JPH0236290B2 - Gasubunrimaku - Google Patents

Gasubunrimaku

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JPH0236290B2
JPH0236290B2 JP20577483A JP20577483A JPH0236290B2 JP H0236290 B2 JPH0236290 B2 JP H0236290B2 JP 20577483 A JP20577483 A JP 20577483A JP 20577483 A JP20577483 A JP 20577483A JP H0236290 B2 JPH0236290 B2 JP H0236290B2
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JP
Japan
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membrane
separation
cmhg
sec
separation membrane
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JP20577483A
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JPS6099323A (ja
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Masaaki Yamabe
Shunichi Samejima
Tooru Kawasaki
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National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
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Agency of Industrial Science and Technology
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明はガス分離膜、特に膜分離法により天然
ガス中からヘリウムを選択性よく効率的に分離取
得し得る分離膜に係るものである。
ヘリウムガスは例えば核融合反応、リニアモー
ター等の超導電用の極低温媒体として有用であ
り、今後かなりの量の使用が見込まれる。
かかるヘリウムは天然ガスや空気中に含まれ、
特に天然ガス中にはかなり多量に含まれている。
従来ヘリウムはこの様な天然ガスから深冷分離等
の手段により分離取得されてきたが、これは設備
的にかなり大規模となり、操作的にも保守管理的
にもかなり煩雑なものであつた。
更に、前記の如き超電導に用いたヘリウムガス
の回収に当つては従来それ程有効な手段は提案さ
れていない。
他方、混合ガス中からヘリウムを得る方法とし
て膜分離法が提案されている。この方法は直接ヘ
リウムガスが得られ、操作的に簡単であり、又経
済的にも有利である。この様な分離膜として代表
されるものにオルガノポリシロキサン系の膜が
種々提案されている。この膜は一般に酸素に対す
る透過速度や酸素分離系数(PO2/PN2)について
は比較的満足し得るものの、ヘリウムガスについ
ては分離係数が小さく、実用性についてあまり期
待し得るものでない。
本発明者はかかる点に鑑み、分離係数(PHe
PN2)とヘリウムの透過速度が高いレベルでバラ
ンスし、しかもその性能が安定して持続し得る分
離膜を得ることを目的として種々研究、検討した
結果、特定のパーフルオロ化合物を膜素材として
用いることにより前記目的を達成し得ることを見
出した。
かくして本発明は多孔質膜上にパーフルオロ−
3,6−ジオキサ(5−メチル)ノネン−1をプ
ラズマ重合せしめて成るガス分離膜を提供するに
ある。
本発明に用いられる多孔質膜としては、その物
性が平均細孔径10〜2000Å、空気の透過速度4×
10-1cm3/cm2・sec・cmHgを有するのが適当である。
これら物性が前記範囲を逸脱する場合には充分
なガス透過速度が得難く、又超薄膜を積層する際
欠陥を生じ易くなる虞れがあるので好ましくな
い。
かかる膜の材質としては、例えばポリスルホ
ン、ポリアミド、ポリアクリロニトリル、ポリエ
チレン、ポリビニルアルコール、ポリテトラフル
オロエチレン等が挙げられる。
そして本発明においては前述の多孔質支持膜上
にパーフルオロ−3,6−ジオキサ(5−メチ
ル)ノネン−1(PHVEと略称する)を薄膜状に
プラズマ重合せしめる。
プラズマ重合に供せられるPHVEの調製は、
例えば次に示す一連の反応でヘキサフルオロプロ
ペンより製造される。
又、プラズマ重合手段としては、モノマー供給
弁、電極、アース電極、アース電極冷却部、高周
波電源、ガラス製ベルジヤー、排気系より構成さ
れる。通常よく知られているベルジヤー型プラズ
マ重合装置を用いることが出来る。
プラズマ重合条件としては前記ベルジヤー型プ
ラズマ重合装置を用いれば圧力0.01〜5torr、
PHVEの流量1〜1000cm3/min、高周波出力1〜
200Wを採用するのが適当である。前記以外の重
合装置を用いても、これらの条件を最適化してプ
ラズマ重合を行うのはこの技術に習熟している者
にとつて比較的容易である。
プラズマ重合により多孔質膜上に設けられる
PHVE膜の厚さは0.01〜5.0μm、好ましくは0.03
〜1.0μm程度を採用するのが適当である。
膜の厚さが前記範囲を逸脱する場合には膜に欠
陥を生じ易くなるか、又は充分なガス透過速度が
得難くなる等の虞れがあるので好ましくない。
かくして得られたガス分離膜は、特にヘリウム
に対する選択分離透過性が優れているが、その他
酸素や炭酸ガス等のガスに対する選択透過性も実
用的であり、これらガスの濃縮或は分離等にも有
用である。
次に本発明を実施例により説明する。
実施例 ベルジヤー型プラズマ重合装置を用い、空気の
透過速度が4×10-2cm3/cm2・sec・cmHg、平均細
孔径が30Å、直径80mmのポリスルホン多孔質膜を
アース電極上に固定した。
真空ポンプによりベルジヤー内を脱気し、排気
を続けながらモノマー供給バルブを通して
PHVEを40cm3/minで供給した。ベルジヤー内の
圧力は0.2torrとなつた。電極間に13.56MHz、
50Wの高周波出力を印加してPHVEを多孔質膜
上へ1.0分間プラズマ重合した。
得られたプラズマ重合膜の膜厚は0.22μであつ
た。
He、CO2、N2の各ガスの透過性能を測作した
結果を以下に示す。
Heの透過速度 1.2×10-3cm3/cm2・sec・cmHg Heの透過係数 2.8×10-8cm3/cm・sec・cmHg CO2の透過速度 5.5×10-4cm3/cm2・sec・cmHg CO2の透過係数 1.2×10-8cm3/cm・sec・cmHg N2の透過速度 6.7×10-5cm3/cm2・sec・cmHg N2の透過係数 1.5×10-9cm3/cm・sec・cmHg He/N2の分離係数 18 CO2/N2の分離係数 8.3

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 多孔質膜上にパーフルオロ−3,6−ジオキ
    サ(5−メチル)ノネン−1をプラズマ重合せし
    めて成るガスの分離膜。 2 多孔質膜は平均細孔径10〜2000Å、空気の透
    過速度が4×10-4〜4×10-1cm3/cm2・sec・cmHg
    である請求の範囲1の分離膜。 3 多孔質膜はポリスルホン、ポリアミド、ポリ
    アクリロニトリル、ポリエチレン、ポリビニルア
    ルコール、ポリテトラフルオロエチレンである請
    求の範囲1又は2の分離膜。 4 パーフルオロ−3,6−ジオキサ(5−メチ
    ル)ノネン−1重合体の膜厚は0.01〜5.0μmであ
    る請求の範囲1の分離膜。
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JP2671072B2 (ja) * 1991-11-26 1997-10-29 宇部興産株式会社 ガス分離膜の製造法

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