JPH0243865Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0243865Y2 JPH0243865Y2 JP8645683U JP8645683U JPH0243865Y2 JP H0243865 Y2 JPH0243865 Y2 JP H0243865Y2 JP 8645683 U JP8645683 U JP 8645683U JP 8645683 U JP8645683 U JP 8645683U JP H0243865 Y2 JPH0243865 Y2 JP H0243865Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- evaporation
- inner container
- temperature sensor
- selenium
- Prior art date
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- Expired
Links
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Landscapes
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の属する技術分野〕
本考案は、乾式複写機あるいはプリンタに用い
られる電子写真感光体製造のための、例えばセレ
ン又はセレン合金のような光導電材料の蒸着装置
に関する。
られる電子写真感光体製造のための、例えばセレ
ン又はセレン合金のような光導電材料の蒸着装置
に関する。
電子写真感光体は、例えばアルミニウム合金か
らなる導電性円筒基体上にセレンまたはセレン合
金を真空蒸着により被着したものである。このた
め真空槽内に設けた一定温度の液体を循環させて
加熱する支持体を回転させ、その上に被蒸着基体
を支持し、下方に配置されたセレンまたはセレン
合金の蒸発源を加熱して基体上に被着する。この
ようにして被着した光導電体蒸着膜の厚さは、感
光体の電子写真特性、特に電荷受容性を大きく左
右するものであり、その厚さは１個の感光体の全
面にわたつて均一であることは勿論、各感光体の
間においてもばらつきの無いことが要求される。
らなる導電性円筒基体上にセレンまたはセレン合
金を真空蒸着により被着したものである。このた
め真空槽内に設けた一定温度の液体を循環させて
加熱する支持体を回転させ、その上に被蒸着基体
を支持し、下方に配置されたセレンまたはセレン
合金の蒸発源を加熱して基体上に被着する。この
ようにして被着した光導電体蒸着膜の厚さは、感
光体の電子写真特性、特に電荷受容性を大きく左
右するものであり、その厚さは１個の感光体の全
面にわたつて均一であることは勿論、各感光体の
間においてもばらつきの無いことが要求される。
この蒸着膜の厚さを制御するには、蒸発源の温
度を精度よく一定にすると共に、蒸発する光電導
材料の量を一定にしなければならない。このため
に従来は、第１図に示すような蒸発源が用いられ
ていた。この蒸発源は、セレンまたはセレン合金
１を入れる内部容器２、それを放射熱で加熱して
融解蒸発させる加熱体３およびそれらを収容し、
蒸気の出口となるスリツト４を有する外部容器５
からなる。内部容器２の底部には段を形成する付
加体６が固定されており、その上面に熱電対のよ
うな温度検出器７が、例えば溶接あるいは機械的
な方法で固着される。温度検出器７は制御装置８
に接続されており、制御装置８は検出温度に応じ
て加熱体３の熱出力を制御して蒸発材料１の温度
を一定に保つと共に、材料の量が減少してその液
面が付加体６の上面、すなわち温度検出器７の先
端の位置より下降した時の温度変化を検知して加
熱体の熱出力をしや断する。しかしこのような蒸
発源を用いる場合、特にテルル系セレン合金を蒸
発材料とすると、蒸着をくり返すことにより温度
検出器７と付加体６の固着部に、蒸発材料の溶解
蒸発により生じた残渣物が蓄積し、このために温
度変化の検知時期が不安定になつたり、あるいは
全く検知されなかつたりして、その結果高精度の
蒸発量制御が得られなかつた。
度を精度よく一定にすると共に、蒸発する光電導
材料の量を一定にしなければならない。このため
に従来は、第１図に示すような蒸発源が用いられ
ていた。この蒸発源は、セレンまたはセレン合金
１を入れる内部容器２、それを放射熱で加熱して
融解蒸発させる加熱体３およびそれらを収容し、
蒸気の出口となるスリツト４を有する外部容器５
からなる。内部容器２の底部には段を形成する付
加体６が固定されており、その上面に熱電対のよ
うな温度検出器７が、例えば溶接あるいは機械的
な方法で固着される。温度検出器７は制御装置８
に接続されており、制御装置８は検出温度に応じ
て加熱体３の熱出力を制御して蒸発材料１の温度
を一定に保つと共に、材料の量が減少してその液
面が付加体６の上面、すなわち温度検出器７の先
端の位置より下降した時の温度変化を検知して加
熱体の熱出力をしや断する。しかしこのような蒸
発源を用いる場合、特にテルル系セレン合金を蒸
発材料とすると、蒸着をくり返すことにより温度
検出器７と付加体６の固着部に、蒸発材料の溶解
蒸発により生じた残渣物が蓄積し、このために温
度変化の検知時期が不安定になつたり、あるいは
全く検知されなかつたりして、その結果高精度の
蒸発量制御が得られなかつた。
本考案の目的は、従つてテルル系セレン合金を
蒸叛材料として用いた場合にも高精度の温度制御
と蒸発量制御が可能な電子写真感光体用蒸着装置
を提供することにある。
蒸叛材料として用いた場合にも高精度の温度制御
と蒸発量制御が可能な電子写真感光体用蒸着装置
を提供することにある。
本考案は外部容器と蒸発材料を入れる内部容器
と外部容器および内部容器の間に配置された加熱
体とを有する蒸発源、融解した蒸発材料に所定の
深さまで浸漬される先端検出部を有する温度検出
器ならびにその温度検出器の出力信号により加熱
体の熱出力の制御および遮断を行う制御装置を備
える蒸着装置において、温度検出器を内部容器の
側壁の内面より突出する支持体に検出部より離れ
た位置で支持することにより上記の目的を達成す
る。
と外部容器および内部容器の間に配置された加熱
体とを有する蒸発源、融解した蒸発材料に所定の
深さまで浸漬される先端検出部を有する温度検出
器ならびにその温度検出器の出力信号により加熱
体の熱出力の制御および遮断を行う制御装置を備
える蒸着装置において、温度検出器を内部容器の
側壁の内面より突出する支持体に検出部より離れ
た位置で支持することにより上記の目的を達成す
る。
第２図は本考案の実施例の蒸発源および制御装
置を示し、第１図と共通の部分には同一の符号が
付されている。この場合は熱電対のような温度検
出器７がその先端でなく、途中の個所で金属製の
内部容器２の支持体として側壁に立てられたねじ
９の先端に溶接あるいは機械的な方法で固着され
ている。もちろん、温度検出器７の出力信号を制
装置８へ入力するために必要な絶縁が配慮されな
ければならない。制御装置８は検出温度に応じて
加熱体３の熱出力を制御して蒸発材料１の温度を
一定に保つと共に、材料１の量が減少してその液
面が温度検出器７の先端の検出部７１より下降し
た時の温度変化を検知して加熱体の熱出力を遮断
する。この蒸発源を用いて蒸着すれば、融解残渣
物が検出部７１に蓄積することがないのでより正
確な温度変化が検知できる。従つて高精度の蒸発
量制御が得られると共に、検出器７は材料１以外
と接触していないのでより正確に温度を検出で
き、より高精度の温度制御が得られる。なお蒸着
膜厚を変化させるために蒸発量を変化させる必要
がある場合には、検出器７と支持体９を可動結合
にすればよい。
置を示し、第１図と共通の部分には同一の符号が
付されている。この場合は熱電対のような温度検
出器７がその先端でなく、途中の個所で金属製の
内部容器２の支持体として側壁に立てられたねじ
９の先端に溶接あるいは機械的な方法で固着され
ている。もちろん、温度検出器７の出力信号を制
装置８へ入力するために必要な絶縁が配慮されな
ければならない。制御装置８は検出温度に応じて
加熱体３の熱出力を制御して蒸発材料１の温度を
一定に保つと共に、材料１の量が減少してその液
面が温度検出器７の先端の検出部７１より下降し
た時の温度変化を検知して加熱体の熱出力を遮断
する。この蒸発源を用いて蒸着すれば、融解残渣
物が検出部７１に蓄積することがないのでより正
確な温度変化が検知できる。従つて高精度の蒸発
量制御が得られると共に、検出器７は材料１以外
と接触していないのでより正確に温度を検出で
き、より高精度の温度制御が得られる。なお蒸着
膜厚を変化させるために蒸発量を変化させる必要
がある場合には、検出器７と支持体９を可動結合
にすればよい。
本考案は、電子写真感光体製造の際の蒸発材料
の温度と蒸発量の制御をするための温度検出器を
先端の検出部より離れた位置において内部容器の
側壁に立てた支持体により支持するもので、これ
に検出部が自由にされているため正確な温度ある
いは蒸発材料の液面の変化を正確に検出できるの
で蒸発材料の温度および蒸発量の高精度の制御が
可能になる。本考案に基づく蒸着装着を用いて、
例えば15％のテルルを含むセレン・テルル合金
1000ｇを内部容器に充てんし、加熱体温度320℃
で蒸発させる蒸着を20回行つたところ、感光体の
セレン・テルル合金膜は目標の厚さ70μｍに対し
±2μｍの範囲で制御されることが確認された。
もちろんセレン・テルル合金以外の蒸発材料に対
しても有効に使用できる。
の温度と蒸発量の制御をするための温度検出器を
先端の検出部より離れた位置において内部容器の
側壁に立てた支持体により支持するもので、これ
に検出部が自由にされているため正確な温度ある
いは蒸発材料の液面の変化を正確に検出できるの
で蒸発材料の温度および蒸発量の高精度の制御が
可能になる。本考案に基づく蒸着装着を用いて、
例えば15％のテルルを含むセレン・テルル合金
1000ｇを内部容器に充てんし、加熱体温度320℃
で蒸発させる蒸着を20回行つたところ、感光体の
セレン・テルル合金膜は目標の厚さ70μｍに対し
±2μｍの範囲で制御されることが確認された。
もちろんセレン・テルル合金以外の蒸発材料に対
しても有効に使用できる。
第１図は従来の蒸発源の断面図、第２図は本考
案の一実施例の蒸発源の断面図である。 １：蒸発材料、２：内部容器、３：加熱体、
５：外部容器、７：温度検出器、７１：検出部、
８：制御装置。
案の一実施例の蒸発源の断面図である。 １：蒸発材料、２：内部容器、３：加熱体、
５：外部容器、７：温度検出器、７１：検出部、
８：制御装置。
Claims (1)
- 外部容器と蒸発材料を入れる内部容器と外部容
器および内部容器の間に配置された加熱体とを有
する蒸発源、融解した蒸発材料に所定の深さまで
浸漬される先端に検出部を有する温度検出器なら
びに該温度検出器の出力信号により加熱体の熱出
力の制御および遮断を行う制御装置を備えるもの
において、温度検出器が内部容器の側壁の内面よ
り突出する支持体に検出部より離れた位置で支持
されたことを特徴とする電子写真感光体用蒸着装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8645683U JPS59192153U (ja) | 1983-06-07 | 1983-06-07 | 電子写真感光体用蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8645683U JPS59192153U (ja) | 1983-06-07 | 1983-06-07 | 電子写真感光体用蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59192153U JPS59192153U (ja) | 1984-12-20 |
| JPH0243865Y2 true JPH0243865Y2 (ja) | 1990-11-21 |
Family
ID=30216386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8645683U Granted JPS59192153U (ja) | 1983-06-07 | 1983-06-07 | 電子写真感光体用蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59192153U (ja) |
-
1983
- 1983-06-07 JP JP8645683U patent/JPS59192153U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59192153U (ja) | 1984-12-20 |
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