JPH0863706A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁気コア基板の切断分離加工を容易化すると
ともに、ギャップデプス加工の基準面となる磁気コアチ
ップの下端面位置の加工精度を向上した磁気へッドの製
造方法を提供する。 【構成】 強磁性酸化物板の片面にギャップデプス規制
溝及び切断基準溝１４を所定間隔隔離して形成する工程
と、前記強磁性酸化物板の前記ギャップデプス規制溝形
成面に前記ギャップデプス規制溝と直交する方向にトラ
ック溝を形成して基板１５を作成する工程と、二つの前
記基板１５を前記トラック溝形成面を対向させて接合一
体化し磁気コア基板１６を形成する工程と、前記磁気コ
ア基板１６の切断基準溝１４によって分離して磁気コア
ブロックを形成する工程とを含む磁気ヘッドの製造方法
である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は磁気記録装置に使用する
磁気ヘッドに関し、特にギャップデプスの加工精度を向
上した大量生産に好適する磁気ヘッドの製造方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、強磁性酸化物材料を磁気コアとす
るいわゆるバルク型磁気ヘッドの製造方法において、ギ
ャップデプスを正確に加工するため、磁気コアブロック
の下端をギャップデプス基準ラインから一定寸法で切断
し、磁気コアブロックの下端面をギャップデプスの基準
面とする特開平２−１７９９０７号公報に開示されてい
るような、磁気ヘッドの製造方法が一般的に採用されて
いる。この磁気ヘッドの製造方法について、図面を参照
して説明する。図４に示すように、強磁性酸化物板１の
片面に、巻線溝２及びＶ字状のギャップデプス規制溝３
を一体とした溝４を、所定の間隔で複数形成する。つい
で、図５に示すように、前記溝４を形成した面に、前記
溝４と直交する方向に磁気ギャップのトラック幅を規制
するトラック溝５を所定の間隔で形成して基板６を製作
する。そして、図６に示すように、二枚の前記基板６の
うち、少なくとも一方の基板６の前記溝４形成面にシリ
カ等の非磁性体からなるギャツプスペーサ（図示せず）
の薄膜を被着してから、ギャップデプス規制溝３が観察
し易いように、該溝４形成面どおしを端面を少しずらし
て突き合わせ、加熱して、ガラス７により接合一体化し
て、磁気コア基板８を製作する。

【０００３】ついで、通常、接合時の熱処理等での変形
を防止するため、完成した磁気コアの厚さ寸法の半分よ
り厚い材料を使用するために、図７に示すように、磁気
コア基板８の接合面と平行な両側面部９，９を、図中に
一点鎖線で示すように、完成した磁気コアの厚さ寸法に
なるように研磨した後、ギャップデプス規制溝３により
形成されるギャップデプス基準ライン１０を、少しずら
せて接合した端面側から観測し、ギャップデプス基準ラ
イン１０から一定の寸法Ｌで、図中に点線で示すよう
に、ギャップデプス規制溝３と平行で、接合面と直交す
る面で切断分離し、磁気コアチップの下端面を形成す
る。そして、図８に示すように、分離して得られた磁気
コアブロック１１をトラック溝５の中央部で、図中に点
線で示すように、接合面と直交する面でスライスして、
図９に示すような、磁気コアチップ１２を作成する。

【０００４】上述した工程で磁気コアチップ１２を作成
することにより、下端面１３をギャップデプスの基準面
とする磁気コアチップ１２が得られ、その後の磁気へッ
ド組立工程でこの磁気コアチップ１２の下端面１３を基
準面として用いて加工することにより、正確なギャップ
デプスを有する磁気へッドが組立られる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した磁
気ヘッドの製造方法によれば、磁気コア基板をギャップ
デプス基準ラインから一定の寸法で切断分離して磁気コ
アブロックを作成する際、基板の接合に用いたガラスが
接合部側面にながれ、デプス基準ラインが観察し難いた
め、基板の端面をずらして突き合わせることが必要であ
り、材料の利用率が低下するという問題があった。しか
も、磁気コア基板から複数の磁気コアブロックを作成す
るため、切断加工をする度毎に、ギャップデプス基準ラ
インを観察して切断寸法を調整する必要があり、切断加
工工数が増大するという問題があった。さらに、この切
断面積が大きく加工量が多いため、切断に使用する薄い
回転切断刃の磨耗や、変形により、加工精度が低下し、
基準面とギャップデプス基準ラインとの距離が不正確に
なるという問題もあった。

【０００６】特に、磁気ギャップの両側に強磁性体金属
薄膜を配し、強磁性酸化物を磁気コアとする複合磁気へ
ッドの製造に際しては、磁気コア基板の分離切断の際、
強磁性酸化物と、これに積層された強磁性金属との異種
材料を切断加工する必要があるため、切断速度を変更し
たり、それぞれの材料に適した切断刃に取り替え、一つ
の溝を形成するのに、複数回の加工が必要となるという
問題があった。本発明は、上述した従来の問題を解決す
るために提案するもので、ギャップデプス規制溝形成時
に、同時に一定寸法間隔で切断基準溝を形成することに
より、磁気コア基板の切断分離加工を容易化するととも
に、ギャップデプスの基準面となる磁気コアチップの下
端面寸法の加工精度を向上した磁気へッドの製造方法を
提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本願では、強磁性酸化物からなる板の片面にギャップデ
プス規制溝及び切断基準溝を所定間隔隔離して形成する
工程と、前記強磁性酸化物からなる板の前記ギャップデ
プス規制溝形成面に前記ギャップデプス規制溝と直交す
る方向にトラック溝を形成して基板を作成する工程と、
二つの前記基板を前記トラック溝形成面を対向させて接
合一体化し磁気コア基板を形成する工程と、前記磁気コ
ア基板の切断基準溝において、前記切断基準溝と平行
に、前記磁気コア基板の接合面と直交する面で分離して
磁気コアブロックを形成する工程と、前記磁気コアブロ
ックをトラック溝に平行にスライスして磁気コアチップ
を形成する工程とを具備する磁気ヘッドの製造方法を提
供する。また、上記製造方法は、前記強磁性酸化物から
なる板の厚さを完成した磁気へッドの厚さの半分より厚
い寸法の材料とし、前記切断基準溝の深さを、前記完成
した磁気へッドの厚さより深く形成し、前記磁気コア基
板形成後、接合面と平行な両側面を研磨して前記切断基
準溝を露出させ、この部分で分離して磁気コアブロック
を形成することが望ましい。

【０００８】また、前記基板のトラック溝形成面に強磁
性金属薄膜を形成して後、二つの前記基板を接合一体化
して磁気コア基板を形成し、前記強磁性金属薄膜がスパ
ッタにより形成したＦｅＴａＮ合金薄膜とすることが望
ましい。

【０００９】

【作用】上述した磁気ヘッドの製造方法によれば、ギャ
ップデプス規制溝形成時に、同時に一定寸法間隔で切断
基準溝を形成し、磁気コア基板を該切断基準溝で切断分
離して磁気コアブロックを作成する際、デプス基準ライ
ンの観察が不要となり、基板の端面をずらして突き合わ
せることも不要であり、結果として、材料の利用率が向
上できる。しかも、切断加工をする度毎に、ギャップデ
プス基準ラインを観察して切断寸法を調整する必要もな
く、切断加工工数を低減できる。さらに、切断面積が少
なくなり、加工量も減少するため、切断に使用する薄い
回転切断刃の磨耗も少なく長寿命化でき、また、基準面
の加工精度が向上するため、正確なギャップデプスを有
する磁気ヘッドが組み立てられる。

【００１０】特に、磁気ギャップの両側に強磁性体金属
薄膜を配した複合磁気へッドの製造に際しては、磁気コ
ア基板の分離切断の際、強磁性酸化物板のみの切断加工
でよいため、切断速度を変更したり、それぞれの材料に
適した切断刃に取り替えることは不要となるため、切断
分離が大幅に容易化される。また、切断基準溝の深さを
完成した磁気へッドの厚さより深く形成して、側面研磨
により分離することで、切断加工による分離は不要とな
る。

【００１１】

【実施例】本発明の磁気へッドの製造方法の一実施例に
ついて図面を参照して説明する。図において、従来例と
同じ部分には同一符号を付して説明を省略する。図１に
示すように、強磁性酸化物板１の片面に巻線溝２及びＶ
字状のギャップデプス規制溝３を１体とした溝４と、ギ
ャップデプス基準ライン１０から所定寸法間隔Ｌの位置
に、切断基準溝１４を該切断基準溝１４の深さが完成し
た磁気へッドの厚さの半分より深くなるように、所定の
間隔で複数組形成する。ついで、従来例と同様に、前記
溝４を形成した面に、前記溝４と直交する方向に磁気ギ
ャップのトラック幅を規制するトラック溝５を所定の間
隔で形成して、基板１５を製作する。

【００１２】そして、図２に示すように、少なくとも一
方の基板１５の前記溝４形成面にシリカ等の非磁性体か
らなるギャツプスペーサ（図示せず）の薄膜を被着して
から、二枚の基板１５，１５を突き合わせ、加熱して、
ガラス７により接合一体化して、磁気コア基板１６を製
作する。ついで、磁気コア基板１６の接合面と平行な両
側面部９，９を、図中に一点鎖線で示すように、完成し
た磁気コアの厚さ寸法になるように研磨すると、磁気コ
ア基板１６は切断基準溝１４の部分で分離され、磁気コ
アブロックが得られる。そして、従来例と同様に、該磁
気コアブロックをトラック溝の中央部で、接合面と直交
する面でスライスして、磁気コアチップを作成する。

【００１３】このようにして得られた磁気コアチップ
は、その下端面がギャップデプス基準ラインから所定寸
法に正確に加工されているため、この下端面を基準面と
して、磁気へッドを組立れば、正確なギャツプデプスを
有する磁気へッドが大量に製作できる。また、本発明の
磁気へッドの製造方法を、磁気ギャップの両側に強磁性
体金属薄膜を配し、強磁性酸化物からなる板を磁気コア
とする複合磁気へッドの製造に適用した例については、
図３に示すように、強磁性酸化物板１に形成される強磁
性金属薄膜１７は、基板１５，１５の突き合わせ接合す
る面だけに形成されているため、磁気コア基板１８の分
離加工の際、強磁性酸化物板１の両側面部９，９だけを
研磨加工するだけで良い。したがつて、切断速度を変更
したり、それぞれの材料に適した切断刃に取り替える必
要はない。

【００１４】以上、基板１５として切断基準溝１４の深
さを完成した磁気へッドの厚さ寸法の半分より深く形成
し、研磨により分離する例について説明したが、本発明
はこれに限定されず、強磁性酸化物板１の厚さを完成し
た磁気へッドの厚さの半分と同じにした場合でも、磁気
コア基板１６の分離に際しては、切断基準溝１４部の強
磁性酸化物板１の一部のみを切断さえすれば良く、した
がつて、切断速度を変更したり、それぞれの材料に適し
た切断刃に取り替える必要はない。また、切断基準溝１
４の形成面は、下端面１３の一部を形成しているため、
基準面として後工程の磁気へッドの組立に利用できるの
で、正確なギャップデプスを有する磁気へッドが大量に
生産できる。なお、本実施例は一つの磁気コア基板から
三つの磁気コアブロックを切りだす製造方法について説
明したが、本発明はこれに限定されず、一つの磁気コア
基板から一つの磁気コアブロックを切りだしたり、一つ
の磁気コア基板から四つ以上の磁気コアブロックを切り
だす製造方法にも適用される。

【００１５】

【発明の効果】本発明によれば、ギャップデプス規制溝
形成時に、同時に一定寸法間隔で切断基準溝を形成し、
磁気コア基板を該切断基準溝で切断分離して磁気コアブ
ロックを作成するため、ギャツプデプス基準ラインの観
察が不要となり、基板の端面をずらして突き合わせるこ
とも不要であり、材料の利用率が向上できる。しかも、
切断加工をする度毎に、ギャップデプス基準ラインを観
察して切断寸法を調整する必要もなく、切断加工工数を
低減できる。さらに、切断面積が少なくなり、加工量も
減少するため、切断に使用する薄い回転切断刃の磨耗も
少なく長寿命化できる。

【００１６】特に、磁気ギャップの両側に強磁性体金属
薄膜を配した複合磁気へッドの製造に際しては、磁気コ
ア基板の分離切断の際、強磁性酸化物板のみの切断加工
でよいため、切断速度を変更したり、それぞれの材料に
適した切断刃に取り替えることは不要となるため、切断
分離が大幅に容易化される。また、切断基準溝の深さを
完成した磁気へッドの厚さより深く形成して、側面研磨
により分離することで、切断加工による分離は不要とす
ることもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例の基板の要部斜視図。

【図２】 本発明の一実施例の磁気コア基板の要部斜視
図。

【図３】 本発明の他の実施例の磁気コア基板の要部斜
視図。

【図４】 従来の巻線溝、デプスエンド規制溝の形成を
示す要部斜視図。

【図５】 従来の基板の要部斜視図。

【図６】 従来の磁気コア基板の要部斜視図。

【図７】 従来の磁気コア基板の側面研磨加工を示す要
部斜視図。

【図８】 磁気コアブロックの要部斜視図。

【図９】 磁気コアチップの斜視図。

【符号の説明】

１ 強磁性酸化物板 ３ ギャップデプス規制溝 ４ 溝 ５ トラック溝 ７ ガラス ９ 側面部 １０ ギャップデプス基準ライン １４ 切断基準溝 １５ 基板 １６，１８ 磁気コア基板 １７ 強磁性金属薄膜 Ｌ ギャップデプス基準ラインと切断基準溝との間隔

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】強磁性酸化物からなる板の片面にギャップ
   デプス規制溝を所定間隔隔離して形成する工程と、前記
   ギャツプデプス規制溝と所定間隔隔離して切断基準溝を
   形成する工程と、前記強磁性酸化物からなる板の前記ギ
   ャップデプス規制溝形成面に前記ギャップデプス規制溝
   と直交する方向にトラック溝を形成して基板を作成する
   工程と、二つの前記基板を前記トラック溝形成面を対向
   させて接合一体化し磁気コア基板を形成する工程と、前
   記磁気コア基板の切断基準溝によって、前記磁気コア基
   板の接合面と直交する面で分離して磁気コアブロックを
   形成する工程と、前記磁気コアブロックをトラック溝に
   平行にスライスして磁気コアチップを形成する工程とを
   具備することを特徴とした磁気ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】前記強磁性酸化物磁性体板の厚さを完成し
   た磁気へッドの厚さの半分より厚い寸法の材料とし、切
   断基準溝の深さを、前記完成した磁気へッドの厚さより
   深く形成し、前記磁気コア基板形成後、接合面と平行な
   両側面を研磨して前記切断基準溝部で分離して磁気コア
   ブロックを形成することを特徴とする請求項１記載の磁
   気へッドの製造方法。
3. 【請求項３】前記基板のトラック溝形成面に強磁性金属
   薄膜を形成して後、二つの前記基板を接合一体化して磁
   気コア基板を形成することを特徴とする請求項１記載の
   磁気へッドの製造方法。
4. 【請求項４】前記強磁性金属薄膜がスパッタにより形成
   したＦｅＴａＮ合金薄膜であることを特徴とする請求項
   ３記載の磁気へッドの製造方法。