JPH0254152A - 半導体基板の目視検査装置 - Google Patents
半導体基板の目視検査装置Info
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- JPH0254152A JPH0254152A JP20533288A JP20533288A JPH0254152A JP H0254152 A JPH0254152 A JP H0254152A JP 20533288 A JP20533288 A JP 20533288A JP 20533288 A JP20533288 A JP 20533288A JP H0254152 A JPH0254152 A JP H0254152A
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- JP
- Japan
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- semiconductor substrate
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 30
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims description 7
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8803—Visual inspection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9501—Semiconductor wafers
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体製造工程において使用され、半導体基
板の表面状態を検査する目的で使用される半導体基板の
目視検査装置に関するものである。
板の表面状態を検査する目的で使用される半導体基板の
目視検査装置に関するものである。
従来の検査装置は、半導体基板を支持台に載置し、その
裏面の中央を真空吸着方式により固る。
裏面の中央を真空吸着方式により固る。
上記の検査装置では、ビンセットを使用し、半導体基板
を支持台に載置するので、基板にキズ、ゴミ等の汚れが
付着しやすい、また、真空吸着方式であるため、基板の
裏面を検査しようとしても、−旦真空吸着を停止してか
ら、基板を反転しなければならず、厄介であった。
を支持台に載置するので、基板にキズ、ゴミ等の汚れが
付着しやすい、また、真空吸着方式であるため、基板の
裏面を検査しようとしても、−旦真空吸着を停止してか
ら、基板を反転しなければならず、厄介であった。
本発明の目的は、上記の欠点を除去し、人手によらず検
査位置に半導体基板を移動し、かつその裏面の検査も可
能とする目視検査装置を提供することにある。
査位置に半導体基板を移動し、かつその裏面の検査も可
能とする目視検査装置を提供することにある。
本発明の目視検査装置は、対向する対の案内レールに沿
って互いに連動して移動する対の搬送体と、前記各搬送
体よりレール内側に突出し、先端部で半導体基板を保持
し、保持した状態で基端部を搬送体内で軸回動しうる対
の基板保持体とを有するものである。
って互いに連動して移動する対の搬送体と、前記各搬送
体よりレール内側に突出し、先端部で半導体基板を保持
し、保持した状態で基端部を搬送体内で軸回動しうる対
の基板保持体とを有するものである。
本発明では、案内レール上を移動する対の搬送体のそれ
ぞれの基板保持体の先端部で、半導体基板を保持し、目
視検査位置に移動させる。
ぞれの基板保持体の先端部で、半導体基板を保持し、目
視検査位置に移動させる。
この位置で、表面を観測してから、基板保持体を１８０
０回動させると半導体基板は反転して、その裏面を観測
できる。
０回動させると半導体基板は反転して、その裏面を観測
できる。
以下、図面を参照して、本発明の一実施例につき説明す
る。第１図は本発明の一実施例の平面図である。基板収
納箱３ａより搬送ベルト２により基板受渡し部４ａに送
り出された半導体基板１は、対の案内レール７．７に沿
って、連動して移動する対の搬送体８，８から突出しす
る基板保持体９．９で、基板の対向する端部を支持され
る。次に搬送体８．８は検査部５に移動して停止し、半
導体基板１は目視検査される。
る。第１図は本発明の一実施例の平面図である。基板収
納箱３ａより搬送ベルト２により基板受渡し部４ａに送
り出された半導体基板１は、対の案内レール７．７に沿
って、連動して移動する対の搬送体８，８から突出しす
る基板保持体９．９で、基板の対向する端部を支持され
る。次に搬送体８．８は検査部５に移動して停止し、半
導体基板１は目視検査される。
基板保持体９，９は搬送体８．８内において、軸を中心
に回動自在となっていて、第２図に示すように、その１
つはモータ６によって回動される。半導体基板１の裏面
を検査するときには、モータ６を動作させると、基板保
持体９．９は半導体基板ｌの対向する端部を保持してい
るので、連動動作により半導体基板１を１８０’回動し
裏面が目視検査の対象になる。
に回動自在となっていて、第２図に示すように、その１
つはモータ６によって回動される。半導体基板１の裏面
を検査するときには、モータ６を動作させると、基板保
持体９．９は半導体基板ｌの対向する端部を保持してい
るので、連動動作により半導体基板１を１８０’回動し
裏面が目視検査の対象になる。
目視検査後は、基板受渡し部４ｂに、搬送体８．８を移
動し、基板収納箱３ｂに半導体基板１は収納される。
動し、基板収納箱３ｂに半導体基板１は収納される。
半導体基板ｌの基板保持体９．９による保持は、その先
端部で挾持するようにしてもよいし、裏面から吸着する
方法でもよい。
端部で挾持するようにしてもよいし、裏面から吸着する
方法でもよい。
以上説明したように、本発明では半導体基板の目視検査
を行なうのに、人手によらず、検査場所に半導体基板を
移動するとともに、１８０’回転させて裏面検査をする
ことができる。これによって、従来のように載置台上に
、ビンセットで半導体基板を把持してのせ、次番こ真空
吸着して固定するという、繁雑な工程を省き、ざらにキ
ズ、ゴミ等の汚れの付着を少なくすることができる。
を行なうのに、人手によらず、検査場所に半導体基板を
移動するとともに、１８０’回転させて裏面検査をする
ことができる。これによって、従来のように載置台上に
、ビンセットで半導体基板を把持してのせ、次番こ真空
吸着して固定するという、繁雑な工程を省き、ざらにキ
ズ、ゴミ等の汚れの付着を少なくすることができる。
第１図は本発明の一実施例の平面図、第２図は裏面検査
のための半導体基板の回転動作を示す図である。 １・・・半導体基板、 ２・・・搬送ベルト、３ａ
、３ｂ・・・基板収納箱 ５・・・検査部、 ６・・・モータ、７．７・・
・案内レール、 ８．８・・・搬送体、 ９，９・・・基板保持体。 第１図 ７．７ｔ−内レール ８．８國り体
のための半導体基板の回転動作を示す図である。 １・・・半導体基板、 ２・・・搬送ベルト、３ａ
、３ｂ・・・基板収納箱 ５・・・検査部、 ６・・・モータ、７．７・・
・案内レール、 ８．８・・・搬送体、 ９，９・・・基板保持体。 第１図 ７．７ｔ−内レール ８．８國り体
Claims (1)
- 半導体基板の表面状態を目視検査する装置において、対
向する対の案内レールに沿って互いに連動して移動する
対の搬送体と、前記各搬送体よりレール内側に突出し、
先端部で半導体基板を保持し、保持した状態で基端部を
、搬送体内で軸回動しうる対の基板保持体とを有するこ
とを特徴とする目視検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20533288A JPH0254152A (ja) | 1988-08-17 | 1988-08-17 | 半導体基板の目視検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20533288A JPH0254152A (ja) | 1988-08-17 | 1988-08-17 | 半導体基板の目視検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0254152A true JPH0254152A (ja) | 1990-02-23 |
Family
ID=16505169
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20533288A Pending JPH0254152A (ja) | 1988-08-17 | 1988-08-17 | 半導体基板の目視検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0254152A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04315948A (ja) * | 1991-04-16 | 1992-11-06 | Sharp Corp | 外観検査装置 |
| JP2009008666A (ja) * | 2007-05-28 | 2009-01-15 | Hitachi High-Technologies Corp | ディスク反転搬送機構およびこれを利用したディスク検査装置 |
-
1988
- 1988-08-17 JP JP20533288A patent/JPH0254152A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04315948A (ja) * | 1991-04-16 | 1992-11-06 | Sharp Corp | 外観検査装置 |
| JP2009008666A (ja) * | 2007-05-28 | 2009-01-15 | Hitachi High-Technologies Corp | ディスク反転搬送機構およびこれを利用したディスク検査装置 |
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