JPH0287310A - 垂直磁気記録ヘッドコアの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ０発明の目的 〔産業上の利用分野〕 本発明は垂直磁気記録ヘッドコアの製造法に係り、特に
垂直磁気記録用主磁極励磁型単磁極ヘッドコアの製造に
関するものである。

〔従来の技術〕

従来、垂直磁気記録用主磁極励磁型単磁極ヘッドコアの
製造法は第２図（ａ）〜（ｅ）の加工形状で示す方法が
一般的であった。即ち、先ず第２図（ａ）の如く巻線窓
部３を有する補助磁極部ｌとスライダー部２を組み合わ
せガラス３１等で接着補強してなる第一ブロックの一方
の主磁極形成面４に第２図（ｂ）の如く、主磁極膜５を
スパッタ、又は蒸着によって所定の厚さに形成し、第２
図（ｅ）の如く所望の幅寸法にケミカル、或いはドライ
エツチングを行なって複数個の主磁極６を形成し、しか
る後他の補助磁極部１とスライダー部２からなる第一ブ
ロックと、主磁極形成面４相互を接着して第２図（ｄ）
の如く第二ブロックを形成し、次に各主磁極６の間を等
間隔に一点鎖線の如く切断してコアチップを形成し、さ
らにコアチップを所定の厚さに研磨し、スライダ面を球
面研磨して、第２図（ｅ）に示す所定位置寸法の主磁極
６、補助磁極１１、スライダー１２、及び巻線窓１３を
有する垂直磁気記録ヘッドコアとしていた。しかしこの
方法でコアチップを所定の厚さにしかも主磁極をヘッド
コアの厚さの中心に位置する様研磨するには、主磁極の
位置を投影機等で確認しながらコアチップへの切断を行
ない、更にコアチップの厚さの研磨では一個一個のコア
チップの厚さを計測し、更に研磨と厚さ計測を数回繰り
返し確認しながら行なっており、大きな工数が費やされ
る。それでも研磨では主磁極の位置が目に見えないため
、主磁極の位置がバラツいて一方に偏り過ぎたり主磁極
形成面し過ぎてその幅を狭くし、不良となって歩留りを
悪化させる要因となっていた。

〔発明が解決しようとする課題〕 本発明は前述のコアチップの厚さ研磨の工数の浪費、及
び研磨による主磁極位置のバラツキや過度の研磨による
歩留り低下の問題を防止し、研磨工数を節減し得て、し
かも主磁極を所定の位置に形成せしめて歩留りを改善し
得る、垂直磁気記録ヘッドコアの製造法を提供せんとす
るものである。

口０発明の構成 〔課題を解決するための手段〕 本発明によれば軟磁性材料からなる補助磁極と軟磁性薄
膜からなる主磁極と非磁性材料からなるスライダーとを
有する垂直磁気記録ヘッドコアの製造において、補助磁
極部とスライダー部を組み合わせて第一ブロックを形成
した後、第一ブロックの主磁極形成面にヘッドコア所定
の厚さよりやや広い間隔で、しかも等間隔で所定の幅を
もった複数個の縦溝加工を行ない、しかる後主磁極形成
面の隣接する縦溝間の中心所定位置に複数個の主磁極を
形成し、しかる後他の第一ブロックと主磁極形成面相互
を接着して第二ブロックを形成し、さらに該縦溝の幅の
中心より主磁極形成面に垂直な面で切断してコアチップ
を形成し、該コアチップの両面に残された該縦溝を目安
溝としてこれが丁度消滅する迄該コアチップの両面を研
磨することを特徴とする垂直磁気記録ヘッドコアの製造
法であって、該縦溝加工においてその幅寸法、隣接間の
間隔を厳密に規定し、これにより形成された縦溝を目安
として、以“降の製造工程を進めることにより、コアチ
ップの厚さ研磨における工数の節減、更には歩留りの改
善向上した製造法の提供を可能とするものである。

〔作用〕

上記第一ブロックの主磁極形成面への縦溝加工に於て、
縦溝の幅、及び隣接間の間隔を規定して、隣接する縦溝
の前向側端部の間隔寸法を、ヘッドコアの仕上り厚さに
等しく形成する。しかる後隣接する縦溝の中心部に所定
寸法の主磁極を形成し、もう一つの第一ブロックと接着
して第二ブロックとし、その外面に現われた上記縦溝の
中心を目安として切断してコアチップを形成すれば、第
一ブロックに形成した隣接する二つの縦溝の両側面が対
向する底面をなす目安溝としてコアチップの両面に残る
。この両面を所定寸法に研磨してヘッドコアとするには
上記目安溝を見ながら研磨を施し得るので（目安溝が研
磨面にあるのでコアチップを研磨機にセットしたままで
目安溝の段差のあるなしを確認出来る）、目安溝が丁度
消滅する迄研磨すれば容易に所定厚さのヘッドコアが得
られ、上記の主磁極形成に従ってヘッドコア厚さの中心
部に主磁極が形成される。これによってヘッドチップ厚
さ研磨が容易となり工数が節減され、更に主磁極位置の
バラツキ、偏り、狭幅による不良も格段に少なくなり、
歩留りをを改善向上したヘッドコアの製造法を提供出来
る。

〔実施例〕

以下に本発明の実施例について図を用いて詳細に説明す
る。

第１図（ａ）〜（ｆ）は、本発明のへ・ンドコア製造法
を工程順に加工形状で示した斜視図である。

まず第１図（ａ）の如く、巻線窓部３を有する補動磁極
部（フェライト）１とスライダー部（チタン酸カルシウ
ム等非磁性体）２を組み合わせガラス３１等で接着補強
して第一ブロックを形成し、その主磁極形成面４に、第
１図（ｂ）の如くヘッドコア所定の厚さよりもやや広い
一定間隔Ａで深さＸ、幅Ｙを有するスライダー部２の外
面に垂直な溝加工を施し、複数個の縦溝７を形成する。

ここで形成する縦溝７は相互隣接する縦溝７の円内側端
部の間隔寸法即ちＡ−Ｙはヘッドコア所定の厚さに等し
く設定する。これは厳密な設計、及び現在の高精度加工
機により士数μｍの精度で可能である。その後主磁極形
成面４に蒸着、又はスパッタ法により所定の厚さの主磁
極膜（例えばＣｏ−Ｚｒ系アモルファス膜）°を形成し
く図を略す）、しかる後第１図（ｃ）に示す如く、ヘッ
ドコア所定の厚さよりやや狭い所定の幅寸法Ｂを有し一
定の間隔Ａで、しかも隣接する縦溝７との間隔Ａの中心
軸と幅寸法Ｂの中心軸を一致せしめてケミカル、又はド
ライエツチング法等により複数個の主磁極６を形成する
。

又、もう一つの補助磁極１とスライダー２からなる第一
ブロックの主磁極形成面４には接着樹脂等を塗布してお
き、主磁極を形成した第一ブロックと接着を行ない第一
図（ｄ）に示す外形直方体の第二ブロックを形成する。

次に第二ブロックの縦溝７の中心部から第１図（ｄ）の
−点鎖線で示す主磁極形成面４に垂直な面でそれぞれ切
断を行なえば、第１図（ｅ）に示すコアチップを得る。

コアチップの両面には第一ブロックに形成した隣接する
二つの縦溝７の両側面が対向する底面をなす目安溝１７
として残され、両目安溝間の中心部に位置する１つの主
磁極６とヘッドコア所定の厚さよりやや厚いコアチップ
切断厚さを有する補助磁極部２１、スライダ部２２、及
び２つの巻線窓部２３を形成している。しかも上述した
如く、コアチップ両面の目安溝１７の底面間の間隔はＡ
−Ｙで所定のヘッドコア厚さに形成されている。又、目
安溝１７の幅は第二ブロックに形成した縦溝の深さＸに
等しい。

以後コアチップの両面を研磨してヘッドコア所定の厚さ
に仕上げるには次の如くして行なう。

コアチップを研磨機に複数個セットし、上面側を目安溝
１７が消滅する直前迄−気に研磨を行ない（研磨の経験
上から研磨条件が割り出せる）、−時研磨を中止してコ
アチップを研磨機にセットしたまま目安溝の段差減少状
況を調べる。この状況から目安溝が丁度消滅する研磨条
件を割り出し引続き目安溝が丁度消滅する迄研磨を行な
う。さらにもう−面を同様にして研磨を行なえば、片面
ごと１回程度の研磨状況を調べることで、簡単に所定の
厚さ寸法、及びその中心所定位置に主磁極を有するヘッ
ドコアを得ることが出来る。最終的にスライダ部２２の
外面を球面状に研磨すれば第１図（ｆ）に示す所定の厚
さ寸法、及びその中心所定位置に主磁極６を有し補助磁
極１１、スライダー１２、及び巻線窓１３を有するヘッ
ドコアを得ることが出来る。

ハ０発明の効果 〔発明の効果〕 以上述べた如く本発明による製造方法を用いると、ヘッ
ドコアの厚さ方向に対して主磁極が常にその中心に位置
するヘッドコアを容易に加工することが可能になり、ヘ
ッドコア厚さ研磨の工数を削減し、しかも主磁極位置の
バラツキ、偏りを減少して歩留りを格段に向上し得る垂
直磁気記録ヘッドコアの製造方法の提供が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）〜（ｆ）は、本発明の実施例を示す垂直磁
気記録ヘッドコアの製造過程における加工形状を示す外
形斜視図である。 （ａ）は、第一ブロックの外形斜視図。 （ｂ）は、第一ブロックに縦溝加工を施した外形斜視図
。 （ｃ）ば、第一ブロックに縦溝加工を施し、更に主磁極
を形成した外形斜視図。 （ｄ）は、本発明の第二ブロックの外形斜視図。 （ｅ）は、コアチップの外形斜視図。 （ｆ）は、ヘッドコアの外形斜視図である。 第２図（ａ）〜（ｅ）は、従来の垂直磁気記録ヘッドコ
アの製造過程における加工形状を示す外形斜視図である
。 （ａ）は、第一ブロックの外形斜視図。 （ｂ）は、第一ブロックに主磁極膜を形成した外形斜視
図。 （ｃ）は、第一ブロックに主磁極を形成した外形斜視図
。 （ｄ）は、従来の第二ブロックの外形斜視図。 （ｅ）は、ヘッドコアの外形斜視図。 １・・・補助磁極部、２・・・スライダー部、３・・・
巻線窓部、４・・・主磁極形成面、５・・・主磁極膜、
６・・・主磁極、７・・・縦溝、１１・・・補助磁極、
１２・・・スライダー　１３・・・巻線窓、１７・・・
目安溝、２１・・・（コアチップの）補助磁極部、２２
・・・（コアチップの）スライダー部、２３・・・（コ
アチップの）巻線窓部、３１・・・ガラス。 特許出願人　　東北金属工業株式会社 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、軟磁性材料からなる補助磁極と軟磁性薄膜からなる
   主磁極と非磁性材料からなるスライダーとを有する垂直
   磁気記録ヘッドコアの製造において、補助磁極部とスラ
   イダー部を組み合わせて第一ブロックを形成した後、第
   一ブロックの主磁極形成面にヘッドコア所定の厚さより
   やや広い間隔で、しかも等間隔で所定の幅をもった複数
   個の縦溝加工を行ない、しかる後主磁極形成面の隣接す
   る縦溝間の中心所定位置に複数個の主磁極を形成し、し
   かる後他の第一ブロックと主磁極形成面相互を接着して
   第二ブロックを形成し、さらに該縦溝の幅の中心より主
   磁極形成面に垂直な面で切断してコアチップを形成し、
   該コアチップの両面に残された該縦溝を目安溝としてこ
   れが丁度消滅する迄該コアチップの両面を研磨すること
   を特徴とする垂直磁気記録ヘッドコアの製造方法。