JPH026050Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案はクリーンルーム内に於て、被搬送物を
垂直方向に搬送させる装置に関するものである。

従来の技術とその問題点 従来垂直搬送装置として電動ダムウエータが実
用化されているが、この方式ではローラガイド、
バランスウエイトガイド、及び垂直搬送路の上部
に設けた巻上装置からの発塵が多く、クリーンル
ーム内に於ては精密電子回路部品等を載置した搬
送台の垂直搬送方法としては適用できない。

一般にクリーンルームは天井に設けたヘバフイ
ルタを経たクリーンエヤを室内に供給する。しか
しこのフイルタ部がかさむので工場の床面積の製
限から建物が高くなり、従つて立体的な搬送を要
する必要が増えつつあり、クリーンルーム内に於
ける簡易で搬送台を常に安定良く搬送できる垂直
搬送装置の実用化が要望されている。

問題点の解決手段 本考案はこれに鑑みてなしたもので、被搬送物
を載置した搬送台を垂直搬送路内に設けたガイド
レールに沿つて垂直方向に移送させる装置であつ
て、前記垂直搬送路内にクリーンエアを流下供給
させるクリーンエア供給装置と、前記垂直搬送路
の略全長に亘り固設したリターンダクトと、この
リターンダクトに設けた排気装置とを備え、前記
搬送台の側面にユニバーサルジヨイントを設け、
前記搬送台をユニバーサルジヨイントを介して搬
送台の側面に配設した昇降ガイドで支持させると
ともに：前記搬送台の上面をワイヤロープで支持
させ、前記昇降ガイドと前記ガイドレールとの間
に圧縮クリーンエアを供給する圧縮クリーンエア
供給装置とを設け、前記昇降ガイドとガイドレー
ルの間にエア膜を形成させるようになすととも
に、前記搬送台の側面下端部にガイド板を設け、
垂直搬送路の内壁側面に水平方向に移動し前記ガ
イド板を押圧する搬送台揺動防止装置を設けたこ
とを特徴とする。

実施例 以下本考案を図面に示す実施例にもとづいて説
明する。

図に於て１は垂直搬送路を示し、該路の上端は
天井に連結させると共にその下端は開口した床に
固設し、周壁１１で囲んだ搬送路内に被搬送物を
載置した搬送台２を巻取装置４によつて垂直方向
に搬送させる。この搬送台２は台枠で形成された
ケージで、被搬送物の取込取出口ドアが一側面に
設けられている。前記搬送台は台枠の上端に吊金
具２２を設ける。この搬送台２の吊金具２２にそ
の一端を係着したワイヤＷを前記垂直搬送路１の
天井に接する梁に垂設したシーブ３を介して地下
ピツト床面上に設けた巻取装置４に張架し、この
巻取装置４を巻取巻戻しすることによつて搬送台
２を垂直搬送路内を上下させる。前記垂直搬送路
１の一周壁１１の内側には搬送台２の一側面に具
備した昇降ガイド９を保持させるためのガイドレ
ール７を立設する。このガイドレール７は地上床
面上から天井に接する梁に至る高さとし、その断
面形状はパイプ形とすることが望ましい。なおこ
の垂直搬送路の所望箇所には被搬送物の取込口
５、取出口（図示省略）が設けられている。垂直
搬送路１の少くとも一側内周壁１１にはリターン
ダクト６を前記周壁床面から天井に接する梁の間
の略全長に設ける。

このリターンダクト６は一側壁を前記周壁１１
と共用して併設し隔壁を構成させるとともに他側
壁は後述するクリーンエアの流れをよくするため
適宜勾配をつけることもできる。

リターンダクト６の下端には床面下方に排気口
６１が設けられており、地下ピツト内のエアを前
記リターンダクトにより上方へ導き、図示しない
排気フアンにより排気されるようになつている。
天井にはクリーンエアを発生させるクリーンエア
供給装置（図示省略）を設け、これにより供給さ
れたクリーンエアが前記垂直搬送路内を下方に向
つて矢印に示す如く垂直に噴射するようになつて
いる。前記により垂直搬送路１内を流下したクリ
ーンエアがリターンダクト６を経て外部へ排出す
るようにリターンダクトの上方に排気フアンを設
ける。

一方前記搬送台２の台枠の一側壁部でかつ上下
方向にユニバーサルジヨイント８を突設し、その
端部に昇降ガイド９を設け、搬送台２をユニバー
サルジヨイント８を介して昇降ガイド９で支持さ
せるようになし、垂直搬送路内に立設したガイド
レール７を貫通させる。

第４図は昇降ガイド９及びユニバーサルジヨイ
ント８の要部断面図である。

前記昇降ガイド９はスリーブ状に形成されたハ
ウジング９２とインナースリーブ９３とを一体に
なしたもので、前記インナースリーブ９３は若干
の空隙を介して前記ガイドレール７を抱持するよ
うになされている。

又前記ハウジング９２のスリーブ状に形成され
た内側面と前記インナースリーブ９３の外側面は
所定の空隙９５を介して相対向するようになし、
且つ夫々の上下端面は圧着せしめ前記空隙９５を
気密状態となしている。さらに前記インナースリ
ーブ９３には複数個のノズル９４が設けられてい
る。

又搬送台２には、本装置の外部に設けた圧縮ク
リーンエア供給装置（図示省略）に連なるエアホ
ース２４の取入部（図示省略）を具備せしめ、前
記エアホース２４の取入部と前記昇降ガイド９の
空隙９５との間をエアパイプ２３で連結せしめ、
前記圧縮クリーンエア供給装置から供給された圧
縮クリーンエアが、前記空隙９５から前記ノズル
９４を介してガイドレール７に向け噴出せしめる
ことにより前記ガイドレール７とインナースリー
ブ９３との間にエア膜を形成せしめ、無接触状態
で搬送台２の昇降に伴う発塵を防止するようにな
されている。

ユニバーサルジヨイント８は、搬送台２の一側
面に固設した取付板８１と継ぎ板８２及び昇降ガ
イド９に固設した支持板８３とで構成され、夫々
ピン８４及び８５により軸支されている。この
為、搬送台２の昇降にともなう揺動、ワイヤロー
プの伸び及び偏荷重による搬送台２の姿勢の変動
は、ピン８４及び８５を中心として取付板８１、
継ぎ板８２及び支持板８３が回転することにより
ユニバーサルジヨイントとして作用し、吸収され
ることになり常に昇降ガイド９とガイドレール７
の同芯度は保たれエア膜を破壊することのないよ
うになされている。

第６図は垂直搬送路の断面図を示す。第８図は
ストライカ３１とセンサー３２の取付の一実施例
を示す。

搬送台２はガイドレール７に沿つて無接触状態
で昇降し、搬送台２の一側壁部で且つ上下方向に
設けたストライカ３１が垂直搬送路１の一側内壁
に設けた位置決めセンサー３２を通過することに
より停止位置を検知し、搬送台２が昇降を停止す
るようになされている。センサー３１は搬送台の
各停止位置に対して各々一組設けられ、発塵を考
慮して無接触で作動する例えば光電スイツチ等と
してある。

一方、垂直搬送路１の内壁側面には搬送台２の
停止時及び被搬送物の積載、卸下作業中の搬送台
２の揺動を防止するために搬送台揺動装置４１が
設けてある。

揺動防止装置４１は垂直搬送路１の内壁側面に
対向して搬送台２の各停止位置に対して一対設
け、搬送台２のユニバーサルジヨイント８及び昇
降ガイド９を取り付けた側面と直角な２側面を挾
持する位置に設けてある。

センサー３２及びストライカ３１によつて停止
位置を検知すると、揺動防止装置４１が作動する
ようになつており、動作指令は全て地下ピツト床
面上に設けた制御装置３５により処理され動作の
制御がなされる。

第７図は搬送台揺動防止装置を示す。ａは平面
図、ｂは側面図である。

本装置はシリンダー４２とその先端に取り付け
られたローラ４３と２本のガイド軸４４とリニア
ボールベアリング４５とこれらを取り付けるマウ
ントブロツク４６と電磁弁４７より成り、搬送台
２が制御装置３５の指令により停止するとガイド
軸４４にガイドされて１対のシリンダー４２が伸
び、搬送台２の側面下端部に取り付けられたガイ
ド板５１をローラ４３で押圧し、搬送台２を挾持
して揺動を防止するようになつている。挾持する
箇所は被搬送物に塵埃の影響のない搬送台２の下
端部としてある。

電磁弁４７は制御装置３５の指令により動作し
シリンダー４２へ空気を供給、遮断動作を行い、
揺動防止装置４１の伸縮を行うようにしてあるの
で搬送台２の昇降動作中はシリンダー４２が引込
まれた状態とすることにより昇降動作を妨げるこ
とがないように制御されている。

作 用 クリーンエアは垂直搬送路１内を下方に向つて
噴出し、リターンダクト６を経て排気フアンによ
り強制的にクリーンエア供給装置へ戻される。出
入口５まで他の装置又は人で搬送された被搬送物
は搬送台２に移載され、該台は巻取装置４のワイ
ヤ巻取りによつて上昇し、取出口で前記に準じ、
別の装置又は人により取り出される。

而してこの垂直搬送路１にはクリーンエアが垂
直に流下しており、前記取入口と取出口との間の
昇降装置によつて搬送台の昇降ガイド９とガイド
レール７との間は昇降ガイドに設けたノズル９４
から噴出する圧縮クリーンエアはガイドレールの
外周面に噴出され、昇降ガイドとガイドレールと
の間にエア膜を生じ、エアベアリングを形成し、
無接触状態となる更に昇降ガイドはフリージヨイ
ントを介して搬送台を支持しているため搬送台の
揺動及び姿勢の変動によるエア膜の破壊が防止さ
れ搬送台の昇降移動により発生する微塵もなく、
かつ被搬送物周辺は常にクリーン度が保たれ、搬
送台に載置した被搬送物には微塵の付着がなく、
クリーン度を保つたまま搬送させることができ
る。更に搬送台の停止時には揺動防止装置によつ
て搬送台の揺動を無くし、被搬送物の積載、卸下
作業を安定して行うことができる。

尚前記実施例に於て巻取装置によつて搬送台を
昇降させるものとしたが、昇降手段はこれに限ら
ずリフター等によるものであつてもよい。

考案の効果 本考案はクリーンエアを流下させた垂直搬送路
内での発塵を皆無としたので、簡単な構成で被搬
送物の微塵の付着を防止することができ、又搬送
物を常に揺動もなく安定良く搬送できるので、特
にクリーンルーム内に於ける垂直搬送に好適であ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は一実施例の正面図、第２図は第１図の
概要を示す正面図、第３図は異なる位置をみた正
面図、第４図は昇降ガイド及びフリージヨイント
ブラケツトを示し、ａは断面図、ｂは平面図、第
５図は斜視図、第６図は垂直搬送路の断面図、第
７図は揺動防止装置を示し、ａは平面図、ｂは側
面図、第８図はセンサとストライカの取付の一実
施例の説明図である。 １は垂直搬送路、２は搬送台、３はシーブ、４
は巻取装置、５は取込口、６はリターンダクト、
７はガイドレール、８はユニバーサルジヨイン
ト、９は昇降ガイド、Ｗはワイヤー、４１は揺動
防止装置、３２はセンサー、３１はストライカ
ー、３５は制御装置、５１はガイド板、４２はシ
リンダー、４３はローラ、４４はガイド軸、４７
は電磁弁。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 被搬送物を載置した搬送台を垂直搬送路内に設
   けたガイドレールに沿つて垂直方向に移送させる
   装置であつて、前記垂直搬送路内にクリーンエア
   を流下供給させるクリーンエア供給装置と、前記
   垂直搬送路の略全長に亘り固設したリターンダク
   トと、このリターンダクトに設けた排気装置とを
   備え、前記搬送台の側面にユニバーサルジヨイン
   トを設け、前記搬送台をユニバーサルジヨイント
   を介して搬送台の側面に配設した昇降ガイドで支
   持させるとともに、前記搬送台の上面をワイヤロ
   ープで支持させ、前記昇降ガイドと前記ガイドレ
   ールとの間に圧縮クリーンエアを供給する圧縮ク
   リーンエア供給装置とを設け、前記昇降ガイドと
   ガイドレールの間にエア膜を形成させるととも
   に、前記搬送台の側面下端部にガイド板を設け、
   垂直搬送路の内壁側面に水平方向に移動し前記ガ
   イド板を押圧する搬送台揺動防止装置を設けるこ
   とを特徴とするクリーンルーム内における垂直搬
   送装置。