JPH0261820A - 平行磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、固定磁気ディスク装置に搭載され、平行磁
気記録方式で用いられる平行磁気記録媒体に関する。

〔従来の技術〕

近年、情報処理量の増加に伴い、情報処理装置の周辺機
器として清報Ｍ積に用いられる固定磁気ディスク装置（
以下単にＨＤＤとも称する）の記憶界１の増大が要望さ
れている。

ＨＤＤの構成を簡易に述べると、磁気ヘッド。

磁気記録媒体１回路系および駆動系に分けられるが、記
１．α容１を増大させるためには磁気記録媒体の高記録
密度化が重要である。

磁気記録媒体への磁気記録では、記録パターンは残留磁
化状態として書き込まれるが、この残留磁化パターンが
磁気記録媒体の磁性層面内に平行に形成される平行磁気
記録方式と、磁性層面に垂直に形成される垂直磁気記録
方式とがあり、いずれの方式を採るかによって磁気記録
媒体に要望される特性は異なる。

平行磁気記録方式のＨＤＤに搭載される平行磁気記録媒
体（以下、単に媒体とも称する）の記録密度を増大させ
るためには、高密度化につれて太き（なる反磁界に対抗
して残留磁化パターンを形成するために保磁力Ｈｃを高
めることが必要であり、また、良好なパターンを得るた
めに所定値以上の飽和磁束密度も必要である。反磁界を
減らすために磁性層の膜厚を薄くすることも有効である
。

これらの要望に沿うものとして、強磁性金寓１例えばＣ
ｏ−Ｎｉ合金などを用いて、めっき法あるいはスパッタ
法などで薄膜磁性層を形成した薄膜媒体が開発され、市
場に供されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

飽和磁束密度Ｂｓとしては、一般に８０００Ｇａｕｓｓ
〜９０００Ｇａｕｓｓ以上が必要とされている。現在一
般に使用されている薄膜媒体はこのＢｓ値は達成してい
る。一方、保磁力Ｈｃ　は例えばＣｏに２０原子％のＮ
ｉを含有させた合金（Ｃｏ−２，Ｎｉ合金）からなる磁
性層を備えた媒体ではＨＣｌ２０００ｅが上限であり、
また、Ｃ０−２゜Ｎ１合金にＣｒを１０原子％添加した
Ｃｏ　−２ＯＮＩ　　Ｉ。Ｃｒ合金からなる磁性層を備
えた媒体でもＨｃ１３０００ｅが上限となっているのが
現状である。

ところが、例えば第２図はＣｏ　　２ＯＮＩ合金からな
る磁性層を備えた媒体の保磁力Ｈｃ　と記録密度Ｄ　ｓ
　ｏとの関係を示す線図であるが、Ｄ、。はＨｃの増加
につれてほぼ直線的に増大する。この記録密度り、。は
、媒体を周速８．１ｍ／ｓｅｃで回転させ、トラック幅
Ｔｗ２３μｍ、ギャップ長０．８９μｍの磁気ヘッドで
残留磁化Ｂｒｘδを４００　Ｇ　＊μｍ一定としたとき
のものである。第２図の例示のように媒体の高記録密度
化には保磁力Ｈｃを高めることが重要な課題となる。

また、前述のように薄膜媒体は磁性層が強磁性金属薄膜
であるため耐食性が低いという欠点がある。この対策と
して、従来、磁性層の上にカーボン膜などを形成して有
害雰囲気から磁性層を保護しているが充分満足すべき結
果は得られておらず、耐食性の向上が望まれている。

この発明は、上述の点に鑑みてなされたものであって、
保磁力Ｈｃが大きくて高記録密度を達成することができ
、かつ、耐食性の向上した平行磁気記録媒体を提供する
ことを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的は、この発、明によれば、コバルト（Ｃｏ）
−クロム（Ｃｒ）−ジルコニウム（Ｚｒ）合金からなる
磁性層を備えた平行磁気記録媒体によって達成される。

〔作用〕

Ｃｏ−Ｃｒ系合金はＣｏ−Ｎｉ系合金に比べて耐食性が
優れており、媒体の磁性材料としてＣｏ−Ｃｒ系合金を
用いると、従来一般に用いられているＣｏ−Ｎｉ系合金
の場合よりも耐食性は向上し媒体の信頼性は高くなる。

しかしながらＣｏ−Ｃｒ合金を磁性材料とする媒体は保
磁力が小さく高記録密度の媒体とはなり得ない。第３図
はＣｏ−Ｃｒ合金を磁性材料として用いた媒体の磁気特
性を示すもので、Ｃｒ含有量と保磁力Ｈｃ、飽和磁束密
度Ｂｓとの関係を示す線図である。飽和磁束密度Ｂｓ　
はＣｒ含有量の増加につれて直線的に減少するが、Ｃｒ
含有ｌが１４原子％以下であれば一般的に必要とされる
９０００Ｇａｕｓｓ以上を満足する。また、耐食性の面
からはＣｒ含有量５原子％以上が必要であることが知ら
れている。

従って、Ｃｒ含有ｌが５原子％以上１４原子％以下の範
囲にあれば、耐食性に優れ、かつ、飽和磁束密度Ｂｓが
９０００Ｇａｕｓｓ以上の特性を有する媒体が得られる
。一方、保磁力Ｈｃ　はＣｒ含有量２０原子％まではほ
ぼ直線的に増加し、２０原子％で約７５００ｅと最高値
を示し、２０原子％を超えると急激に減少する。

いずれにしても、保磁力Ｈｃ　は従来の媒体の１２００
０ｅ＝１３０００ｅに比べてはるかに小さい値である。

このようなＣｏ−Ｃｒ合金にＺｒを添加すると保磁力Ｈ
ｃを大幅に増大させることができる。第１図は、前述の
耐食性および飽和磁束密度から限定されるＣｒの含有量
の下限および上限の合金であるＣｒ含有量５原子％のＣ
ｏ−Ｃｒ合金（Ｃｏ　　ｓＣｒ合金）およびＣｒ含有１
１４原子％のＣｏ−Ｃｒ合金（（：ｏ　−、、Ｃｒ合金
）にそれぞれＺｒを添加したときのＺｒ添加量と保磁力
Ｈｃ、飽和磁束密度Ｂｓとの関係を示す線図である。

Ｚｒを添加することによりＨｃ　は急激に増大し、各合
金へのＺ「の添加量を１原子％としたＣｏ−、、Ｃｒ−
Ｚｒ合金の場合１１５００ｅ、　Ｃｏ−５Ｃｒ　−＋Ｚ
ｒ合金の場合１２５００ｅに達し、最高では従来Ｈｃの
上限といわれていた１３０００ｅを越えて１４０００ｅ
にまで上昇する。

また、Ｂｓ　はＺ「の添加量の増加につれて漸減し、Ｃ
ｏ−５Ｃｒ合金の場合６原子％Ｃｏ−、４Ｃｒ合金の場
合２原子％でそれぞれ９０００Ｇａｕｓｓとなる。

以上の結果より、Ｃｏ　−Ｃｒ−Ｚｒ合金を磁性材料と
して用いると、耐食性に優れ、高保磁力で記録密度の高
い媒体が得られることになる。合金組成をＣｏ　−ｘｃ
ｒ　−ｙ２ｒ　Ｃｘ　、　　ｙはそれぞれ原子％を示す
〕と表した場合、５原子％≦Ｘ≦１４原子％、１原子％
≦ｙ＜６原子％が好適であり、より好適には１０原子％
≦Ｘ≦１４原子％、２原子％≦ｙ＜４原子％である。

〔実施例〕

表面を鏡面仕上げ加工されたディスク状八１合金基板に
無電解めっき法でＮ１−Ｐ合金層を形成し、このＮ１−
Ｐ合金層表面を研磨して表面粗さをＲａで２０人とし、
さらにテクスチャ加工を施して所要の形状の基板とする
。この基板を超精密洗浄した後、インライン方式のスパ
ッタ成膜装置により基板表面に所要の各層を順次スパッ
タ法で成膜して媒体を作製した。すなわち、まず基板を
ホルダーにセットし、成膜装置の仕込室へ衆人し、５×
１Ｏ−６Ｔｏｒｒまで高真空に排気する。設定した圧力
以下に到達後成膜室へ搬送し、所定温度１例えば１５０
℃の温度にまで加熱し、この温度を維持した状態で低速
圃送しながら、Ｃｒ、　Ｃｏ−ｌ２Ｃｒ−２１ｒ合金、
カーボンの順に圧力１０ｍＴｏｒｒ　のアルゴンガス露
囲気中でスパッタ法により成膜を行う。成膜完了後、取
出し室へ搬送し、大気を導入した後取り出して媒体を得
た。なお平行磁気記録媒体であるので、磁性層の膜厚は
０．０４〜０．１２μｍである。

比較のために、磁性材料をＣｏ　　ｚｏＮ１合金、Ｃ０
−２ＯＮｌ　　、ｏｃｒ合金、　Ｃｏ　　２ＯＮｌ　　
ｔ、ｓｃｒ合金に変え、その他は実施例と同様にして比
較例１，２．３の媒体を作製した。なお、このとき、基
板温度、　Ｃｒ膜厚を調整して実施例、比較例の各媒体
ともＢｒＸδが４００Ｇｘμｍと一定となるようにした
。

これら実施例、比較例の媒体について、保磁力Ｈｃ、飽
和磁束密度Ｂｓ、記録密度り、。を測定した。

その結果を第１表に示す。

第　　１　　表 第１表に見られるとおり、実施例の媒体は保磁力Ｈｃが
１４０００ｅと比較例より高く、従って記録密度Ｄ　ｓ
　ｏが１０４０　Ｆ　Ｐ　Ｐ　Ｍと高く、優れた媒体で
あることが判る。

〔発明の効果コ この発明によれば、媒体の磁性材料としてＣ０Ｃｒ−Ｚ
ｒ合金を用いる。このような材料を用いることにより、
保磁力Ｈｃが大きくて高記録密度を達成することができ
、かつ、耐食性の向上した平行磁気記録媒体を得ること
ができ、記ゴ、α容量が大きく、かつ、信・磁性の向上
した固定磁気ディスク装置を得ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図はＣｏ　−Ｃｒ−Ｚｒ合金からなる磁性層を備え
た媒体において、Ｃｒ含有量をパラメータとしたときの
Ｚｒ含有＋ｉと保磁力Ｈｃ、飽和磁束密度Ｂｓとの関係
を示す線図、第２図はＣｏ　　２ＯＮｌ合金からなる磁
性１を備えた媒体の保磁力Ｈｃと記録密度Ｄ５゜との関
係を示す線図、第３図はＣｏ−Ｃｒ合金からなる磁性１
・３を（１１打えた媒体のＣｒ含有量と保磁力Ｈｃ飽和
磁束密度Ｂｓとの関係を示す線図である。 −Ｃｏ−＝ｓＣｒ−ｘＺ− Ｚ「含有量×（原子２≦） 第１図 保磁力Ｈｃ　（Ｏｅ） 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）コバルト（Ｃｏ）−クロム（Ｃｒ）−ジルコニウム
   （Ｚｒ）合金からなる磁性層を備えたことを特徴とする
   平行磁気記録媒体。