JPH02265221A - 金属皮膜抵抗器の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は金属皮膜抵抗器の製造方法に関するものである
。

（に来の技術 以下に従来の皮膜抵抗器の構成について説明する。第２
図は従来の金属皮膜抵抗器の断面図であり、１はアルミ
ナ基板、３はＮｉ−Ｃｒ層、４はＳｉＯ２のオーバーコ
ート層、５は絶縁膜、６は金属電極である。

発明が解決しようとする課題 しかしながら上記従来の（１４成では、温度、湿度等の
ストレスにλｊじ十分でな（、使用中に抵抗器としての
特性が劣化するこ七より高精度、高信頼性抵抗器の製造
が非常に困難である。

本発明は上記従来の問題点を解決するもので、非常に高
精度で特性の劣化の著しく小さい高信頼性金属皮膜抵抗
器の製造方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段 この目的を達するために本発明の金属皮膜抵抗器は、抵
抗皮膜層を蒸着・スパッタリング等で形成したアルミナ
層により挟み込み、両面より抵抗皮膜層を保護すること
から構成されている。

作用 この構成によって、特性の劣化が著しく小さい高精度、
高信頼性金属皮膜抵抗器を製造することができる。

実施例 以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明する。

Ｙ％１図は本発明の一実施例におＩＪる金属皮膜抵抗器
の断面図である。第１図において、■はアルミナ基板、
２は高周波スパッタリング方式により形成したアルミナ
の下層保護膜、３はスパッタリング方式により形成した
Ｎ　ｉ　−Ｃｒ抵抗体、４はスパッタリング方式により
形成したアルミナの上層保護膜、５は塗料による絶縁保
護膜、６は金属電極である。

以上の構成より成る本実施例の金属皮膜抵抗器と従来例
の構成より成る金属皮膜抵抗器を比較試験した結果を第
３図、第４図、第５図に示す。

第３図は耐湿負荷寿命試験、第４図は負荷寿命試勢、第
５図は温度ザイクル試験である。ここでは、この３試験
についてしか述べないが、抵抗器に関する種１７の試験
についても格段の違いが見られた。

以りのように本実施例によれば、金属皮膜抵抗体をｊ′
ルミナの保護吸層で挟み込むことにより、抵抗体の特性
劣化が著しく小さい、高精度、高信頼性の金属皮Ｉｔ！
２抵抗器の製造を行なうことかできる。

なお、本実施例では、榎型抵抗器について述へたが、円
筒型抵抗器についても同様な効果が確認できた。

発明の効果 本発明によれば、抵抗体の特性劣化か著シ、＜小さく、
高精度、高信頼性の金属皮膜抵抗器の製造を行なうこと
かできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は従来
の皮膜抵抗器の断面図、第３図、第４図及び第５図は本
発明と従来例の抵抗器の特性を比較して示す特性図であ
る。 ■・・・・・アルミナ基板、２・・・・・・下層保ｌψ
膜層、３・・・・Ｎｉ−Ｃｒ抵抗体層、４・・・・・上
行保護膜層、５・・・・・絶縁膜層、６・・・・・金属
電極。 代理人の氏名　弁理士　粟野重孝　はか１名第４図 講 図 恋　２　図 第５図 時頑 窮　３　図 １１請 サイ７ル

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基材上にアルミナ層を形成し、そのアルミナ層上に抵抗
   皮膜層を形成し、さらにその抵抗皮膜層上に再度アルミ
   ナ層を形成し、さらにアルミナ層上に両端電極部以外に
   絶縁膜を形成し、さらに抵抗皮膜両端部に電極を形成す
   ることを特徴とする金属皮膜抵抗器の製造方法。