JPH0266010A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はフ゛リント基板等の基板にワイヤボンディング
等の加工を施すために基板を所定位置に搬送する基板搬
送装置に関するものである。

従来の技術 従来、この種の基板搬送装置は、固定ガイド台と移動ガ
イド台とにより基板の二側面を規定し、基板移動装置に
より基板を加工用の所定位置へ移動させるものであ−た
。そして、基板の幅が異なる場合は、まず、基板移動装
置を位置決めし、次に移動ガイド台を固定ガイド台に向
かって前後へ移動させ、固定ガイド台と移動ガイド台と
の間隔を基板の幅に合うように調整していた。

発明が解決しようとする課題 しかしながら、移動ガイド台を固定ガイド台に向かって
前後へ移動させる際、移動ガイド台と基板移動装置がぶ
つかり、基板移動装置が折損してしまう危険があった。

課題を解決するための手段 上記課題を解決するため、本発明の基板搬送装置は、基
板移動装置と固定ガイド台との間隔を一定にしてなるも
のである。

作用 上記構成において、移動ガイド台を固定ガイド台に向か
って前後へ移動する場合、基板移動装置を移動ガイド台
の移動範囲外に設定しておけば、移動ガイド台と基板移
動装置とがぶつかることはない。

実施例 以下、本発明の実施例について添付図面を参照して説明
する。

図において、１は基台であり、この基台１上には固定ガ
イド台２が固定されている。また、ボールネジ３を介し
て移動ガイド台４が設けられている。ハンドル６を回転
することによりボールネジ３が回転し、これに伴ない移
動ガイド台４が固定ガイド台２に向かって前後に移動可
能である。６は基板移動装置であり、この基板移動装置
６は固定ガイド台２に対し一定の間隔を有する位置に設
けられている。７は固定ガイド台２に設けられた基板載
置台であり、この基板載置台７上に基板８が載置されて
いる。

上記構成において、基板８の幅に対応して、第１図、第
２図に示すようにハンド／Ｌ１５を回転することにより
ボールネジ３を回転し、これに伴ない移動ガイド台４を
固定ガイド台２に向かって前後へ移動して、固定ガイド
台２と移動ガイド台４との間隔と基板８の間隔を一致さ
せる。

すなわち、基板７の一側面を固定ガイド台２により規定
し、基板７の反対側の側面を移動ガイド台４により規定
する。

移動ガイド台４の移動に際し、基板移動装置６は固定ガ
イド台２と一定の間隔を有する位置に設けられ、かつ移
動ガイド台４の移動範囲外に設けられており、基板移動
装置６は移動ガイド台４にぶつかって折損することはな
い。

また、基板移動装置６の位置決めが不要であるので、位
置決め作業は、移動ガイド台４のみとなシ、簡単である
。

そして、この基板搬送装置を備えた基板加工装置が駆動
されると、基板移動装置６が上下左右に移動して基板８
を固定ガイド台２と移動ガイド台４に沿って加工用の所
定位置まで移動したり、加工済の基板８を所定位置から
排出したりする。

発明の効果 以上のように本発明によれば、移動ガイド台を固定ガイ
ド台に向かって前後に移動して基板の両側面を固定ガイ
ド台と移動ガイド台で規定するようにし、基板移動装置
を固定ガイド台に対し一定の間隔を有する位置に設けた
ので、移動ガイド台の移動に際して、移動ガイド台と基
板移動装置がぶつかることがなく、基板移動装置は折損
しない。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明の実施例を示す基板搬送装
置の側面図である。 ２・・・・・・固定ガイド台、４・・・・・・移動ガイ
ド台、６・・・・・・基板移動装置、８・・・・・・基
板。 代理人の氏名　弁理士　粟　野　重　孝　ほか１名第１
図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基板の一側面を規定する固定ガイド台と、前記固定ガイ
   ド台に向かって移動自在であり前記基板の一側面の反対
   側の側面を規定する移動ガイド台と、前記基板を前記固
   定ガイド台と移動ガイド台に沿って移動させる基板移動
   装置とを備え、前記基板移動装置と前記固定ガイド台と
   の間隔を一定としてなる基板搬送装置。