JPH02618B2 - - Google Patents
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- JPH02618B2 JPH02618B2 JP58127607A JP12760783A JPH02618B2 JP H02618 B2 JPH02618 B2 JP H02618B2 JP 58127607 A JP58127607 A JP 58127607A JP 12760783 A JP12760783 A JP 12760783A JP H02618 B2 JPH02618 B2 JP H02618B2
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- JP
- Japan
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- air
- clean
- chamber
- pressure chamber
- space
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Links
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 10
- 238000011045 prefiltration Methods 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
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- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は清浄作業室に係り特に天井部における
汚染空気の清浄作業室内への流入防止に好適な清
浄作業室の構造に関する。
汚染空気の清浄作業室内への流入防止に好適な清
浄作業室の構造に関する。
〔発明の背景〕
従来第２図に示すような清浄作業室に空調空気
を供給する場合、第１図に示す如く天井部の給気
口１３に空調給気ダクト６を接続していたが、清
浄作業室の設置が多くなると空調給気ダクトの設
備費が高額になるという問題点があつた。そのた
めに最近では、第３図ａに示すように清浄作業室
の天井板１を利用し、建屋１５との間を、空調給
気チヤンバ１８として使用することが行われ、こ
れによれば設備費は大巾に安くなるという利点が
ある。
を供給する場合、第１図に示す如く天井部の給気
口１３に空調給気ダクト６を接続していたが、清
浄作業室の設置が多くなると空調給気ダクトの設
備費が高額になるという問題点があつた。そのた
めに最近では、第３図ａに示すように清浄作業室
の天井板１を利用し、建屋１５との間を、空調給
気チヤンバ１８として使用することが行われ、こ
れによれば設備費は大巾に安くなるという利点が
ある。
しかし、天井板１は、素材寸法、板取等の関係
上多数の板を継ぎ合せているため、天井板継目１
４が生じる。この部分はシール材により密閉され
ているが、作業不良、経年変化、地震等により、
シール部にすき間等が生じた場合には、第３図ｂ
に示すように清浄作業室の通路部４ｂへ、汚染空
気がリークしてしまうおそれがある。超LSI等の
製造では0.1μｍ単位の粒子を問題にしており、こ
の様な劣化による性能低下が製品の品質に大きく
影響し、重大な問題となる。
上多数の板を継ぎ合せているため、天井板継目１
４が生じる。この部分はシール材により密閉され
ているが、作業不良、経年変化、地震等により、
シール部にすき間等が生じた場合には、第３図ｂ
に示すように清浄作業室の通路部４ｂへ、汚染空
気がリークしてしまうおそれがある。超LSI等の
製造では0.1μｍ単位の粒子を問題にしており、こ
の様な劣化による性能低下が製品の品質に大きく
影響し、重大な問題となる。
本発明の目的は清浄作業室の天井板上部が直接
空調給気チヤンバとして用いられても、清浄作業
室内への汚染空気の流入を防止することができる
信頼性の高い清浄作業室を提供することにある。
空調給気チヤンバとして用いられても、清浄作業
室内への汚染空気の流入を防止することができる
信頼性の高い清浄作業室を提供することにある。
本発明は送風機と、前記送風機の吐出口に連通
して設けられた圧力室と、前記圧力室に設けられ
たフイルタを介して前記圧力室と連通する給気チ
ヤンバと、前記送風機・圧力室・フイルタを収納
したケースとを備えて成る清浄作業室において、
前記給気チヤンバは未処理空気と境界面側に負圧
室を備え、前記負圧室は前記ケース内の送風機の
吸込口に連通して成ることを特徴とするものであ
る。
して設けられた圧力室と、前記圧力室に設けられ
たフイルタを介して前記圧力室と連通する給気チ
ヤンバと、前記送風機・圧力室・フイルタを収納
したケースとを備えて成る清浄作業室において、
前記給気チヤンバは未処理空気と境界面側に負圧
室を備え、前記負圧室は前記ケース内の送風機の
吸込口に連通して成ることを特徴とするものであ
る。
以下本発明の実施例を第４図・第５図および第
６図により説明する。第４図は本発明の一実施例
における清浄作業室の縦断面を示し、第５図は第
４図に記載された清浄作業室の天井部分を拡大し
て示す図である。
６図により説明する。第４図は本発明の一実施例
における清浄作業室の縦断面を示し、第５図は第
４図に記載された清浄作業室の天井部分を拡大し
て示す図である。
清浄空間４は清浄空間としての作業部４ａと通
路空間としての通路部４ｂとにより構成され、ケ
ース３０内には作業部４ａに面する側にHEPA
フイルタ１２を備えた圧力室１０ａが作業部４ａ
の上部に設けられ、前記圧力室１０ａは上部に送
風機９が設けられて成る。さらに圧力室１０ａの
通路部４ｂに面する側の上面には圧力室１０ｂが
設けられ、前記圧力室１０ｂは通路部４ｂ側に
HEPAフイルタ１１が設けられ、作業室４ａの
上部側には送風機９がそれぞれ設けられて成る。
送風機９、圧力室１０ａ，１０ｂ、フイルタ１
１，１２は上記のように設けられて空気浄化手段
４０を構成する。通路部４ｂの上部には散光板２
８と仕切板２３により形成され、HEPAフイル
タ１１を介して圧力室１０ｂと連通する給気チヤ
ンバ２４を構成している。天井板１は前記給気チ
ヤンバ２４および送風機９の上部を覆うように設
けられて成り、仕切板２３と天井板１間に送風機
９の吸込口と連通した負圧室２５を形成するよう
に構成されている。
路空間としての通路部４ｂとにより構成され、ケ
ース３０内には作業部４ａに面する側にHEPA
フイルタ１２を備えた圧力室１０ａが作業部４ａ
の上部に設けられ、前記圧力室１０ａは上部に送
風機９が設けられて成る。さらに圧力室１０ａの
通路部４ｂに面する側の上面には圧力室１０ｂが
設けられ、前記圧力室１０ｂは通路部４ｂ側に
HEPAフイルタ１１が設けられ、作業室４ａの
上部側には送風機９がそれぞれ設けられて成る。
送風機９、圧力室１０ａ，１０ｂ、フイルタ１
１，１２は上記のように設けられて空気浄化手段
４０を構成する。通路部４ｂの上部には散光板２
８と仕切板２３により形成され、HEPAフイル
タ１１を介して圧力室１０ｂと連通する給気チヤ
ンバ２４を構成している。天井板１は前記給気チ
ヤンバ２４および送風機９の上部を覆うように設
けられて成り、仕切板２３と天井板１間に送風機
９の吸込口と連通した負圧室２５を形成するよう
に構成されている。
本実施例において天井板１および、側板２によ
り囲まれた清浄作業室は、送風機９を運転するこ
とにより、空気をプレフイルタ８および、給気口
１３より吸引し、通路部用HEPAフイルタ１１
および作業部用HEPAフイルタ１２により清浄
化して、室内の作業部４ａおよび通路部４ｂへ供
給し、室内を清浄化する。清浄空気は排気口５よ
り室外へ排気され、一部は空調機械室へ、大部分
は再度プレフイルタ８を通して環流される。この
場合、給気口１３から供給される空調給気量は、
プレフイルタ８から吸引される量に比べて、非常
に少いので、送風機９の吸込口に連らなる部分は
図にで示す様に負圧となる。
り囲まれた清浄作業室は、送風機９を運転するこ
とにより、空気をプレフイルタ８および、給気口
１３より吸引し、通路部用HEPAフイルタ１１
および作業部用HEPAフイルタ１２により清浄
化して、室内の作業部４ａおよび通路部４ｂへ供
給し、室内を清浄化する。清浄空気は排気口５よ
り室外へ排気され、一部は空調機械室へ、大部分
は再度プレフイルタ８を通して環流される。この
場合、給気口１３から供給される空調給気量は、
プレフイルタ８から吸引される量に比べて、非常
に少いので、送風機９の吸込口に連らなる部分は
図にで示す様に負圧となる。
通路部４ｂの天井部は、天井板１と仕切板２３
とにより負圧室２５を形成し、前記ダクト部２５
を送風機９の吸込口に連通させているので、通路
部天井部の負圧室２５内は負圧になる。これによ
り、空調給気チヤンバ１８が加圧されている場
合、天井板１のすき間等より侵入したリーク気流
２２は図に点線で示す様に送風機９に吸引され、
プレフイルタ８、給気口１３より吸引された空気
とともにHEPAフイルタ１１，１２を介して清
浄作業室内へ流入する。
とにより負圧室２５を形成し、前記ダクト部２５
を送風機９の吸込口に連通させているので、通路
部天井部の負圧室２５内は負圧になる。これによ
り、空調給気チヤンバ１８が加圧されている場
合、天井板１のすき間等より侵入したリーク気流
２２は図に点線で示す様に送風機９に吸引され、
プレフイルタ８、給気口１３より吸引された空気
とともにHEPAフイルタ１１，１２を介して清
浄作業室内へ流入する。
本発明の異なる実施例においては、第６図ａに
示すように天井板１の巾を通路面までとして、通
路側上面に通気孔２７を設け、前記通気孔２７を
覆うように箱状に形成された他の天井板１′を載
置し、負圧室２５を形成してもよく、これによれ
ば天井部を作業室部と通路部とに分割することが
できるので、据付場所への搬入作業が容易にな
り、また、据付組立時の作業性が向上する。
示すように天井板１の巾を通路面までとして、通
路側上面に通気孔２７を設け、前記通気孔２７を
覆うように箱状に形成された他の天井板１′を載
置し、負圧室２５を形成してもよく、これによれ
ば天井部を作業室部と通路部とに分割することが
できるので、据付場所への搬入作業が容易にな
り、また、据付組立時の作業性が向上する。
本発明のさらに異なる実施例においては第６図
ｂに示すように照明灯７を負圧室２５内に取付
け、透光性の照明カバー２６を介して通路部４ｂ
を照明するように構成してもよく、これによれば
照明灯７に蓄積されたじんあいが通路部４ｂに流
出するのを防止することができる。なお、照明カ
バーは、平板状に限ることなく、第６図ｃに示す
よう下方に突出し、立下り部に斜面を有する照明
カバー２６′としてもよく、これによればフイル
タ１１より吹出された清浄空気を効率よく下方に
送風することができる。また、第６図ｄに示すよ
うに給気チヤンバ２４内に照明灯７を設けたもの
に山形の照明カバー２６″を取付けてもよく、こ
れによればフイルタ１１からの清浄空気を効率よ
く下方に送風でき、照明カバー２６″により照明
灯７へのじんあいの付着を防止できるとともに照
明灯７、照明カバー２６″が清浄空気内に設けら
れるのでじんあいの蓄積による照度の低下を防止
することができる。
ｂに示すように照明灯７を負圧室２５内に取付
け、透光性の照明カバー２６を介して通路部４ｂ
を照明するように構成してもよく、これによれば
照明灯７に蓄積されたじんあいが通路部４ｂに流
出するのを防止することができる。なお、照明カ
バーは、平板状に限ることなく、第６図ｃに示す
よう下方に突出し、立下り部に斜面を有する照明
カバー２６′としてもよく、これによればフイル
タ１１より吹出された清浄空気を効率よく下方に
送風することができる。また、第６図ｄに示すよ
うに給気チヤンバ２４内に照明灯７を設けたもの
に山形の照明カバー２６″を取付けてもよく、こ
れによればフイルタ１１からの清浄空気を効率よ
く下方に送風でき、照明カバー２６″により照明
灯７へのじんあいの付着を防止できるとともに照
明灯７、照明カバー２６″が清浄空気内に設けら
れるのでじんあいの蓄積による照度の低下を防止
することができる。
本発明の他の実施例によれば第６図ｅに示すよ
うに作業室上部の天井を通路部天井より低く形成
した天井板１″を用いてもよく、これによれば建
屋天井１５に梁１５′がある場合でも支障なく清
浄作業室を据付けることができる。また、第６図
ｆに示すように天井板１″の高さが変化する部分
に給気口１３′を設ければ、建屋天井１５と天井
板１′との空間に設けられてこの空間に空調空気
を吹出すように設けられた空調給気ダクト６′の
吹出口６′ａからの吹出空気を効率よく取入れる
ことができる。天井板１″の高さが変化する部分
を斜面に形成すれば、給気口１３′の開口面積を
充分に取ることができる。さらに他の実施例によ
れば第６図ｇに示すようにフイルタユニツトタイ
プのものに実施してもよい。
うに作業室上部の天井を通路部天井より低く形成
した天井板１″を用いてもよく、これによれば建
屋天井１５に梁１５′がある場合でも支障なく清
浄作業室を据付けることができる。また、第６図
ｆに示すように天井板１″の高さが変化する部分
に給気口１３′を設ければ、建屋天井１５と天井
板１′との空間に設けられてこの空間に空調空気
を吹出すように設けられた空調給気ダクト６′の
吹出口６′ａからの吹出空気を効率よく取入れる
ことができる。天井板１″の高さが変化する部分
を斜面に形成すれば、給気口１３′の開口面積を
充分に取ることができる。さらに他の実施例によ
れば第６図ｇに示すようにフイルタユニツトタイ
プのものに実施してもよい。
本発明によれば清浄作業室の天井板上部が直接
空調給気チヤンバとして用いられた場合でも、清
浄作業室内への汚染空気の流入を防止することが
でき、信頼性の高い清浄作業室を得ることができ
る。
空調給気チヤンバとして用いられた場合でも、清
浄作業室内への汚染空気の流入を防止することが
でき、信頼性の高い清浄作業室を得ることができ
る。
第１図は従来例における清浄作業室の縦断面
図、第２図は従来例における清浄作業室の一部を
断面とした斜視図、第３図ａは空調系と組合され
て設置された清浄作業台の空気の流れを示す縦断
面図、同図ｂは同図ａのシステムに従来例の清浄
作業台を適用した場合を示す縦断面図、第４図は
本発明の一実施例を示す縦断面図、第５図は第４
図の要部を拡大した部分縦断面図、第６図ａは本
発明の異なる実施例を示す部分縦断面図、第６図
ｂ・第６図ｃ・第６図ｄは本発明のさらに異なる
実施例を示す部分縦断面図、第６図ｅ・第６図ｆ
は本発明の他の実施例を示す部分縦断面図、第６
図ｇはさらに他の実施例を示す縦断面図である。
なお、上記の図中に記載された矢印は気流を示
す。 ９…送風機、１０ｂ…圧力室、１１…フイル
タ、２４…給気チヤンバ、２５…負圧室、３０…
ケース。
図、第２図は従来例における清浄作業室の一部を
断面とした斜視図、第３図ａは空調系と組合され
て設置された清浄作業台の空気の流れを示す縦断
面図、同図ｂは同図ａのシステムに従来例の清浄
作業台を適用した場合を示す縦断面図、第４図は
本発明の一実施例を示す縦断面図、第５図は第４
図の要部を拡大した部分縦断面図、第６図ａは本
発明の異なる実施例を示す部分縦断面図、第６図
ｂ・第６図ｃ・第６図ｄは本発明のさらに異なる
実施例を示す部分縦断面図、第６図ｅ・第６図ｆ
は本発明の他の実施例を示す部分縦断面図、第６
図ｇはさらに他の実施例を示す縦断面図である。
なお、上記の図中に記載された矢印は気流を示
す。 ９…送風機、１０ｂ…圧力室、１１…フイル
タ、２４…給気チヤンバ、２５…負圧室、３０…
ケース。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 所定方向に配列された作業機器３からなる製
造ラインを建屋空間から隔離するよう包囲して建
屋から独立した清浄空間４を形成し、該清浄空間
４を作業機器３が配設される作業空間４ａと、該
作業空間４ａに並行して形成される通路空間４ｂ
とから構成し、前記作業空間４ａの上方に送風機
９、圧力室１０ａ，１０ｂ、フイルタ１１，１２
とからなる空気浄化手段４０を配設し、前記通路
空間４ｂの上方に前記圧力室１０ｂに設けられた
前記フイルタ１１を介して前記圧力室１０ｂと連
通して清浄空気が供給される給気チヤンバ２４を
配設して前記作業空間４ａへ向けて清浄空気を供
給するとともに前記給気チヤンバ２４を介して前
記通路空間４ｂへ向けて清浄空気を供給するよう
構成し、前記給気チヤンバ２４および前記空気浄
化手段４０をケース３０に格納し、前記空気浄化
手段４０に前記給気チヤンバ２４の上方に設けら
れた空調空気供給チヤンバ１８から空気調和され
た空気を供給するよう構成した清浄作業室におい
て、前記給気チヤンバ２４と前記空調空気供給チ
ヤンバ１８との間に該空調空気供給チヤンバ１８
からのリーク気流を前記空気浄化手段４０に導く
負圧室２５を設けたことを特徴とする清浄作業
室。 ２ 前記負圧室２５は前記ケース３０の内側に設
けられ、前記ケース３０の天井面１は平坦に形成
されてなることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の清浄作業室。 ３ 前記負圧室２５は前記ケース３０の天井面１
から突出して設けられ前記ケース３０の前記負圧
室２５に面する位置には前記負圧室２５を前記送
風機９と連通させる連通穴２７が設けられてなる
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の清
浄作業室。 ４ 前記負圧室２５は内部に照明手段７を備え、
前記給気チヤンバ２４の前記負圧室２５に面する
側には透光手段２６が設けられてなることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の清浄作業室。 ５ 前記負圧室２５は前記ケース３０の内側に設
けられ前記ケース３０の天井面１″は通路空間部
４ｂ上部が作業空間部４ａ上部より高くなるよう
形成されたことを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の清浄作業室。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58127607A JPS6020030A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | 清浄作業室 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58127607A JPS6020030A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | 清浄作業室 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6020030A JPS6020030A (ja) | 1985-02-01 |
| JPH02618B2 true JPH02618B2 (ja) | 1990-01-08 |
Family
ID=14964270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58127607A Granted JPS6020030A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | 清浄作業室 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6020030A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE8890152U1 (de) * | 1988-12-27 | 1990-09-20 | Juki Corp., Chofu, Tokio/Tokyo | Nähmaschine für ein elastisches Band |
| JPH0454995A (ja) * | 1990-06-22 | 1992-02-21 | Kuinraito Denshi Seiko Kk | 縫製部位の厚さに対応するミシンの糸調子制御方法 |
| CN106556085B (zh) | 2016-12-06 | 2019-05-24 | 惠科股份有限公司 | 无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法 |
-
1983
- 1983-07-15 JP JP58127607A patent/JPS6020030A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6020030A (ja) | 1985-02-01 |
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