JPH024236U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH024236U JPH024236U JP6837189U JP6837189U JPH024236U JP H024236 U JPH024236 U JP H024236U JP 6837189 U JP6837189 U JP 6837189U JP 6837189 U JP6837189 U JP 6837189U JP H024236 U JPH024236 U JP H024236U
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- JP
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- holding jig
- cut
- jig
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- Granted
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
第１図及び第２図は、本考案の治具を用いてウ
エーハ載置ボートを持ち上げる状態を説明するた
めの模式的正面図、第３図の図ａ及び図ｂは、従
来のウエーハボート搬送用保持治具の代表的な二
つのタイプの概要斜視図で、第４図は、ウエーハ
を載置したボートの概要斜視図である。 図中の符号：１……石英ガラス管、２……搬送
アーム、３……ウエーハ、４……ウエーハボート
、５……脚、６……エツジ部、７……環状縁どり
部、８……空孔。
エーハ載置ボートを持ち上げる状態を説明するた
めの模式的正面図、第３図の図ａ及び図ｂは、従
来のウエーハボート搬送用保持治具の代表的な二
つのタイプの概要斜視図で、第４図は、ウエーハ
を載置したボートの概要斜視図である。 図中の符号：１……石英ガラス管、２……搬送
アーム、３……ウエーハ、４……ウエーハボート
、５……脚、６……エツジ部、７……環状縁どり
部、８……空孔。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 石英ガラス管を部分的に軸方向に切欠いて形
成されたウエーハボート搬送用保持治具において
、該切欠かれた搬送アーム部の長さ方向の両エツ
ジ部を肉盛りされた環状の縁どりに形成してなる
実用性の優れたウエーハボート搬送用保持治具。 ２ 環状の縁どりの空孔に、高強度かつ高耐熱性
材料を充てんした実用新案登録請求の範囲第１項
記載の治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989068371U JPH0632678Y2 (ja) | 1989-06-12 | 1989-06-12 | ウエーハボート搬送用保持治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989068371U JPH0632678Y2 (ja) | 1989-06-12 | 1989-06-12 | ウエーハボート搬送用保持治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH024236U true JPH024236U (ja) | 1990-01-11 |
| JPH0632678Y2 JPH0632678Y2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=31293693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989068371U Expired - Lifetime JPH0632678Y2 (ja) | 1989-06-12 | 1989-06-12 | ウエーハボート搬送用保持治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0632678Y2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5699851U (ja) * | 1979-12-27 | 1981-08-06 | ||
| JPS6078137U (ja) * | 1983-11-02 | 1985-05-31 | 信越石英株式会社 | ウエ−ハ搬送装置 |
| JPS60119715A (ja) * | 1983-12-01 | 1985-06-27 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラス製半導体ウエハ−ボ−ト搬送用具 |
-
1989
- 1989-06-12 JP JP1989068371U patent/JPH0632678Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5699851U (ja) * | 1979-12-27 | 1981-08-06 | ||
| JPS6078137U (ja) * | 1983-11-02 | 1985-05-31 | 信越石英株式会社 | ウエ−ハ搬送装置 |
| JPS60119715A (ja) * | 1983-12-01 | 1985-06-27 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラス製半導体ウエハ−ボ−ト搬送用具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0632678Y2 (ja) | 1994-08-24 |