JPH0287068U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0287068U JPH0287068U JP16673988U JP16673988U JPH0287068U JP H0287068 U JPH0287068 U JP H0287068U JP 16673988 U JP16673988 U JP 16673988U JP 16673988 U JP16673988 U JP 16673988U JP H0287068 U JPH0287068 U JP H0287068U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing
- workpiece
- processing chambers
- processed
- central axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例をイオンプレーテイ
ング処理室の場合について正面から見た縦断面図
、第２図は第１図に示した処理室を側面から見た
縦断面図、第３図は本考案の動作を説明するため
に多室構成の加工処理装置を概略的に示す縦断面
図、第４図は第１図、第２図に示した回転駆動軸
とカム板との関係を拡大して示した図、第５図は
従来の多室構成による加工処理装置の動作を説明
するために装置の概略構成を示した図、第６図は
第５図に示した処理室の一つを矢印方向から見た
図。 図中、１は処理室、２はキヤリアラツク、３は
搬送用ローラ支持ポスト、５は搬送ローラ、６は
被処理物、７は電子ビーム加熱蒸発源、８はヒー
タ、１０はホルダ、１１はチヤツク、１２は回転
駆動軸、１８はカム板、１９は歯車、２１ａ，２
１ｂはケーブル、２７ａ，２７ｂ，２７ｃは絶縁
体。
ング処理室の場合について正面から見た縦断面図
、第２図は第１図に示した処理室を側面から見た
縦断面図、第３図は本考案の動作を説明するため
に多室構成の加工処理装置を概略的に示す縦断面
図、第４図は第１図、第２図に示した回転駆動軸
とカム板との関係を拡大して示した図、第５図は
従来の多室構成による加工処理装置の動作を説明
するために装置の概略構成を示した図、第６図は
第５図に示した処理室の一つを矢印方向から見た
図。 図中、１は処理室、２はキヤリアラツク、３は
搬送用ローラ支持ポスト、５は搬送ローラ、６は
被処理物、７は電子ビーム加熱蒸発源、８はヒー
タ、１０はホルダ、１１はチヤツク、１２は回転
駆動軸、１８はカム板、１９は歯車、２１ａ，２
１ｂはケーブル、２７ａ，２７ｂ，２７ｃは絶縁
体。
Claims (1)
- 被処理物に対して複数の処理室で順に所定の加
工処理を行う装置において、前記複数の処理室を
順に通過するように搬送路を設け、該搬送路には
前記被処理物を搬送するためのキヤリアラツクを
設置し、該キヤリアラツクは前記被処理物をその
中心軸が鉛直方向に延在するように保持しており
、しかも前記処理室毎に設置された外部駆動源か
ら駆動力を受けて前記処理室の所定位置で前記被
処理物を前記中心軸を中心に回転運動させる手段
を備えたことを特徴とする多室構成の加工処理装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16673988U JPH0287068U (ja) | 1988-12-26 | 1988-12-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16673988U JPH0287068U (ja) | 1988-12-26 | 1988-12-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0287068U true JPH0287068U (ja) | 1990-07-10 |
Family
ID=31454392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16673988U Pending JPH0287068U (ja) | 1988-12-26 | 1988-12-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0287068U (ja) |
-
1988
- 1988-12-26 JP JP16673988U patent/JPH0287068U/ja active Pending
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