発源、誘導加熱蒸発源、電子ビーム蒸発源等が考えら
れるが、高融点金属であるＣｏ基合金を高速で蒸発させ
るためには、電子ビーム蒸発源を採用する必要がある。
蒸発源５と円筒状キャン２との間には、蒸発源５から蒸
発する蒸気が不要な部分に付着するのを防止するために
、遮蔽板６が配置されている。遮蔽板６はＳで示される
ように間口している。この間口部Ｓを通過した蒸気が高
分子フィルムｌ上に付着し、磁性層が形成される。
発する蒸気が不要な部分に付着するのを防止するために
、遮蔽板６が配置されている。遮蔽板６はＳで示される
ように間口している。この間口部Ｓを通過した蒸気が高
分子フィルムｌ上に付着し、磁性層が形成される。
ＣｏとＣｒあるいはＣｏとＮｉとＣｒを主成分とする薄
膜型磁気記録媒体を、第４図に示したような装置にて、
真空蒸着法によりＣｏとＣｒあるいはＣｏとＮｉとＣｒ
を同一の蒸発源から蒸発させて磁性層を形成すると、以
下に述べるような問題が生じる。
膜型磁気記録媒体を、第４図に示したような装置にて、
真空蒸着法によりＣｏとＣｒあるいはＣｏとＮｉとＣｒ
を同一の蒸発源から蒸発させて磁性層を形成すると、以
下に述べるような問題が生じる。
Ｃｒの蒸気圧がＣｏあるいはＮ１の蒸気圧に比べて高い
ために、時間的に組成が変化する。すなわち、第５図に
示すように、蒸着初期においてはＣｒを多く含んだ膜が
形成され、後期にはＣｒをあまり含まない膜が形成され
る。Ｃｏ−Ｃｒ膜及びＣｏ−Ｎｉ−、ＣｒｔＩＩにおい
て、膜の組成が異なると磁気特性も変化するので、均一
な特性を有する長尺の磁気記録媒体を製造することは困
難である。
ために、時間的に組成が変化する。すなわち、第５図に
示すように、蒸着初期においてはＣｒを多く含んだ膜が
形成され、後期にはＣｒをあまり含まない膜が形成され
る。Ｃｏ−Ｃｒ膜及びＣｏ−Ｎｉ−、ＣｒｔＩＩにおい
て、膜の組成が異なると磁気特性も変化するので、均一
な特性を有する長尺の磁気記録媒体を製造することは困
難である。
二の問題を解決するために、Ｃｒを供給する方法が考え
られる。ところが、Ｃｒ及びＣｒを多く含んだ合金は加
工性に乏しく、従来の材料供給法、例えばワイヤーフィ
ード等は使用できない。そこで第６図に示すように粒状
のＣｒを供給する方法が考案されている（特願昭５７−
１８８４２０号）。第６図において、８は粒状Ｃｒ９を
供給するための装置であり、粒状Ｃｒ９はＣｒ供給路７
に沿って蒸発源５の中にはいる。
られる。ところが、Ｃｒ及びＣｒを多く含んだ合金は加
工性に乏しく、従来の材料供給法、例えばワイヤーフィ
ード等は使用できない。そこで第６図に示すように粒状
のＣｒを供給する方法が考案されている（特願昭５７−
１８８４２０号）。第６図において、８は粒状Ｃｒ９を
供給するための装置であり、粒状Ｃｒ９はＣｒ供給路７
に沿って蒸発源５の中にはいる。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、このような方法において、粒状のＣｒを
供給するわけであるが、粒状Ｃｒが蒸発源に落下する際
に、粒状Ｃｒが帯電して飛散する問題や落下途中に昇華
してしまう問題があり、安定に供給することが難しいと
いう課題がある。
供給するわけであるが、粒状Ｃｒが蒸発源に落下する際
に、粒状Ｃｒが帯電して飛散する問題や落下途中に昇華
してしまう問題があり、安定に供給することが難しいと
いう課題がある。
課題を解決するための手段
本発明は、ｃｏとＣｒあるいはＣｏとＮｉとＣｒを主成
分とする薄膜型磁気記録媒体を、真空蒸着法によりＣｏ
とＣｒあるいはＣｏとＮｉとＣｒを同一の蒸発源から蒸
発させて、移動しつつある基板上に連続的に作製する際
に、管状のＣｏまたはＣｏ−ＣｒあるいはＣｏ−Ｎｉま
たはＣｏ−Ｎｉ−ＣｒにＣｒを充填した状態のＣｏとＣ
ｒあるいはＣｏとＮｉとＣｒの混合体を蒸発源に供給し
つつ蒸着を行う磁気記録媒体の製造方法である。
分とする薄膜型磁気記録媒体を、真空蒸着法によりＣｏ
とＣｒあるいはＣｏとＮｉとＣｒを同一の蒸発源から蒸
発させて、移動しつつある基板上に連続的に作製する際
に、管状のＣｏまたはＣｏ−ＣｒあるいはＣｏ−Ｎｉま
たはＣｏ−Ｎｉ−ＣｒにＣｒを充填した状態のＣｏとＣ
ｒあるいはＣｏとＮｉとＣｒの混合体を蒸発源に供給し
つつ蒸着を行う磁気記録媒体の製造方法である。
作用
本発明においては管状のＣｏまたはＣｏ−Ｃｒあるいは
Ｃｏ−ＮｉまたはＣｏ−Ｎｉ−ＣｒにＣｒを充填した状
態のＣｏとＣｒあるいはＣｏとＮｉとＣｒの混合体を蒸
発源に供給するので、Ｃ「が飛散したり昇華せず、安定
に蒸発源に供給することが可能となり、均一な特性を有
する長尺の磁気記録媒体を製造することが可能となる。
Ｃｏ−ＮｉまたはＣｏ−Ｎｉ−ＣｒにＣｒを充填した状
態のＣｏとＣｒあるいはＣｏとＮｉとＣｒの混合体を蒸
発源に供給するので、Ｃ「が飛散したり昇華せず、安定
に蒸発源に供給することが可能となり、均一な特性を有
する長尺の磁気記録媒体を製造することが可能となる。
実施例
以下に、本発明の実施例について、第１図〜第３図を用
いて説明する。
いて説明する。
第１図は、本発明の一実施例における磁気記録媒体の製
造方法に使用される供給材及び供給方法の概略を示す正
面図である。
造方法に使用される供給材及び供給方法の概略を示す正
面図である。
まず、磁気記録媒体を構成する磁性層がＣｏ−Ｃｒの場
合について説明する。供給材２０は、ｃ。
合について説明する。供給材２０は、ｃ。
またはＣｏ−Ｃｒからなる管２１に粒状、粉末状あるい
はそれらを混合した状態のＣｒ２２が充填されているも
のである。供給材２０はガイド２３により支持され、蒸
発源５に供給される。管２１の形状は、第１図において
は円管状のものを示しているが、第２図に示すような角
管状、あるいは板状のＣｏまたはＣｏ−Ｃｒを管状に加
工したものでもよい。要は、Ｃｒが充填可能な形状であ
れば任意の形状でよい。
はそれらを混合した状態のＣｒ２２が充填されているも
のである。供給材２０はガイド２３により支持され、蒸
発源５に供給される。管２１の形状は、第１図において
は円管状のものを示しているが、第２図に示すような角
管状、あるいは板状のＣｏまたはＣｏ−Ｃｒを管状に加
工したものでもよい。要は、Ｃｒが充填可能な形状であ
れば任意の形状でよい。
尚、ＣｒをＣｏ管またはＣｏ−Ｃｒ管に充填した後に真
空中にて焼結することが望ましい。真空焼結すると、材
料中に含まれている不純物ガスが除去できるばかりか、
供給中に充填されているＣｒが流出することも防止でき
る。
空中にて焼結することが望ましい。真空焼結すると、材
料中に含まれている不純物ガスが除去できるばかりか、
供給中に充填されているＣｒが流出することも防止でき
る。
次に、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒの場合について説明する。所望
の組成のＣｏ−Ｎｉ管またはＣｏ−Ｎｉ−Ｃｒ管にＣｒ
を充填する。ｃｏとＮｉは蒸気圧にほとんど差が無いの
で、管２１のＣｏとＮｉの組成比は蒸発源溶湯の組成比
にほぼ等しくすればよい。その他は、第１図及び第２図
を用いて説明したＣｏ−Ｃｒの場合と全く同様である。
の組成のＣｏ−Ｎｉ管またはＣｏ−Ｎｉ−Ｃｒ管にＣｒ
を充填する。ｃｏとＮｉは蒸気圧にほとんど差が無いの
で、管２１のＣｏとＮｉの組成比は蒸発源溶湯の組成比
にほぼ等しくすればよい。その他は、第１図及び第２図
を用いて説明したＣｏ−Ｃｒの場合と全く同様である。
以上のような状態で供給すると、Ｃｒが飛散せず、安定
に供給できる。また、ＣｏあるいはＣ。
に供給できる。また、ＣｏあるいはＣ。
−Ｎｉも同時に供給されるので蒸発源の溶湯量の減少も
抑制できる。
抑制できる。
以下に、Ｃｏ−Ｃｒの場合についてより具体的に説明す
る。
る。
第３図は本発明の一実施例におけ搗磁気記録媒体の製造
方法に用いる真空蒸着装置の内部構造の概略を示す正面
図である。蒸発Ｒ５には第１図で説明した供給材２０と
供給方法が適用されている。
方法に用いる真空蒸着装置の内部構造の概略を示す正面
図である。蒸発Ｒ５には第１図で説明した供給材２０と
供給方法が適用されている。
その他は第４図に示した真空蒸着装置と同様である。基
板として膜厚８μｍのポリイミドフィルムを用いた。ポ
リイミドフィルムの走行速度は２５ｍ／分とし膜厚２０
０ｎｍのＣｏ−Ｃｒ膜を５゜Ｏｍにわたって蒸着した。
板として膜厚８μｍのポリイミドフィルムを用いた。ポ
リイミドフィルムの走行速度は２５ｍ／分とし膜厚２０
０ｎｍのＣｏ−Ｃｒ膜を５゜Ｏｍにわたって蒸着した。
蒸発源の溶湯の初期組成は８ｗｔ％とした。供給材２０
としては、外形１０ｍｍ、 肉厚が２ｍｍのＣｏ管に
５０〜１００メツシユのＣｒ粒を充填し、真空中におい
て１２００℃で焼結させたものを用いた。供給材２０の
Ｃｒの含有量は３０ ｗ ｔ％とした。供給量はおよそ
６ｃｍ／分であった。供給量の微調整は、原子吸光方式
の組成モニターを用いて蒸気の組成をモニターしながら
行った。
としては、外形１０ｍｍ、 肉厚が２ｍｍのＣｏ管に
５０〜１００メツシユのＣｒ粒を充填し、真空中におい
て１２００℃で焼結させたものを用いた。供給材２０の
Ｃｒの含有量は３０ ｗ ｔ％とした。供給量はおよそ
６ｃｍ／分であった。供給量の微調整は、原子吸光方式
の組成モニターを用いて蒸気の組成をモニターしながら
行った。
作製したＣｏ−Ｃｒ膜の組成は、長手方向において、Ｃ
ｒが２２±０．６ｗｔ％の範囲内になっており、長尺に
わたり安定し十分実用可能な膜が得られていることがわ
かった。また、蒸発源の溶湯量の減少も小さく５００ｍ
以上の長尺でも十分に蒸着できる状態であった。
ｒが２２±０．６ｗｔ％の範囲内になっており、長尺に
わたり安定し十分実用可能な膜が得られていることがわ
かった。また、蒸発源の溶湯量の減少も小さく５００ｍ
以上の長尺でも十分に蒸着できる状態であった。
以上の具体的実施例ではＣｏ−Ｃｒについてのみの説明
であったがＣｏ−Ｎｉ−Ｃｒの場合でも全く同様にでき
る。また、供給材としてＣｏ管とＣｒ粒の組合せ以外に
も、Ｃｏ−Ｃｒ管とＣｒ。
であったがＣｏ−Ｎｉ−Ｃｒの場合でも全く同様にでき
る。また、供給材としてＣｏ管とＣｒ粒の組合せ以外に
も、Ｃｏ−Ｃｒ管とＣｒ。
Ｃｏ−Ｎｉ管とＣｒあるいはＣｏ−Ｎｉ−Ｃｒ管とＣｒ
の組合せでも供給材として使用可能なことは明かである
。
の組合せでも供給材として使用可能なことは明かである
。
発明の効果
本発明の磁気録媒体の製造方法を用いることにより、長
手方向に組成が一定の長尺の磁気記録媒体を、真空蒸着
法により安定に生産できる。
手方向に組成が一定の長尺の磁気記録媒体を、真空蒸着
法により安定に生産できる。
第１図は本発明の一実施例における磁気記録媒体の製造
方法に用いる供給材と供給方法の概略を示す正面図、第
２図は本発明の一実施例における磁気記録媒体の製造方
法に用いる供給材の形状を説明するための斜視図、第３
図は本発明の一実施例における真空蒸着装置の内部構造
の概略を示す正面図、第４図は従来例における真空蒸着
装置の内部構造の概略を示す正面図、第５図は従来法に
より長尺のＣｏ−Ｃｒ膜を作製した場合の、蒸着時閉と
膜の組成との関係を示すグラフ、第６図は従来法の一実
施例におけるＣｒ粒供給を行う真空蒸着装置の内部構造
の概略を示す正面図である。 １・・・基板、２・・・円筒状キャン、３・・・供給ロ
ール、４・・・巻き取りロール、５・・・蒸発源、６・
・・遮蔽板、７・・・Ｃｒ供給路、８・・・粒状Ｃｒ供
給装置、９・争・粒状Ｃｒ、２０・・争供給材、２１や
Φ都管、２２・・・Ｃｒ、２３・・・ガイド、Ｓ・・・
間口部。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 はか１名第１ 図 第３図 第２図 第４図 叫び−５ 鳥５図 蒸着時間 （分） 第６図
方法に用いる供給材と供給方法の概略を示す正面図、第
２図は本発明の一実施例における磁気記録媒体の製造方
法に用いる供給材の形状を説明するための斜視図、第３
図は本発明の一実施例における真空蒸着装置の内部構造
の概略を示す正面図、第４図は従来例における真空蒸着
装置の内部構造の概略を示す正面図、第５図は従来法に
より長尺のＣｏ−Ｃｒ膜を作製した場合の、蒸着時閉と
膜の組成との関係を示すグラフ、第６図は従来法の一実
施例におけるＣｒ粒供給を行う真空蒸着装置の内部構造
の概略を示す正面図である。 １・・・基板、２・・・円筒状キャン、３・・・供給ロ
ール、４・・・巻き取りロール、５・・・蒸発源、６・
・・遮蔽板、７・・・Ｃｒ供給路、８・・・粒状Ｃｒ供
給装置、９・争・粒状Ｃｒ、２０・・争供給材、２１や
Φ都管、２２・・・Ｃｒ、２３・・・ガイド、Ｓ・・・
間口部。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 はか１名第１ 図 第３図 第２図 第４図 叫び−５ 鳥５図 蒸着時間 （分） 第６図
Claims (2)
- （１）ＣｏとＣｒあるいはＣｏとＮｉとＣｒを主成分と
する薄膜型磁気記録媒体を、真空蒸着法によりＣｏとＣ
ｒあるいはＣｏとＮｉとＣｒを同一の蒸発源から蒸発さ
せて、移動しつつある基板上に連続的に形成する際に、
管状のＣｏまたはＣｏ−ＣｒあるいはＣｏ−Ｎｉまたは
Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒに、Ｃｒを充填した状態のＣｏとＣｒ
あるいはＣｏとＮｉとＣｒの混合体を蒸発源に供給しつ
つ蒸着を行うことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法
。 - （２）管状のＣｏまたはＣｏ−ＣｒあるいはＣｏ−Ｎｉ
またはＣｏ−Ｎｉ−ＣｒにＣｒを充填した状態のＣｏと
ＣｒあるいはＣｏとＮｉとＣｒの混合体が真空中にて焼
結されていることを特徴とする請求項１記載の磁気記録
媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63172138A JPH0223529A (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63172138A JPH0223529A (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0223529A true JPH0223529A (ja) | 1990-01-25 |
Family
ID=15936270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63172138A Pending JPH0223529A (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0223529A (ja) |
-
1988
- 1988-07-11 JP JP63172138A patent/JPH0223529A/ja active Pending
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