JPH0286038A - 質量分析計のスリット装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は質量分析計で使用されるスリット装置に関する
。

〔従来の技術〕

質量分析計のスリット装置としては、スリット片を電歪
素子又は、圧電素子に取り付けたものが知られている。

そのスリット装置では、通常、質量分析計の操作卓上の
キーボードより分解能を入力し、その分解能に適したス
リットの開度に比例した電界を電歪素子又は、圧電素子
に与える事により所定のスリット幅を得る様になってい
る。

なお、本発明に関連するものとして、例えば、特開昭６
１−８２６４９号がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記のスリット装置では、高い分解能になると収束条件
やスリットの加工精度などにより、目的の分解能に対す
るスリット幅を与えても所定の分解能を得る事が難しく
なる。

本発明は所定の分解能をオペレーターの勘に頼らず自動
的に容易に得る事の出来るスリット装置を提供する事を
目的とするものである。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は１分解能設定部で設定した分解能と分解能測
定部で測定した分解能を比較し、算出された誤差を補正
値として出力する比較演算部からの信号により駆動する
事により誤差を消滅させる方向に働くスリット装置によ
り達成される。

〔作用〕

一実施例である第１図を用いて説明すると、制御部（１
ｏ）には外部入力装設から目的とする分解能が入力され
、分解能設定部に記憶される。分解能が入力されると制
御部（１０）は検出部（４）からの検出値を入力し分解
能算出部で分解能の算出を行う。比較演算部では設定さ
れている分解能と算出された測定分解能とが比較される
。

測定分解能が設定された目的とする分解能に到達してい
なければ、比較演算部は両分解能の誤差に対応した補正
値を発生する。駆動手段（９）はこの補正値に比例した
量だけスリット片を変位させてスリット位置を変更し、
制御部（１０）ではその変更されたスリット位置の下で
の分解能が再び算出され、設定された分解能と再び比較
される。

このスリット位置の変更と分解能の測定、比較のプロセ
スは、測定された分解能が設定された分解能に到達する
まで繰り返して行なわれる。

〔実施例〕

第１図は一実施例のスリット装置を備えた質量分析計を
表わしている。

Ｓｌは入口側のスリット、Ｓ２は出口側のスリットであ
り特にＳ２は駆動手段をもって軸方向に移動する事が出
来る。

１はイオン源であり、イオンｇ１で発生したイオンはス
リットＳ１を通過してイオンビーム２となってマグネッ
ト３の磁界中に導かれ、質量数に応じて選別され、出口
側のスリットＳ２に入射する。スリットＳ２を通過した
イオンビームは検出器としての二次電子倍増管４に入射
し、増幅器５で増幅された後、Ａ／Ｄ変換器６でデジタ
ル信号に変換されてインターフェイス１３により制御部
１０に取り込まれる。

制御部１０は互いにバスにより接続されたＣＰＵＩ　ｌ
、メモリ１２及びインターフェイス１３を備えている。

ＣＰＵＩ　１は第２図の分解能の算出と、比較演算を実
現している。また、メモリ１２は第３図の分解能設定に
対応している。

ＣＰＵＩＩの比較演算部からの補正値出力はインターフ
ェイス１３を通して出力され、Ｄ／Ａ変換器８によりア
ナログ信号に変換された後、駆動手段としての直流電圧
発生回路９に送出される。

直流電圧発生回路９は、スリットＳ２のサーボモーター
を駆動するのに必要な直流電圧を発生する。

７はインターフェイス１３を介してメモリ１２に目的ど
する分解能を設定する外部入力手段としてのキーボード
である。

本実施例の動作を第１・２・３図により説明する。制御
部１０はインターフェイス１３を介してキーボード７か
ら目的とする分解能が入力され、メモリ１２に記憶され
る（ステップＳｌ）。分解能が入力されると８２のスリ
ット位置が初期値に設定される（ステップＳ２）。制御
部１０には二次電子倍増管４からの検出値がＡ／Ｄ変換
器６とインターフェイス１３を介して入力され、ＣＰＵ
１１で分解能の算出が行なわれる（ステップＳ３）。

分解能の設定値と測定値とがＣＰＵＩ　１で比較され（
ステップＳ４）、測定値が設定値に到達していれば、両
分解能の誤差に対応した補正値がＣＰＵＩＩから発生さ
れ（ステップＳ５）インターフェイス１３とＤ／Ａ変換
器８を介して直流電圧発生回路９へ送出される。

直流電圧発生回路はスリットＳ２の・サーボモーターに
その補正値に比例した直流電圧を印加し。

スリットの位置を変更させる。そして制御部１０ではそ
の変更されたスリン１−位置の下での分解能が再度測定
され、測定された分解能と再び比較される（ステップＳ
２．Ｓ３）。このスリット位置の変更と分解能の測定、
比較のプロセスは分解能の測定値が設定値に到達するま
で繰り返して行なわれる。

第１図に示した質量分析計は単収束質量分析計であるが
、二重収束質量分析計になると、分解能は更に高くなる
。そして分解能が高くなると正確に設定通りの分解能を
得る事が困難になるため、分解能の設定値にある程度の
幅（例えば１０％）を持たせて、測定した分解能がその
範囲に入ったならば、その時点で、目的の分解能が到達
したものとする。

第４図にスリットＳ２を含むスリット装置の具体的な例
を示す（正面図）。

スリットを含むスリット微動装置本体２４は、ベアリン
グ１４とコロ軸受け２０を介して押えリング１５及び２
５により本体支え２３に取り付けられており、図中左右
方向に微動する事が出来る。

さらにガイド軸２２を通してスリット微動装置本体は動
くため、その精度はより向上する。

本体２４の図中左右方向に於て、押えリング２５により
ストッパ１６との組み合わせでコロ軸受け２０を介して
従動用歯車１７が脱落せずに自由に回転出来る様に取り
付けられている。従動用歯車とスリット微動装置本体２
４は各々対応する面がおねじとめねじにより組み合わさ
れている。

更に、従動用歯車の最外側の歯は駆動用サーボモーター
に付いた駆動用ピニオンに組み合わされている。即ち、
第１図の電源電圧発生回路９からの出力によりサーボモ
ーター１８が駆動し駆動用のピニオンキア２１が回転し
、更にねじによりスリット微動装置本体２４が微動する
わけである。

第４図は軸受けを介して微動させた例であるが。

代わりにベツドを用い駆動装置をスライド式にする事が
出来る。またサーボモーターとギヤ、ねじの代わりにエ
アシリンダーや圧電素子を駆動手段とする事も出来る。

第１図に於ける直流電圧発生回路の例を第５〜７図に示
す。

第５図の例は発振用ＩＣ３１と逼倍電圧回路３２とから
なるものである。Ｄ／Ａ変換器８からの直流電圧を発振
用ＩＣ３Ｌの電源電圧として入力して低電圧の交流信号
を作り、その交流圧力信号を退倍電圧回路３２に入力し
て昇電し、整流。

平滑する。

発振用ＩＣ３１としては、直流の供給電圧を広範囲に取
れるものが適する。また、逼倍電圧回路３２は何段にも
重ねて使用する事が出来る。

第６図の例は、発振用ＩＣ３３からの低電圧交流信号を
トランス３４で昇電した後、整流平滑回路３５により直
流電圧にするものである。

また、第７図の例は第６図と同じく、発振用ＩＣ３６か
らの低電圧交流信号をトランス３７で昇圧した後、逼倍
電圧回路３８によりさらに昇圧し、整流平滑を行うもの
である。

これらの直流電圧発生回路の例において、発振用ＩＣを
使用すると制御系の構成が簡単になり、小型化する利点
があるが１発振用ＩＣに代えて、トランジスタ、抵抗、
コンデンサなどの個別部品を組み合わせて構成された発
振回路を使用してもよい。

〔発明の効果〕

本発明によれば、簡単な操作により、よりエラーが少な
ぐ、また、操作性に富んだ質量分析計を実現する事が出
来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のスリット装置の一実施例を備えた質量
分析計を示した概略図、第２図は制御部の機能を示すブ
ロック図、第３図は一実施例の動作を示すフロー図、第
４図はスリット部の正面図。 第５図、第６図、第７図は第１図に於ける直流電圧発生
回路の例を示すブロック図である。 Ｓｌ・・・スリット（入口側）、Ｓ２・・・微動装置を
持つスリット（出口側）、４・・・二次電子倍増管、１
０・・・制御部、１１・・・ＣＰＵ、１２・・・メモリ
、１８・・・サーボモーター

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、スリットの位置を電気的に調整出来る様にスリット
   が移動可能な状態に支持されていると共に、駆動手段を
   もつてそのスリットを移動させるための制御部を備え、
   かつ前記のスリットを有する質量分析計の検出部よりの
   信号から分解能を計算算出する分解能算出部と外部から
   分解能を設定することの出来る分解能設定部と、分解能
   算出部より算出された分解能と分解能設定部により設定
   された分解能を比較して誤差を求め、その値を補正値と
   してスリット駆動手段に出力する比較演算部とを持つ事
   を特徴とする質量分析計のスリット装置。