JPH023075U - - Google Patents
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- JPH023075U JPH023075U JP7952888U JP7952888U JPH023075U JP H023075 U JPH023075 U JP H023075U JP 7952888 U JP7952888 U JP 7952888U JP 7952888 U JP7952888 U JP 7952888U JP H023075 U JPH023075 U JP H023075U
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- JP
- Japan
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- crucible
- vacuum
- vacuum evacuation
- present
- evacuates
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- Pending
Links
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Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
第１図は本考案装置を用いた成膜装置の真空排
気系統図、第２図は本考案装置の構造を模式的に
示す説明図である。 １……成膜室、２……油回転ポンプ、３……油
拡散ポンプ、４……本考案装置、５，６，７，８
……真空弁、４１……本考案装置（排気装置）の
容器、４２……大気成分と親和性の高い金属、４
３……坩堝、４４……加熱装置、４５……金属の
蒸気、４６……冷却水配管。
気系統図、第２図は本考案装置の構造を模式的に
示す説明図である。 １……成膜室、２……油回転ポンプ、３……油
拡散ポンプ、４……本考案装置、５，６，７，８
……真空弁、４１……本考案装置（排気装置）の
容器、４２……大気成分と親和性の高い金属、４
３……坩堝、４４……加熱装置、４５……金属の
蒸気、４６……冷却水配管。
Claims (1)
- 真空容器内を真空排気する装置であつて、真空
排気配管系に配置される坩堝と、同坩堝に入れら
れた金属を溶解する手段とを具備したことを特徴
とする真空排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7952888U JPH023075U (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7952888U JPH023075U (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH023075U true JPH023075U (ja) | 1990-01-10 |
Family
ID=31304402
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7952888U Pending JPH023075U (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH023075U (ja) |
-
1988
- 1988-06-17 JP JP7952888U patent/JPH023075U/ja active Pending