JPH0224788B2 - - Google Patents
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- JPH0224788B2 JPH0224788B2 JP56192076A JP19207681A JPH0224788B2 JP H0224788 B2 JPH0224788 B2 JP H0224788B2 JP 56192076 A JP56192076 A JP 56192076A JP 19207681 A JP19207681 A JP 19207681A JP H0224788 B2 JPH0224788 B2 JP H0224788B2
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Description
本発明は、良好な耐熱性を有する高密度かつ高
強度の窒化珪素(Si3N4)焼結体の製造方法に関
するものである。 従来、耐熱性にすぐれる高密度窒化珪焼結体
は、いずれも少量の焼結助剤、すなわちMgO,
Al2O3,Y2O3,AlN等を加えて、1700〜1800℃
の温度域でホツトプレスを行うか、あるいは加圧
窒素雰囲気内で焼結を行うことにより得られてい
る。これらの焼結助剤は液相焼結による高密度化
を促進するものの、焼結後も焼結体内にガラス相
として残留し、高温強度の劣化等を引起す為、焼
結体の高温強度特性が不十分であり、この点での
改良が望まれている。 一方、液相構成成分として酸化珪素、酸化アル
ミニウムに酸化カルシウム等を加えた三成分系酸
化物混合体を選び、さらに酸化チタンを核形成剤
として添加した複合焼結助剤を用い、焼結体内に
残留するガラス相を冷却過程で結晶化せしめ、高
温強度の維持を試みるなど若干の改良もなされて
いるが、析出結晶相と窒化珪素との熱膨張特性の
不整合により熱衝撃にもろいという欠点があつ
た。 本発明は、焼結助剤として酸化ビスマスとアル
カリ金属のアルミン酸塩とを併用し、焼結体に所
定の温度で熱処理を行なうことにより、焼結体中
の残留ガラス相中に異方性の強い層状もしくは繊
維状結晶を析出せしめ、これにより耐熱・高強度
の焼結体を得ることのできる方法を提供するもの
である。 すなわち、本発明製造方法は、窒化珪素粉末
と、焼結助剤として酸化ビスマス0.5〜15重量%
及びアルミン酸リチウム、アルミン酸ナトリウム
及びアルミン酸カリウムのうち少なくとも1種
0.1〜5重量%とを混合し、これにバインダーを
加えて成形後、焼結し、続いて焼結体に非酸化雰
囲気中600〜1200℃の温度で熱処理を行なうこと
により焼結体中の残留ガラス相を結晶化させるこ
とからなるものである。 本発明で使用する焼結助剤は、酸化ビスマス
と、アルカリ金属のアルミン酸塩、すなわちアル
ミン酸リチウム、アルミン酸ナトリウム及びアル
ミン酸カリウムのうち少なくとも1種(以下、単
にアルミン酸金属塩という)とからなる。酸化ビ
スマスとアルミン酸金属塩とを併用することによ
り、アルカリ金属のケイ酸塩及びビスマス酸塩が
析出し、これらは粒界で異方性の強い層状または
繊維状に結晶化するため、焼結体の耐熱・高強度
特性が向上する。 酸化ビスマスの配合量は0.5〜15重量%であり、
好ましくは5〜10重量%である。アルミン酸金属
塩は0.1〜5重量%であり、好ましくは0.5〜2重
量%である。アルミン酸金属塩は、1種単独でま
たは2種以上を組み合わせて用いることができ
る。 本発明で使用する窒化珪素粉末は、通常使用さ
れているものである。また、バインダーも通常使
用されるものであれば何でも良いが、特に好まし
くはポリビニルアルコールやステアリン酸等の有
機バインダーである。 窒化珪素粉末と焼結助剤とを所定割合で混合
し、バインダーを添加した後、常法に従い成形体
を得る。得られた成形体を必要に応じて熱処理し
た後、常法にしたがい焼結する。例えば、窒素雰
囲気下1600〜1900℃にて常圧焼結または加圧焼結
を行なう。加圧焼結の場合には2〜500気圧、好
ましくは200気圧以上の窒素雰囲気下で行なう。
また、成形体を適切な圧力媒体に包蔵し、いわゆ
る熱間静水圧焼結(Hot Isostatio Pressing)を
行なうとさらに焼結度の高いものが得られる。 焼結操作に引続き、600〜1200℃の温度で焼結
体を熱処理する。この熱処理により焼結体中のガ
ラス相が繊維状または層状に結晶化する。600℃
未満であるとガラス相の結晶化が行なわれず、ま
た、1200℃を越えると異方性の強い結晶が得られ
ず、いずれも好ましくない。非酸化性雰囲気と
は、好ましくは窒素ガス雰囲気である。 以下、本発明方法を実施例及び比較例に基いて
説明する。なお、下記実施例及び比較例中、%は
重量%を意味する。 実施例 1 高純度窒化珪素(α率78%)に酸化ビスマス8
%とアルミン酸リチウム0.6%とを添加し、エチ
ルアルコールを溶媒とし、ゴム内張りボールミル
にて36時間湿式にて粉砕混合を行つた。乾燥後の
混合粉にバインダーとしてポリビニルアルコール
を加え、800Kg/cm2の圧力下で金型成形を行ない、
35×35×10mmの試験片を得た。試験片のグリーン
密度は理論密度の54%であつた。 この試験片を400℃までゆつくり加熱し、この
状態で5時間保ち、有機物の揮散除去を行なう。
次に、200気圧の窒素雰囲気下1700℃の温度に80
分間保持し、焼結を行なつた。さらに、この焼結
体を900℃の温度に2時間保ち、残留ガラス相の
結晶化を行なつた。得られた焼結試験片Aの密度
は、理論密度の97%であつた。 また、上記焼結試験片Aを粉砕してX線回折に
よる生成相の同定を行なつたところ、窒化珪素の
他に、ペタライト(Petalite):LiAlSi4O10、ビ
スマス酸塩:Si2Bi24O40及びAl2Bi24O39が検出さ
れた。 また、試験片Aについて電子顕微鏡観察を行な
つたところ、粒界には層状又は繊維状に近い結晶
が析出していた。 比較例 高純度窒化珪素(α率78%)と、酸化マグネシ
ウム5%、酸化アルミニウム1%及び酸化チタン
2%とを添加したものを、実施例1と同様にして
混合・焼結する。得られた焼結体を試験片Bとす
る。 試験例 上記実施例1と比較例で得られた焼結試験片
A,Bについて、それぞれ抗折強度の測定及び冷
熱サイクル試験を行なつた。冷熱サイクル試験
は、60℃×10分と1200℃×10分との間を加熱5
分、冷却2分の間隔で繰返し加冷することにより
行なう。各焼結試験片A,Bの結果を第1表に示
す。
強度の窒化珪素(Si3N4)焼結体の製造方法に関
するものである。 従来、耐熱性にすぐれる高密度窒化珪焼結体
は、いずれも少量の焼結助剤、すなわちMgO,
Al2O3,Y2O3,AlN等を加えて、1700〜1800℃
の温度域でホツトプレスを行うか、あるいは加圧
窒素雰囲気内で焼結を行うことにより得られてい
る。これらの焼結助剤は液相焼結による高密度化
を促進するものの、焼結後も焼結体内にガラス相
として残留し、高温強度の劣化等を引起す為、焼
結体の高温強度特性が不十分であり、この点での
改良が望まれている。 一方、液相構成成分として酸化珪素、酸化アル
ミニウムに酸化カルシウム等を加えた三成分系酸
化物混合体を選び、さらに酸化チタンを核形成剤
として添加した複合焼結助剤を用い、焼結体内に
残留するガラス相を冷却過程で結晶化せしめ、高
温強度の維持を試みるなど若干の改良もなされて
いるが、析出結晶相と窒化珪素との熱膨張特性の
不整合により熱衝撃にもろいという欠点があつ
た。 本発明は、焼結助剤として酸化ビスマスとアル
カリ金属のアルミン酸塩とを併用し、焼結体に所
定の温度で熱処理を行なうことにより、焼結体中
の残留ガラス相中に異方性の強い層状もしくは繊
維状結晶を析出せしめ、これにより耐熱・高強度
の焼結体を得ることのできる方法を提供するもの
である。 すなわち、本発明製造方法は、窒化珪素粉末
と、焼結助剤として酸化ビスマス0.5〜15重量%
及びアルミン酸リチウム、アルミン酸ナトリウム
及びアルミン酸カリウムのうち少なくとも1種
0.1〜5重量%とを混合し、これにバインダーを
加えて成形後、焼結し、続いて焼結体に非酸化雰
囲気中600〜1200℃の温度で熱処理を行なうこと
により焼結体中の残留ガラス相を結晶化させるこ
とからなるものである。 本発明で使用する焼結助剤は、酸化ビスマス
と、アルカリ金属のアルミン酸塩、すなわちアル
ミン酸リチウム、アルミン酸ナトリウム及びアル
ミン酸カリウムのうち少なくとも1種(以下、単
にアルミン酸金属塩という)とからなる。酸化ビ
スマスとアルミン酸金属塩とを併用することによ
り、アルカリ金属のケイ酸塩及びビスマス酸塩が
析出し、これらは粒界で異方性の強い層状または
繊維状に結晶化するため、焼結体の耐熱・高強度
特性が向上する。 酸化ビスマスの配合量は0.5〜15重量%であり、
好ましくは5〜10重量%である。アルミン酸金属
塩は0.1〜5重量%であり、好ましくは0.5〜2重
量%である。アルミン酸金属塩は、1種単独でま
たは2種以上を組み合わせて用いることができ
る。 本発明で使用する窒化珪素粉末は、通常使用さ
れているものである。また、バインダーも通常使
用されるものであれば何でも良いが、特に好まし
くはポリビニルアルコールやステアリン酸等の有
機バインダーである。 窒化珪素粉末と焼結助剤とを所定割合で混合
し、バインダーを添加した後、常法に従い成形体
を得る。得られた成形体を必要に応じて熱処理し
た後、常法にしたがい焼結する。例えば、窒素雰
囲気下1600〜1900℃にて常圧焼結または加圧焼結
を行なう。加圧焼結の場合には2〜500気圧、好
ましくは200気圧以上の窒素雰囲気下で行なう。
また、成形体を適切な圧力媒体に包蔵し、いわゆ
る熱間静水圧焼結(Hot Isostatio Pressing)を
行なうとさらに焼結度の高いものが得られる。 焼結操作に引続き、600〜1200℃の温度で焼結
体を熱処理する。この熱処理により焼結体中のガ
ラス相が繊維状または層状に結晶化する。600℃
未満であるとガラス相の結晶化が行なわれず、ま
た、1200℃を越えると異方性の強い結晶が得られ
ず、いずれも好ましくない。非酸化性雰囲気と
は、好ましくは窒素ガス雰囲気である。 以下、本発明方法を実施例及び比較例に基いて
説明する。なお、下記実施例及び比較例中、%は
重量%を意味する。 実施例 1 高純度窒化珪素(α率78%)に酸化ビスマス8
%とアルミン酸リチウム0.6%とを添加し、エチ
ルアルコールを溶媒とし、ゴム内張りボールミル
にて36時間湿式にて粉砕混合を行つた。乾燥後の
混合粉にバインダーとしてポリビニルアルコール
を加え、800Kg/cm2の圧力下で金型成形を行ない、
35×35×10mmの試験片を得た。試験片のグリーン
密度は理論密度の54%であつた。 この試験片を400℃までゆつくり加熱し、この
状態で5時間保ち、有機物の揮散除去を行なう。
次に、200気圧の窒素雰囲気下1700℃の温度に80
分間保持し、焼結を行なつた。さらに、この焼結
体を900℃の温度に2時間保ち、残留ガラス相の
結晶化を行なつた。得られた焼結試験片Aの密度
は、理論密度の97%であつた。 また、上記焼結試験片Aを粉砕してX線回折に
よる生成相の同定を行なつたところ、窒化珪素の
他に、ペタライト(Petalite):LiAlSi4O10、ビ
スマス酸塩:Si2Bi24O40及びAl2Bi24O39が検出さ
れた。 また、試験片Aについて電子顕微鏡観察を行な
つたところ、粒界には層状又は繊維状に近い結晶
が析出していた。 比較例 高純度窒化珪素(α率78%)と、酸化マグネシ
ウム5%、酸化アルミニウム1%及び酸化チタン
2%とを添加したものを、実施例1と同様にして
混合・焼結する。得られた焼結体を試験片Bとす
る。 試験例 上記実施例1と比較例で得られた焼結試験片
A,Bについて、それぞれ抗折強度の測定及び冷
熱サイクル試験を行なつた。冷熱サイクル試験
は、60℃×10分と1200℃×10分との間を加熱5
分、冷却2分の間隔で繰返し加冷することにより
行なう。各焼結試験片A,Bの結果を第1表に示
す。
【表】
【表】
第1表から明らかなように、試験片A(本発明
品)は試験片B(比較品)に比べて常温における
抗折強度はほとんど遜色なく、高温下における強
度低下が少ない。また、冷熱サイクルテストで
は、試験片Bが26回で割れたのに対し、試験片A
は400回でも割れず、冷熱サイクルにおける耐久
性に優れる。 実施例 2 高純度窒化珪素(α率81%)に酸化ビスマス8
%、アルミン酸リチウム0.3%及びアルミン酸カ
リウム0.3%とを加え、実施例1と同様の条件で
成形・焼結し、窒素雰囲気下1000℃で熱処理を行
なつた。得られた試験片は、同様に耐熱衝撃性に
優れていた。また、試験片を電子顕微鏡で観察す
ると、粒界に繊維状又は層状の結晶相が析出して
いた。 実施例 3 実施例1と同様の組成の原料を用いて、同様に
成形・焼結した。焼結は、窒素雰囲気中1800℃で
常圧により行なつた。焼結体に窒素雰囲気下900
℃で2時間熱処理を行なつた。得られた試験片は
耐熱衝撃性に優れていた。 実施例 4 実施例1及び実施例2の方法でガスタービンエ
ンジンのブレードを試作した。それぞれのブレー
ドにホツトスピンテスト(105000rpm、5分毎に
500℃と、1100℃を繰り返す)を200サイクル行な
つたところ、いずれのブレードにもヒビワレは生
じなかつた。 以上の記載から明らかなように、本発明方法で
得られた窒化珪素焼結体は、焼結体中の粒界に存
在するガラス相が繊維状又は層状のように異方性
の強い形状で結晶化しているため、主結晶粒界を
相互に強くつなぎ合わせており、したがつて優れ
た耐熱衝撃性及び耐熱高強度を有する。
品)は試験片B(比較品)に比べて常温における
抗折強度はほとんど遜色なく、高温下における強
度低下が少ない。また、冷熱サイクルテストで
は、試験片Bが26回で割れたのに対し、試験片A
は400回でも割れず、冷熱サイクルにおける耐久
性に優れる。 実施例 2 高純度窒化珪素(α率81%)に酸化ビスマス8
%、アルミン酸リチウム0.3%及びアルミン酸カ
リウム0.3%とを加え、実施例1と同様の条件で
成形・焼結し、窒素雰囲気下1000℃で熱処理を行
なつた。得られた試験片は、同様に耐熱衝撃性に
優れていた。また、試験片を電子顕微鏡で観察す
ると、粒界に繊維状又は層状の結晶相が析出して
いた。 実施例 3 実施例1と同様の組成の原料を用いて、同様に
成形・焼結した。焼結は、窒素雰囲気中1800℃で
常圧により行なつた。焼結体に窒素雰囲気下900
℃で2時間熱処理を行なつた。得られた試験片は
耐熱衝撃性に優れていた。 実施例 4 実施例1及び実施例2の方法でガスタービンエ
ンジンのブレードを試作した。それぞれのブレー
ドにホツトスピンテスト(105000rpm、5分毎に
500℃と、1100℃を繰り返す)を200サイクル行な
つたところ、いずれのブレードにもヒビワレは生
じなかつた。 以上の記載から明らかなように、本発明方法で
得られた窒化珪素焼結体は、焼結体中の粒界に存
在するガラス相が繊維状又は層状のように異方性
の強い形状で結晶化しているため、主結晶粒界を
相互に強くつなぎ合わせており、したがつて優れ
た耐熱衝撃性及び耐熱高強度を有する。
Claims (1)
- 1 窒化珪素粉末と、焼結助剤として酸化ビスマ
ス0.5〜15重量%及びアルミン酸リチウム、アル
ミン酸ナトリウム及びアルミン酸カリウムのうち
少なくとも1種0.1〜5重量%とを混合し、これ
にバインダーを加えて成形後、焼結し、続いて焼
結体に非酸化雰囲気下600〜1200℃の温度で熱処
理を行なうことにより焼結体中の残留ガラス相を
結晶化させることからなる窒化珪素焼結体の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56192076A JPS5895653A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 窒化珪素焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56192076A JPS5895653A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 窒化珪素焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5895653A JPS5895653A (ja) | 1983-06-07 |
| JPH0224788B2 true JPH0224788B2 (ja) | 1990-05-30 |
Family
ID=16285231
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56192076A Granted JPS5895653A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 窒化珪素焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5895653A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5376602A (en) * | 1993-12-23 | 1994-12-27 | The Dow Chemical Company | Low temperature, pressureless sintering of silicon nitride |
-
1981
- 1981-11-30 JP JP56192076A patent/JPS5895653A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5895653A (ja) | 1983-06-07 |
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