JPH0243938B2 - Gasuketsutozairyo - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、ガスケツト材料、特に真空装置に
使用することができるガスケツト材料に関するも
のである。

（従来の技術） 従来、真空装置、特に超高真空装置に使用する
ガスケツト材料としては銅等の金属製のものが使
用されている。

この使用方法の一例を第２図に基いて説明する
と、真空槽１の開口端縁に溶接されたフランジ２
には環状溝３ａを形成し、更に環状溝３ａ内には
該環状溝３ａに沿つて環状突起４ａを形成する。

一方真空槽１内部を気密に保つための蓋５には
上記環状溝３ａに整合する環状溝３ｂを形成し、
更に環状溝３ｂ内には該環状溝３ｂに沿つて環状
突起４ｂを形成する。

銅製の環状ガスケツト６を上記環状溝３ａ，３
ｂ内に嵌入するようにして真空槽１の開口端縁に
形成されたフランジ２に蓋５を被せ、更にフラン
ジ２及び蓋５には環状溝３ａ，３ｂの外周に一定
間隔を置いてボルト７，…を植設し、該ボルト
７，…に設けられたナツト８，…を締め付けるこ
とによつて環状溝３ａ，３ｂ内のガスケツト６を
突起４ａ，４ｂに食い込ませて蓋５をフランジ２
に気密に保持させる。

（発明が解決しようとする問題点） しかし、上記した構造ではガスケツト６として
銅等の固体金属を使用するため、ボルト７，…及
びナツト８，…をスパナ等で強く締め付ける必要
があり、したがつて時間的、肉体的に多大な負担
が掛るという欠点があり、しかも一度使用した高
価なガスケツトは再使用ができないため、コスト
高になる。

この発明の目的は簡単且つ容易に気密性を維持
でき、したがつて締め付け等に要する負担等を軽
減できるガスケツト材料を提供することにある。

この発明の他の目的は再使用可能で、したがつ
て経済性の高いガスケツト材料を提供することに
ある。

（問題点を解決するための手段） 以上の問題点を解決するため、この発明では室
温で液体状態となる金属中に、該金属に溶解しな
い微小粉末を混合したダイラタンシー的性状の組
成からなるガスケツト材料を提案するものであ
る。

ここで、室温で液体状態となる金属としてはIn
−Ga合金、Hg等を挙げることができ、また上記
金属に溶解しない微小粉末としてはAl₂O₃等の微
小粉末を挙げることができる。

また、ダイラタンシー的性状の組成を得るため
には、上述の液体状態の金属、例えばIn−Ga合
金に対して上述の微小粉末、例えばAl₂O₃粉末を
体積比30〜80％の範囲で混入することが必要であ
る。

なお、液体状態の金属中に混入する微小粉末と
してはAl₂O₃粉末に限定されず、金属中に溶解し
ない粉末であれば何れを使用してもよい。

（作用） 以上の組成は通常流体であるが、ストレスが加
わると粘度が高くなる性質、即ちダイラタンシー
的性質を有している。

したがつて例えば真空装置の開口端縁に形成し
たフランジと蓋との間に上述の組成を介在させて
ストレスを加わえることよりフランジと蓋との間
は気密に保たれる。

（実施例） 以下、この発明を図示の実施例に基いて説明す
ると、真空槽１の開口端縁に溶接されたフランジ
２には環状溝３ａを形成し、一方真空槽１内部を
気密に保つための蓋５には上記環状溝３ａに整合
する環状溝３ｂを形成する。

一方、In−Gaの液体状態の金属中に粒径0.3〜
1μmのAl₂O₃微粉末を体積比50％混入し、充分に
脱泡してダイラタンシー的性状を有するガスケツ
ト材料９を調整し、該ガスケツト材料９は環状溝
３ａと３ｂに溢れる程度に充填してフランジ２と
蓋５とを重ね合せ、次に環状溝３ａ，３ｂの外周
に適宜間隔で形成された孔７ａ，…にボルト７，
…を装着し、更にボルト７，…に蝶ナツト８を螺
着してフランジ２と蓋５とを締め付ける。

これにより環状溝３ａ，３ｂ内に収容されたガ
スケツト材料９はフランジ２と蓋５を両面より圧
力が加えられて粘度が上昇し、したがつてフラン
ジ２と蓋５の間は気密に保持される。

また、フランジ２と蓋５の間に多少の隙間があ
る場合には液状のガスケツト材料が真空槽１内に
流入することも考えられるが、このような場合こ
の発明のガスケツト材料は大気圧を受けて粘度が
向上するため、真空槽１内に流入することがな
い。

したがつて、この発明ではフランジ２と蓋５と
を強い力で押圧する必要なく、蝶ナツト８，…を
手の力で締め付ける程度で十分であり、従来第２
図に示すような真空装置においてはスパナ等を使
用して強力に締め付けたのに比べて格段に能率を
向上させることができる。

また、この発明のガスケツト材料はダイラタン
シー的性状を有し、フランジ２と蓋５との押圧を
解除した後、元の流動性を取り戻すため再度使用
することができる。

なお、この実施例ではフランジ２及び蓋５との
両方に環状溝３ａ及び３ｂを形成する例について
述べたが、環状溝を片方の部材にのみ形成するよ
うにしてもよく、またフランジ２と蓋５との押圧
をボルト７及び蝶ナツト８を使用して行なつてい
たが、一般に使用されている締め金具等を使用し
て両部材を押圧してもよく、この場合はボルト及
びボルトを挿通するための孔をフランジ及び蓋等
に形成する必要はない。

なお、この発明のガスケツト材料ではフランジ
２に環状溝を形成し、適当な押さえ治具を使用す
れば、ガラス板、金属板程度の蓋で真空槽内の気
密性を保障することができる。

（発明の効果） 以上要するに、この発明では例えば真空装置内
の気密性を簡単且つ容易に維持することができ、
したがつて締め付け等に要する労力を大幅に軽減
することができるとともに、再使用が可能である
ため、経済性の高いガスケツト材料を提供するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図Ａはこの発明のガスケツト材料を使用し
た真空装置におけるパツキング部分縦断側面図、
第１図Ｂは同上の真空装置における蓋側の平面
図、第２図は従来のガスケツト材料を使用した真
空装置におけるパツキング部分の縦断面側面図で
ある。 図中、９はガスケツト材料。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 室温で液体状態となる金属中に、該金属に溶
   解しない微小粉末を混合したダイラタンシー的性
   状の組成からなるガスケツト材料。