JPH0233261U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0233261U JPH0233261U JP10998588U JP10998588U JPH0233261U JP H0233261 U JPH0233261 U JP H0233261U JP 10998588 U JP10998588 U JP 10998588U JP 10998588 U JP10998588 U JP 10998588U JP H0233261 U JPH0233261 U JP H0233261U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- slow
- wave circuit
- microwave
- comb
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図ａは本考案の一実施例を示す断面図、第
１図ｂは第１図ａの実施例の効果を示す断面図、
第２図ａ，ｂは本考案の他の実施例の効果を示す
断面図、第３図ａ，ｂ，ｃは電界の集中を防ぐの
に有利な遅波回路の歯部分の形状の例を示す断面
図、第４図ａ，ｂ，ｃは従来のこの種プラズマ発
生装置の例を示す断面図、平面図、第５図ａ，ｂ
は第４図の装置の問題を示す断面図である。 １……プラズマ発生容器、１１……試料台、１
２……マイクロ波遅波回路、１３……ガス供給パ
イプ、１４……排気孔、１５……マイクロ波供給
孔、１７……誘電体物質、２０……導波管、３０
……試料、４０……プラズマ領域、なお図中同一
符号は同一または相当する部分を示す。
１図ｂは第１図ａの実施例の効果を示す断面図、
第２図ａ，ｂは本考案の他の実施例の効果を示す
断面図、第３図ａ，ｂ，ｃは電界の集中を防ぐの
に有利な遅波回路の歯部分の形状の例を示す断面
図、第４図ａ，ｂ，ｃは従来のこの種プラズマ発
生装置の例を示す断面図、平面図、第５図ａ，ｂ
は第４図の装置の問題を示す断面図である。 １……プラズマ発生容器、１１……試料台、１
２……マイクロ波遅波回路、１３……ガス供給パ
イプ、１４……排気孔、１５……マイクロ波供給
孔、１７……誘電体物質、２０……導波管、３０
……試料、４０……プラズマ領域、なお図中同一
符号は同一または相当する部分を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 内部に試料を載置する試料台を取付け、該試料
台の面に対向する内壁面に１列または複数列のく
し形のマイクロ波遅波回路を設け、マイクロ波発
振器からのマイクロ波が上記遅波回路に供給され
る各位置にマイクロ波供給孔を設けたプラズマ発
生容器内で上記マイクロ波遅波回路に沿つて発生
するプラズマにより試料の表面処理や試料の表面
への薄膜形成などを行うプラズマ発生装置におい
て、上記くし型のマイクロ波遅波回路 を誘電体物質で覆つたことを特徴とするプラズ
マ発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10998588U JPH0623570Y2 (ja) | 1988-08-24 | 1988-08-24 | プラズマ発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10998588U JPH0623570Y2 (ja) | 1988-08-24 | 1988-08-24 | プラズマ発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0233261U true JPH0233261U (ja) | 1990-03-01 |
| JPH0623570Y2 JPH0623570Y2 (ja) | 1994-06-22 |
Family
ID=31346731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10998588U Expired - Lifetime JPH0623570Y2 (ja) | 1988-08-24 | 1988-08-24 | プラズマ発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0623570Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0627871A (ja) * | 1992-07-06 | 1994-02-04 | Mitsuru Ito | 自動車の運転操作練習台 |
-
1988
- 1988-08-24 JP JP10998588U patent/JPH0623570Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0627871A (ja) * | 1992-07-06 | 1994-02-04 | Mitsuru Ito | 自動車の運転操作練習台 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0623570Y2 (ja) | 1994-06-22 |
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