JPH02250602A

JPH02250602A - 走行体の給電装置

Info

Publication number: JPH02250602A
Application number: JP6888389A
Authority: JP
Inventors: Ichiro Fukuwatari; 一郎福渡; Teiji Horimoto; 貞次堀本; Susumu Koizumi; 進小泉
Original assignee: Hitachi Kiden Kogyo Ltd
Current assignee: Hitachi Kiden Kogyo Ltd
Priority date: 1989-03-20
Filing date: 1989-03-20
Publication date: 1990-10-08
Anticipated expiration: 2012-06-25
Also published as: JP2623341B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉本発明は走行路を走行する走行体の給電装置に関する。

〈従来の技術〉従来から実施されている自動搬送装置の形態は次のふた
つに大別される。

ひとつは自走台車式のもので、バッテリを搭載し定点の
みで給電又はバッテリを交換するものである。他のひと
つは配設された固定レール上を走、打体が走行するもの
で、走行体と電源との間をケーブルコンベアで接続する
か、走行路に沿ってカーテン式ケーブルを設け、これを
介して給電されるかもしくは集電装置を介して給電され
るようになっている。

前記カーテン式ケーブルとは走行路に沿って配設された
ハンガレールにハンガを介してケーブルを吊り下げたも
のである。

〈発明が解決しようとする課題〉しかしながら、自走式台車においては、バッテリやその
制御装置を搭載するため台車が大型となり必要面積が大
きくなる。従って、建屋面積も大きくなり、設備コスト
が増大するという問題点があった。

一方、走行路上を走行する走行体において、ケーブルコ
ンベア式による給電方式の場合は、走行体の走行距離が
長くなると、ケーブルコンベアの長さも長くなりその重
量も増大するので、ケーブルコンベアが強度的に持たな
くなる。従って、走行距離が制限されることになる。ま
たこのカーテンケーブル方式の場合は走行路の長さが長
くなるとハンガの数を増やすかケーブルのハンガからの
垂下長を長くする必要がある。そして−船釣には前記ケ
ーブルの垂下長が一定範囲内に制限されるので、前記垂
下長を制限内に納めるようにハンガの数を増加せざるを
得す、走行体の寄りが悪くなるという問題点がある。ま
た集電装置による場合は、摩耗による寿命や腐食による
スパーク、さらにこのための通信不良等があり、信頼性
に問題がある。

本発明は上記事情に鑑みて創案されたもので、比較的長
い走行距離においてもコンパクトに構成し、必要面積を
極力少なくし、信頼性が高く、クリーンルーム等発塵を
防止する必要がある所にも使用可能な走行体の給電装置
を提供することを目的としている。

〈課題を解決するための手段〉本発明に係る走行給電装置は、床面に設置された走行路
上を走行する走行体の給電装置であって、走行路の一端
に固定され第１と第２のロープを駆動するドラムと、ド
ラムを回転させるモータと、前記ドラムと走行体の間に
走行可能に設けられ第１のロープをガイドする第１のロ
ープシーブと第３のロープをガイドする第３のロープシ
ーブと給電線をガイドするケーブルドラムとを備えたケ
ーブルユニットと、前記ロープのいずれかの一端を緊張
させるロープ緊張手段とを具備しており、かつ前記第１
のロープの前端はドラム又は第２のロープに、その後端
は第１のロープシーブを介してドラム側走行路端部に固
定されており、第２のロープの前端はドラム又は第１の
ロープに、その後端が走行路の他端に固定された第２の
ロープシーブを介して走行体に連結されており、給電線
は先端が走行体に連結されるとともに後端がケーブルド
ラムを介して走行路の略中央に固定されたことを特徴と
している。

〈作用〉第１のロープの巻取りによって走行体はケーブルドラム
ユニットの移動長の２倍の距離を走行する。また第２の
ロープの巻取りによって前記と反対方向にケーブルドラ
ムユニットの移動長の２倍の長さを走行する。そしてケ
ーブルはケーブルドラムユニットの移動に伴いケーブル
ドラムによって巻取り巻出しされる。そして走行体の走
行中に発生するロープ張力の変化はロープ緊張手段に吸
収され、ロープに弛みを生じない。さらに走行体の走行
に関連してケーブル保持手段のローラは走行体の通過中
は走行路から脱出しており、走行体の通過後走行路内に
進入し、ケーブルを保持する。

〈実施例〉以下、図面を参照して本考案に係る一実施例を説明する
。

第１図は本発明装置の構成を示し、（ａ）は平面図、（
ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図、第２図は本発明装置の
ロープの掛は方を示す説明図、第３図は一部を省略した
本発明装置の外観斜視図、第４図はケーブルドラムユニ
ットを示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は側面図、第５図
はケーブル保持手段の動作説明図で（ａ）はローラの進
入時、（ｂ）はローラの脱出時を示している。

本発明装置ｌＯは走行体３０が走行する走行路２０の一
端に設けられたドラム４１と、ドラム４１を回転駆動さ
せるモータ４２と、ケーブルドラムユニット５０と、ケ
ーブル５６と、金属ワイヤからなるロープ６１．６２．
６３と、ロープ緊張手段６４とケーブル保持手段７０と
からなっている。

走行路２０はストッカ（図示せず）と製造装置１１間に
所定長にわたってリニアガイド２１をピットの底壁に配
設して形成されている。

走行体３０は側面視断面がＬ字状に形成された垂直脚部
の底面に前記リニアガイド２１に嵌まるリニアベアリン
グ３１を備えており、走行路２０上をウェハを保持して
所定距離を後記するローブに引っ張られて走行するよう
になっている。

ドラム４１は後記する第１と第２のロープを巻取り巻出
しするもので、チェーン又はベルト、カップリング等４
３を介してモータ４２に連結されている。

ケーブルドラムユニット５０はフレーム５７の脚部底面
にリニアガイド２１に嵌まるリニアベアリング５８を備
えている。

さらにケーブルドラムユニット５０は第１のロープシー
ブ５１と第３のロープシーブ５３と第１のケーブルドラ
ム５４と第２のケーブルドラム５５とを備えている。前
記第３のロープシーブ５３はケーブルドラムユニット５
０の略中央部に位置しており、これを挟んで左右に第１
のケーブルドラム５４と第２のケーブルドラム５５とが
一体に又は分割して形成されている。前記第１のロープ
シーブ５１は第１のケーブルドラム５４の外側に設けら
れている。そして第３のロープシーブ５３とこれを挾む
第１と第２のケーブルドラム５４．５５と、第１のロー
プシーブ５１とは軸５９に別個に回転可能に軸支されて
いる。なお、第２のロープシーブ５２は走行路２０の反
ドラム側端部に固定されている。５７ａはフレーム５７
の連結ロッド、５９ａはケーブル５６の垂下を防止する
ガイドローラである。

ケーブル５６は一端が走行体３０の端子盤３２に接続さ
れ、他端は第１と第２のケーブルドラム５４．５５を巻
回して走行路２０の略中央部近傍に設けられたケーブル
クリート６０に接続され、これを介して電源に接続され
ている。そして走行体３０が前後に走行すると、ケーブ
ルドラム５０が前後に移動し、第１と第２のケーブルド
ラム５４．５５に巻回されたケーブル５６が走行体３０
に対し巻出し又は巻取りされるようになっている。

前記第１のローブ６１はその先端がドラム４１に固定さ
れており、その後端が第１のロープシーブ５１を介して
走行路２０のドラム４１の設置側端部固定位置２２に固
定されている。

また第２のロープ６２はその先端がドラム４１に固定さ
れており、その後端が第２のロープシーブ５２を介して
走行体３０の反ドラム側固定位置３３に連結されている
。

さらに走行路２０の略中央部近傍にはローブ緊張手段と
してエアシリンダ６４が固定されている。そして第３の
ローブ６３はその先端が走行体３０のドラム側の固定位
置３４に連結されており、その後端が第３のロープシー
ブ５３を介して前記エアシリンダ６４のピストンロッド
先端６４ａに連結されている。

前記第１のロープ６１と第２のロー１６２とはドラム４
１の回転によって一方が巻き取られると一方が巻き出さ
れるように、それぞれドラム４１の両端から内方に向か
って逆方向に巻回されている。

ケーブル保持手段７０は走行路２０に沿って複数組配設
されており、その各々の組はケーブル５６を保持するロ
ーラ７１とローラ７１を略９ｏ度旋回させるエアシリン
ダ７２と、走行体３０の位置を検知する１対のセンサ７
３．７４と、センサ７３．７４の出力によってエアシリ
ンダ７２を差動させる制御部７４とからなっている。

ローラ７１は円筒体とこれを回転可能に軸支するととも
にその先端が固定された軸７１ａからなっている。また
軸７１ａの固定端から離隔した位置７１ｂにはエアシリ
ンダ７２のピストンロッド先端が連結されている。

センサ７３は前記ローラ７１の位置を中心として走行路
の前後に所定間隔をもって配設されており、走行体３０
の通過を検知するもので、例えば１対のリミットスイッ
チ７３と７４によって構成されている。

そして常時はローラ７１は走行路２０に長手方向と直交
する方向に進入しており、ケーブル５６を保持しており
、走行体３０が近接すると９０度旋回し、走行路２０か
ら脱出するようになっている。すなわち第５図（ａ）に
おいて、矢印方向に走行する走行体３０をセンサ７４が
検知し、この出力が制御部７５に入力される。制御部７
５はセンサ７４の出力に基づいてエアシリンダ７２を作
動させる。ローラ７１はこれにより略９０旋回回し、同
図（ｂ）に示すように走行路２０から脱出し、走行体３
０が通過できる。そして走行体３０の通過後、ローラ７
１をエアシリンダ７２の作動により走行路２０に進入さ
せる。

つぎに本発明装置ｌＯの動作について説明する。

■ドラム４１を駆動し、第１のロープ６１を巻き取ると
、ケーブルドラムユニット５０がドラム４１側に移動す
る。また第２のロープ６２がドラム４１から巻き出され
る。

■ケーブルドラムユニット５０の移動とともに、第３の
ロープ６３によって走行体３０もドラム４１側に引っ張
られて走行する。このときケーブルドラムユニット５０
の移動距離は走行体３０の走行距離の１／２である。

■前記のと逆方向にドラムを駆動し、第２のロー１６２
を巻き取ると、走行体３０が引っ張られ、逆方向に走行
し、第１のロープ６１が巻き出される。

■走行体３０の走行とともに、ケーブルドラムユニット
５０が第３のロープ６３によって引っ張られる。

■前記の走行体３０の走行中に生じる各ロープ６１．６
２．６３の張力の変化はエアシリンダ６４によって吸収
され、常にロープの張力が一定に保たれる。

■ケーブル保持手段７０は前記したように、作動するの
で、ローラ７１は走行体３０の走行を妨げるとこなくケ
ーブル５６を保持する。

本実施例においては、前記のようなロープ引っ張り機構
とケーブルドラムユニットとケーブル保持手段とによっ
て従来の走行距離が４〜５ＩＩ＋が限度であったものを
同じクリーンルーム内の制限寸法のもとてその走行距離
を一気に２０ｍにまで延長させることが可能となった。

なお、本実施例で示すケーブルドラムユニット５０につ
いては、ケーブルドラムに走行体を駆動する第１及び第
２のロープを巻きつけ、そのケーブルドラムの軸芯にケ
ーブルを巻き取るシーブをケーブルドラムとは自由に回
転できるように巻きつけ、そのシープにケーブルを巻き
つけることにより前記と同様に作動させることができる
。

また、従来の自走式台車の走行方向と直交する幅に比し
て本装置の長手方向の幅をそれの約１７２とすることも
できるので、走行体及び給電に要する面積は従来に比し
て極めて小さくすることができる。さらに本発明装置は
ケーブルの垂れ下がりがないので、装置の高さを低くす
ることが可能となり、空間をそれだけ有効に利用するこ
とができる。

〈発明の効果〉以上説明したように、本発明装置はケーブルドラムユニ
ットを介して走行体をロープで引っ張るようにしている
ので、ケーブルコンベアの場合の如く重くはなく、カー
テン式ケーブルの場合における寄りの問題が解消される
ほか、ケーブル保持機能を設けているので、走行体の走
行距離が長（なってもコンパクトに、且つ安全にケーブ
ルを保持させることができる。またコンパクト化した本
発明装置をクリーンルームにおいて実施することにより
クリーンルームの建屋容積を小さくすることができるの
で、全体として設備のコストダウンに大きく寄与できる
ものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の構成を示し、（ａ）は平面図、（
ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図、第２図は本発明装置の
ロープの掛は方を示す説明図、第３図は一部を省略した
本発明装置の外観斜視図、第４図はケーブルドラムを示
し、（ａ）は断面図、（ｂ）は側面図、第５図はケーブ
ル保持手段の動作説明図で（ａ）はローラの進入時、（
ｂ）はローラの脱出時を示している。１０・・・本発明装置２０・・・走行路３０・・・走行体４１・・・ドラム５０・・・ケーブルドラムユニット５１・・・第１のロープシーブ５２・・・第２のロープシーブ５３・・・第３のロープシーブ５４・・・第１のロープドラム５５・・・第２のロープドラム５６・・・ケーブル６１・・・第１のロープ６２・・・第２のロープ６３・・・第３のロープ６４・・・ロープ緊張手段７０・・・ケーブル保持手段７１・・・ローフ７２・・・エアシリンダ７３．７４・・・センサ特許出願人　日立機電工業株式会社代理人　弁理士　　大　西　孝　治第１図（ｆの２）

Claims

【特許請求の範囲】

（１）床面に設置された走行路上を走行する走行体の給
電装置であって、走行路の一端に固定され第１と第２の
ロープを駆動するドラムと、ドラムを回転させるモータ
と、前記ドラムと走行体の間に走行可能に設けられ第１
のロープをガイドする第１のロープシーブと第３のロー
プをガイドする第３のロープシーブと給電線をガイドす
るケーブルドラムとを備えたケーブルユニットと、前記
ロープのいずれかの一端を緊張させるロープ緊張手段と
を具備しており、かつ前記第１のロープの前端はドラム
又は第２のロープに、その後端は第１のロープシーブを
介してドラム側走行路端部に固定されており、第２のロ
ープの前端はドラム又は第１のロープに、その後端が走
行路の他端に固定された第２のロープシーブを介して走
行体に連結されており、給電線は先端が走行体に連結さ
れるとともに後端がケーブルドラムを介して走行路の略
中央に固定されたことを特徴とする走行体の給電装置。