JPS6237233Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6237233Y2 JPS6237233Y2 JP5714280U JP5714280U JPS6237233Y2 JP S6237233 Y2 JPS6237233 Y2 JP S6237233Y2 JP 5714280 U JP5714280 U JP 5714280U JP 5714280 U JP5714280 U JP 5714280U JP S6237233 Y2 JPS6237233 Y2 JP S6237233Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- selenium
- container
- tellurium
- alloy
- evaporation source
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- Expired
Links
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Landscapes
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はセレン合金からなる感光層を有する電
子写真用感光体の製造に用いる蒸発源容器に関す
る。
子写真用感光体の製造に用いる蒸発源容器に関す
る。
セレンを主成分とする感光層は、従来第１図に
図示するような蒸発源容器を用いて製造された。
すなわちアルミニウム製ボート状容器１に満たさ
れた溶融セレン２は、アルミニウム管３内に挿入
されたステンレス鋼シース熱電対４により温度を
検出して温度制御される。第２図は容器内のセレ
ンの温度分布を示し、Ａ，Ｂ，Ｃはそれぞれ第１
図に記入した各位置の温度である。このように溶
融セレンに温度差が生ずるので、感光層の感度を
上げるためセレンに他の元素を添加したセレン合
金を蒸着するときには、容器内の位置によつて添
加元素の濃度が異なる。第３図は18％のテルルを
添加したセレン・テルル合金を容器内に装入した
時のテルル濃度を示す。このような条件下で蒸着
された感光層においては、第４図の曲線のよう
に、感光体基体との界面から感光層表面に進むに
つれてテルル濃度が増加する。感光層の蒸着にお
いて、蒸発源容器中にセレン合金が若干残存する
時点で蒸発を停止するものとすると、蒸発停止の
時期により表面層のテルル濃度にばらつきを生ず
る。しかるに感光体の感度はセレン−テルル合金
感光層の表面近傍、すなわちキヤリア発生層にお
けるテルル濃度に大きく依存しているので、これ
によつて感光体の感度にばらつきを生ずる。
図示するような蒸発源容器を用いて製造された。
すなわちアルミニウム製ボート状容器１に満たさ
れた溶融セレン２は、アルミニウム管３内に挿入
されたステンレス鋼シース熱電対４により温度を
検出して温度制御される。第２図は容器内のセレ
ンの温度分布を示し、Ａ，Ｂ，Ｃはそれぞれ第１
図に記入した各位置の温度である。このように溶
融セレンに温度差が生ずるので、感光層の感度を
上げるためセレンに他の元素を添加したセレン合
金を蒸着するときには、容器内の位置によつて添
加元素の濃度が異なる。第３図は18％のテルルを
添加したセレン・テルル合金を容器内に装入した
時のテルル濃度を示す。このような条件下で蒸着
された感光層においては、第４図の曲線のよう
に、感光体基体との界面から感光層表面に進むに
つれてテルル濃度が増加する。感光層の蒸着にお
いて、蒸発源容器中にセレン合金が若干残存する
時点で蒸発を停止するものとすると、蒸発停止の
時期により表面層のテルル濃度にばらつきを生ず
る。しかるに感光体の感度はセレン−テルル合金
感光層の表面近傍、すなわちキヤリア発生層にお
けるテルル濃度に大きく依存しているので、これ
によつて感光体の感度にばらつきを生ずる。
本考案はセレン合金感光層の蒸着に当たつて、
得られた感光体の感度のばらつきの少ないような
蒸発源容器を提供することを目的とする。
得られた感光体の感度のばらつきの少ないような
蒸発源容器を提供することを目的とする。
この目的は蒸発源容器の内部に回動または移動
可能な撹拌翼を備えることによつて達成される。
可能な撹拌翼を備えることによつて達成される。
以下図を用いて本考案の実施例について説明す
る。第５図において、ボート状容器１の中にセレ
ン−テルル合金２１が装入されている。その温度
は、熱電対４により検出され図示しないプログラ
ム設定器によりプログラム制御される。ボート容
器１の中央部に撹拌翼５が取り付けられており、
この翼はセレン合金２１が完全に融点に達してか
ら回転して撹拌を行なう。撹拌翼５は、別に設置
された図示しないモーターからの軸６により回転
せしめられる。この撹拌により、容器内の溶融セ
レンの上下方向の温度分布は、第６図に示すよう
に均一になり、合金として18％テルル含有セレン
を用いたときの濃度分布は第７図に示すように均
一になつた。この結果蒸着感光層の厚さ方向のテ
ルル濃度分布も第８図に示すように均一となり、
セレン蒸発の終点に変動があつても、感光層の表
面キヤリヤ発生層のテルル濃度のばらつきが生じ
なくなつた。第９図は製造された感光体の感光特
性の一つ、半減衰露光量の分布を示し、第１０図
に示す第１図の蒸発源を用いて製造された感光体
の半減衰露光量の分布に比してばらつきが著しく
改善されることが認められる。
る。第５図において、ボート状容器１の中にセレ
ン−テルル合金２１が装入されている。その温度
は、熱電対４により検出され図示しないプログラ
ム設定器によりプログラム制御される。ボート容
器１の中央部に撹拌翼５が取り付けられており、
この翼はセレン合金２１が完全に融点に達してか
ら回転して撹拌を行なう。撹拌翼５は、別に設置
された図示しないモーターからの軸６により回転
せしめられる。この撹拌により、容器内の溶融セ
レンの上下方向の温度分布は、第６図に示すよう
に均一になり、合金として18％テルル含有セレン
を用いたときの濃度分布は第７図に示すように均
一になつた。この結果蒸着感光層の厚さ方向のテ
ルル濃度分布も第８図に示すように均一となり、
セレン蒸発の終点に変動があつても、感光層の表
面キヤリヤ発生層のテルル濃度のばらつきが生じ
なくなつた。第９図は製造された感光体の感光特
性の一つ、半減衰露光量の分布を示し、第１０図
に示す第１図の蒸発源を用いて製造された感光体
の半減衰露光量の分布に比してばらつきが著しく
改善されることが認められる。
第１１図ないし第１３図は撹拌翼の異なる実施
例を示す。第１１図は容器１内に平板状の撹拌翼
７が軸８の周りで往復運動するものを示し、第１
２図は平板状の撹拌翼９が上下に平行移動するも
のを示す。第１３図Ａ，Ｂは容器１内にらせん翼
状の撹拌翼１０が水平軸１１の周りを回転するも
のを示す。
例を示す。第１１図は容器１内に平板状の撹拌翼
７が軸８の周りで往復運動するものを示し、第１
２図は平板状の撹拌翼９が上下に平行移動するも
のを示す。第１３図Ａ，Ｂは容器１内にらせん翼
状の撹拌翼１０が水平軸１１の周りを回転するも
のを示す。
上述のように本考案に基づく蒸発源容器は容器
内のセレン合金を撹拌する撹拌翼を備えたもので
あり、これによつて蒸着された感光層の厚さ方向
の濃度分布が均一となり、感度のばらつきの少な
いすぐれた特性の感光体が得られるため、特に高
速複写機用高感度感光体の製造の際に用いること
によつて著しい効果が得られる。セレン合金とし
ては上述のセレン−テルル合金のほか、セレン・
ひ素合金、セレン−ゲルマニウム合金、セレン・
アンチモン合金あるいは三元以上のセレン合金も
しくは混合物に対しても有効に適用できる。
内のセレン合金を撹拌する撹拌翼を備えたもので
あり、これによつて蒸着された感光層の厚さ方向
の濃度分布が均一となり、感度のばらつきの少な
いすぐれた特性の感光体が得られるため、特に高
速複写機用高感度感光体の製造の際に用いること
によつて著しい効果が得られる。セレン合金とし
ては上述のセレン−テルル合金のほか、セレン・
ひ素合金、セレン−ゲルマニウム合金、セレン・
アンチモン合金あるいは三元以上のセレン合金も
しくは混合物に対しても有効に適用できる。
第１図はセレン蒸発源容器の従来例の断面図、
第２図は第１図の容器内の温度分布線図、第３図
は第１図の容器により18％テルル含有セレン合金
を融解したときの容器内のテルル濃度分布線図、
第４図は第１図の容器を用いて18％テルル−セレ
ン合金を蒸着したときの蒸着層のテルル濃度分布
線図、第５図は本考案に基づくセレン合金蒸発源
容器の一実施例の断面図、第６図は第５図の容器
内の温度分布線図、第７図は第５図の容器により
18％テルル−セレン合金を融解したときの容器内
のテルル濃度分布線図、第８図は第５図の容器を
用いて18％テルル−セレン合金を蒸着したときの
蒸着層のテルル濃度分布線図、第９図は第５図の
容器を用いて18％テルル−セレン合金を蒸着して
製造した感光体の半減衰露光量の分布線図、第１
０図は第１図の容器を用いて同じ合金を蒸着して
製造した感光体の半減衰露光量の分布線図、第１
１図および第１２図はそれぞれ本考案に基づく蒸
発源容器の異なる実施例の断面図、第１３図Ａ，
Ｂ図はさらに別の実施例の断面図および側断面図
である。 １：蒸発源容器、５，７，９，１０：撹拌翼。
第２図は第１図の容器内の温度分布線図、第３図
は第１図の容器により18％テルル含有セレン合金
を融解したときの容器内のテルル濃度分布線図、
第４図は第１図の容器を用いて18％テルル−セレ
ン合金を蒸着したときの蒸着層のテルル濃度分布
線図、第５図は本考案に基づくセレン合金蒸発源
容器の一実施例の断面図、第６図は第５図の容器
内の温度分布線図、第７図は第５図の容器により
18％テルル−セレン合金を融解したときの容器内
のテルル濃度分布線図、第８図は第５図の容器を
用いて18％テルル−セレン合金を蒸着したときの
蒸着層のテルル濃度分布線図、第９図は第５図の
容器を用いて18％テルル−セレン合金を蒸着して
製造した感光体の半減衰露光量の分布線図、第１
０図は第１図の容器を用いて同じ合金を蒸着して
製造した感光体の半減衰露光量の分布線図、第１
１図および第１２図はそれぞれ本考案に基づく蒸
発源容器の異なる実施例の断面図、第１３図Ａ，
Ｂ図はさらに別の実施例の断面図および側断面図
である。 １：蒸発源容器、５，７，９，１０：撹拌翼。
Claims (1)
- セレン合金を装入して融解し蒸発させるものに
おいて、内部に回動または移動可能な撹拌翼を備
えたことを特徴とする電子写真用感光体蒸着に用
いる蒸発源容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5714280U JPS6237233Y2 (ja) | 1980-04-25 | 1980-04-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5714280U JPS6237233Y2 (ja) | 1980-04-25 | 1980-04-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56159339U JPS56159339U (ja) | 1981-11-27 |
| JPS6237233Y2 true JPS6237233Y2 (ja) | 1987-09-22 |
Family
ID=29651649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5714280U Expired JPS6237233Y2 (ja) | 1980-04-25 | 1980-04-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6237233Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9487893B2 (en) | 2009-03-31 | 2016-11-08 | 3M Innovative Properties Company | Dimensionally stable nonwoven fibrous webs and methods of making and using the same |
-
1980
- 1980-04-25 JP JP5714280U patent/JPS6237233Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56159339U (ja) | 1981-11-27 |
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