JPH0781954B2 - 半導体ウェーハ外観検査装置 - Google Patents
半導体ウェーハ外観検査装置Info
- Publication number
- JPH0781954B2 JPH0781954B2 JP7539089A JP7539089A JPH0781954B2 JP H0781954 B2 JPH0781954 B2 JP H0781954B2 JP 7539089 A JP7539089 A JP 7539089A JP 7539089 A JP7539089 A JP 7539089A JP H0781954 B2 JPH0781954 B2 JP H0781954B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- visual inspection
- blade
- storage box
- semiconductor wafer
- Prior art date
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体ウェーハ（以下ウェーハと言う）の表面
を目視で検査する半導体ウェーハ外観検査装置に関す
る。
を目視で検査する半導体ウェーハ外観検査装置に関す
る。
通常、この種の外観検査は、ウェーハの表面に不純物を
拡散したり、あるいは、酸化膜を形成したりした後に、
その表面状態を検査するために行なわれるものである。
拡散したり、あるいは、酸化膜を形成したりした後に、
その表面状態を検査するために行なわれるものである。
従来、この種の検査には、特に専用の検査装置がなく、
ピンセットでウェーハを掴みウェーハ収納箱より取り出
し、ピンセットで保持しながら目視で検査していた。
ピンセットでウェーハを掴みウェーハ収納箱より取り出
し、ピンセットで保持しながら目視で検査していた。
しかしながら、上述した手作業による外観検査は、ウェ
ーハの表面に傷を付けたり、ごみを付着させたりする欠
点がある。また、最近は、ウェーハの大きさがますます
大きくなり、その直径が250mmという大きさになり、ピ
ンセットで取り扱うのには重すぎるという問題がある。
無理に取り扱うと、ウェーハを落し割れたり、欠けたり
する恐れがある。
ーハの表面に傷を付けたり、ごみを付着させたりする欠
点がある。また、最近は、ウェーハの大きさがますます
大きくなり、その直径が250mmという大きさになり、ピ
ンセットで取り扱うのには重すぎるという問題がある。
無理に取り扱うと、ウェーハを落し割れたり、欠けたり
する恐れがある。
本発明の目的は、ウェーハに傷、割れ及びごみの付着す
ることのないウェーハ外観検査装置を提供するこにあ
る。
ることのないウェーハ外観検査装置を提供するこにあ
る。
本発明のウェーハ外観検査装置は、一方向に半導体ウェ
ーハが出入りし収納する多数の棚を有するウェーハ収納
箱と、このウェーハ収納箱を乗せる面に穴をもつととも
に前記半導体ウェーハ面に直交する方向に移動し得るテ
ーブルと、このテーブルの前記穴を通り前記一方向に伸
縮することにより前記半導体ウェーハを前記ウェーハ収
納箱より出し入れするブレードと、このブレードを回転
もしくは首振り運動及び前記一方向に伸縮させる駆動機
構部とを備え構成される。
ーハが出入りし収納する多数の棚を有するウェーハ収納
箱と、このウェーハ収納箱を乗せる面に穴をもつととも
に前記半導体ウェーハ面に直交する方向に移動し得るテ
ーブルと、このテーブルの前記穴を通り前記一方向に伸
縮することにより前記半導体ウェーハを前記ウェーハ収
納箱より出し入れするブレードと、このブレードを回転
もしくは首振り運動及び前記一方向に伸縮させる駆動機
構部とを備え構成される。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すウェーハ外観検査装置
の斜視図、第２図は第１図のブレード駆動部の側面図で
ある。このウェーハ外観検査装置は、一方向にウェーハ
１が出入りし収納する多数の棚を有するウェーハ収納箱
４と、このウェーハ収納箱４を乗せる面に穴15をもつと
ともに矢印９に移動し得るテーブル14と、このテーブル
14の穴15を通り矢印10の方向に伸縮することによりウェ
ーハ１をウェーハ収納箱４より出し入れするブレード２
と、このブレード２を矢印３の方向に回転もしくは首振
り運動及び矢印10の方向に伸縮させるモータ７及び８か
らなる駆動機構部とで構成されている。
の斜視図、第２図は第１図のブレード駆動部の側面図で
ある。このウェーハ外観検査装置は、一方向にウェーハ
１が出入りし収納する多数の棚を有するウェーハ収納箱
４と、このウェーハ収納箱４を乗せる面に穴15をもつと
ともに矢印９に移動し得るテーブル14と、このテーブル
14の穴15を通り矢印10の方向に伸縮することによりウェ
ーハ１をウェーハ収納箱４より出し入れするブレード２
と、このブレード２を矢印３の方向に回転もしくは首振
り運動及び矢印10の方向に伸縮させるモータ７及び８か
らなる駆動機構部とで構成されている。
次に、このウェーハ外観検査装置の動作を説明する。ま
ず、ウェーハ１を多数枚収納したウェーハ収納箱４をテ
ーブル14に乗せる。このとき、ウェーハ収納箱４の位置
とテーブル14の穴15の位置を合せる。次に、モータ11が
回転し、送りねじ６によりテーブル14が矢印９の方向に
移動し、所定の位置（ブレード２がテーブル14の穴15の
下に位置する）に停止する。次に、モータ８により矢印
10の方向に、ラム16の上昇に伴いブレード２が原位置よ
り上昇し、ウェーハ１の一枚をブレード２の先端で挟む
ことによって拾いウェーハ収納箱４の上に突き上げる。
ず、ウェーハ１を多数枚収納したウェーハ収納箱４をテ
ーブル14に乗せる。このとき、ウェーハ収納箱４の位置
とテーブル14の穴15の位置を合せる。次に、モータ11が
回転し、送りねじ６によりテーブル14が矢印９の方向に
移動し、所定の位置（ブレード２がテーブル14の穴15の
下に位置する）に停止する。次に、モータ８により矢印
10の方向に、ラム16の上昇に伴いブレード２が原位置よ
り上昇し、ウェーハ１の一枚をブレード２の先端で挟む
ことによって拾いウェーハ収納箱４の上に突き上げる。
ウェーハ１が突き上げられた後、モータ７を回転し、ブ
レード２をゆっくりと矢印３の方向に回転もしくは首振
りをさせ、ウェーハ１が常に目５で直視出来るようにし
て検査する。ここで、センサ12はブレード２の回転ある
いは首振り運動を制御するもので、ベルト13はモータ７
の回転をブレード２に伝達する伝達機構である。
レード２をゆっくりと矢印３の方向に回転もしくは首振
りをさせ、ウェーハ１が常に目５で直視出来るようにし
て検査する。ここで、センサ12はブレード２の回転ある
いは首振り運動を制御するもので、ベルト13はモータ７
の回転をブレード２に伝達する伝達機構である。
次に、目視検査が終ったら、ウェーハ１の回転もしくは
首振り運動を停止し、ウェーハ１の両面がウェーハ収納
箱４の棚に平行になるようにしてラム16を下降すること
により、ブレード２を下降し、ウェーハ１をウェーハ収
納箱４の棚に収納する。このことによりブレード２は前
述の原位置に戻る。
首振り運動を停止し、ウェーハ１の両面がウェーハ収納
箱４の棚に平行になるようにしてラム16を下降すること
により、ブレード２を下降し、ウェーハ１をウェーハ収
納箱４の棚に収納する。このことによりブレード２は前
述の原位置に戻る。
このように、順次、ウェーハ収納箱４に収納されたウェ
ーハを手に触れることなく、自動的に外観検査を終了す
ることが出来る。従って、このウェーハ外観検査装置
は、他の自動化ラインと結合して所謂カセット・ツー・
カセットのオンラインに適用出来るという利点がある。
ーハを手に触れることなく、自動的に外観検査を終了す
ることが出来る。従って、このウェーハ外観検査装置
は、他の自動化ラインと結合して所謂カセット・ツー・
カセットのオンラインに適用出来るという利点がある。
以上説明したように本発明は、直接ウェーハをピンセッ
トで掴んで外観検査を行なうことがなくなったため、ウ
ェーハに傷、割れ及びごみの付着することのないウェー
ハ外観検査装置が得られるという効果がある。
トで掴んで外観検査を行なうことがなくなったため、ウ
ェーハに傷、割れ及びごみの付着することのないウェー
ハ外観検査装置が得られるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示すウェーハ外観検査装置
の斜視図、第２図は第１図のブレード駆動部の側面図で
ある。 １……ウェーハ、２……ブレード、３、９、10……矢
印、４……ウェーハ収納箱、５……目、６……送りね
じ、７、８、11……モータ、12……センサ、13……ベル
ト、14……テーブル、15……穴、16……ラム。
の斜視図、第２図は第１図のブレード駆動部の側面図で
ある。 １……ウェーハ、２……ブレード、３、９、10……矢
印、４……ウェーハ収納箱、５……目、６……送りね
じ、７、８、11……モータ、12……センサ、13……ベル
ト、14……テーブル、15……穴、16……ラム。
Claims (1)
- 【請求項１】一方向に半導体ウェーハが出入りし収納す
る多数の棚を有するウェーハ収納箱と、このウェーハ収
納箱を乗せる面に穴をもつとともに前記半導体ウェーハ
面に直交する方向に移動し得るテーブルと、このテーブ
ルの前記穴を通り前記一方向に伸縮することにより前記
半導体ウェーハを前記ウェーハ収納箱より出し入れする
ブレードと、このブレードを回転もしくは首振り運動及
び前記一方向に伸縮させる駆動機構部とを備えることを
特徴とする半導体ウェーハ外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7539089A JPH0781954B2 (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | 半導体ウェーハ外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7539089A JPH0781954B2 (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | 半導体ウェーハ外観検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02253140A JPH02253140A (ja) | 1990-10-11 |
| JPH0781954B2 true JPH0781954B2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=13574815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7539089A Expired - Fee Related JPH0781954B2 (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | 半導体ウェーハ外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0781954B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4769105B2 (ja) * | 2006-03-24 | 2011-09-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | ディスクの表面欠陥検査方法および検査装置 |
| CN110562740B (zh) * | 2019-10-10 | 2024-06-25 | 苏州铁近机电科技股份有限公司 | 轴承防尘盖上料装置 |
| CN112570306B (zh) * | 2020-11-13 | 2025-07-29 | 马达西奇(苏州)智能装备科技有限公司 | 一种晶圆检查与清洁设备 |
-
1989
- 1989-03-27 JP JP7539089A patent/JPH0781954B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02253140A (ja) | 1990-10-11 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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