JPH0288152A - 位置決め装置 - Google Patents
位置決め装置Info
- Publication number
- JPH0288152A JPH0288152A JP63237516A JP23751688A JPH0288152A JP H0288152 A JPH0288152 A JP H0288152A JP 63237516 A JP63237516 A JP 63237516A JP 23751688 A JP23751688 A JP 23751688A JP H0288152 A JPH0288152 A JP H0288152A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- distance
- workpiece
- light
- signal processing
- measurement
- Prior art date
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- Pending
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- Laser Beam Processing (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
- Machine Tool Copy Controls (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明はたとえばレー＋ｆ加工機やＩＩ業［１ボツトの
ような自動機械に組み込まれ、自（ｈ ｎ械のヘッドと
ワークとの距離を計測し、ヘッドのワークに対する距ｍ
およびヘッドとワークとの対向姿勢を正しい位置に保つ
Ｊこうにした位ｉＷ決め装置に関する。
ような自動機械に組み込まれ、自（ｈ ｎ械のヘッドと
ワークとの距離を計測し、ヘッドのワークに対する距ｍ
およびヘッドとワークとの対向姿勢を正しい位置に保つ
Ｊこうにした位ｉＷ決め装置に関する。
（従来の技術）
たとえばＧ Ｏ２レ一ザ加工機などをワークの切断・加
工用手段として用いる製造ラインでは、切断、加工作業
に先立って、所望の切断、加工作業を行うようにワーク
の形状に対応してヘッドの移動経路の動作手順を加工機
に対して教え込むようにし、この加ＩＩのヘッドにレー
ジ加工ノズルを取り付け、このレーザ加工ノズルをヘッ
ドの移動経路の動作手順に沿って移動させることで、ワ
ークを正確に切断ないし加工をするようにしている。
工用手段として用いる製造ラインでは、切断、加工作業
に先立って、所望の切断、加工作業を行うようにワーク
の形状に対応してヘッドの移動経路の動作手順を加工機
に対して教え込むようにし、この加ＩＩのヘッドにレー
ジ加工ノズルを取り付け、このレーザ加工ノズルをヘッ
ドの移動経路の動作手順に沿って移動させることで、ワ
ークを正確に切断ないし加工をするようにしている。
一方切断ないし加工すべきワークには、寸法のバラツキ
があり、また加工時にワークの熱変形が生じ、これによ
りワークとヘッドとの位置関係がティーチング（教示）
時と実際の加工作業時とでｔよ異なっていることがある
。ワークとヘッドとの位置関係が教示１１．１と実際の
加工作業ａ）とで異なると、ワークに対して所望の加工
がなされないことになるので、この場合には、ヘッドの
側！ψに距離検出器を取りイ・１け、この距離検出器に
より計測されるヘッドとワークの対向距離に応じて、ヘ
ッドとワークの対向距離を補１（Ｌ、ながう加工するよ
うにしている。
があり、また加工時にワークの熱変形が生じ、これによ
りワークとヘッドとの位置関係がティーチング（教示）
時と実際の加工作業時とでｔよ異なっていることがある
。ワークとヘッドとの位置関係が教示１１．１と実際の
加工作業ａ）とで異なると、ワークに対して所望の加工
がなされないことになるので、この場合には、ヘッドの
側！ψに距離検出器を取りイ・１け、この距離検出器に
より計測されるヘッドとワークの対向距離に応じて、ヘ
ッドとワークの対向距離を補１（Ｌ、ながう加工するよ
うにしている。
上記距離検出器としては、三角側ｌｌ原理の光学式距餡
５１測器で、計測光をワーク上の加工点から僅かに離れ
た位置に投光しワークの評点位置を計測づる形式のもの
や、ノズルの先端に絶縁された金属チップを取り付け、
ワークとの間に電圧を印加して電６ｊ■で距離を五１測
する静電容量形の物がある。
５１測器で、計測光をワーク上の加工点から僅かに離れ
た位置に投光しワークの評点位置を計測づる形式のもの
や、ノズルの先端に絶縁された金属チップを取り付け、
ワークとの間に電圧を印加して電６ｊ■で距離を五１測
する静電容量形の物がある。
（発明が解決しようとする課題）
近年レーザー加工の利用範囲が広がり、アルミニウム材
料のようにレーザー光を反射し易い素材の加工が重要に
なってきており、アルミニウム材料のワークを加工する
場合には、加工時のワークの熱歪みやワークのばらつき
などにより、教示した時のワークと、加工時の姿勢にず
れが生じることがあり、このずれにより、加工用レーザ
ー光がワークに直角に当たらなくなり、その結果ワーク
面が溶融されずに、ワーク面で反射した加工用レーザー
光が加工ノズル内の光学部品を破旧させてしまうことが
ある。
料のようにレーザー光を反射し易い素材の加工が重要に
なってきており、アルミニウム材料のワークを加工する
場合には、加工時のワークの熱歪みやワークのばらつき
などにより、教示した時のワークと、加工時の姿勢にず
れが生じることがあり、このずれにより、加工用レーザ
ー光がワークに直角に当たらなくなり、その結果ワーク
面が溶融されずに、ワーク面で反射した加工用レーザー
光が加工ノズル内の光学部品を破旧させてしまうことが
ある。
本発明は上記した点に鑑みてなされたしので、ワークの
材質、光沢、加工中の変形にかかわらず、ヘッドのワー
クとの距離を正確に計ヨ１１シ、ヘッドのワークに対す
る距離およびヘッドとワークどの対向姿勢を正しい位置
に保つようにした位置決め装置を提供することを目的と
覆る。
材質、光沢、加工中の変形にかかわらず、ヘッドのワー
クとの距離を正確に計ヨ１１シ、ヘッドのワークに対す
る距離およびヘッドとワークどの対向姿勢を正しい位置
に保つようにした位置決め装置を提供することを目的と
覆る。
（：！ｌ１題を解決するための手段）
本発明の位置決め装置は、対象物上に投光して複数の計
測用評点を形成する複数の投光器と、上記投光源に対し
て所定の傾斜角を右して配設され複数の計測用輝点を三
角測量の原１ｇ＋で距離測定する？Ｑ数の受光器と、上
記受光器からの翳１ ｉ１１！ｌ ＩＩＩ Ｉ点位置デ
ータから対象物までの距離および対象物の姿勢を計測ケ
る第１信号処理装冒と、上記複数のＪｔＳ用評点の近く
て・かつ８１測用輝点に対向するように配胃された金属
チップと、この金属チップに対して電圧を印加し静電誘
導されＩこ電荷の大きさにより対象物との間の距離を求
める第２信号処理装置と、上記第１信号処理装置Ｊ３よ
び第２信号処理装ごからの計測信号にＪ：り対像物の？
！２勢ずれと衝突防止を監視する１り罪装置とを打して
構成される。
測用評点を形成する複数の投光器と、上記投光源に対し
て所定の傾斜角を右して配設され複数の計測用輝点を三
角測量の原１ｇ＋で距離測定する？Ｑ数の受光器と、上
記受光器からの翳１ ｉ１１！ｌ ＩＩＩ Ｉ点位置デ
ータから対象物までの距離および対象物の姿勢を計測ケ
る第１信号処理装冒と、上記複数のＪｔＳ用評点の近く
て・かつ８１測用輝点に対向するように配胃された金属
チップと、この金属チップに対して電圧を印加し静電誘
導されＩこ電荷の大きさにより対象物との間の距離を求
める第２信号処理装置と、上記第１信号処理装置Ｊ３よ
び第２信号処理装ごからの計測信号にＪ：り対像物の？
！２勢ずれと衝突防止を監視する１り罪装置とを打して
構成される。
（作用）
本発明の位置決め装置においで（よ、第１信号処Ｊ！Ｉ
！装置により対象物との間の距＃ｌおＪ、び対象物の姿
勢を三角測量の原理で計測し、加工ノズルに対する対象
物の姿勢がり°れて、上記第１信号処理装置による計測
が不可能の１１には、第２信号処理装置により対像物と
の間の距離を計測し、上記第１信号処理装置Ｊ３よび第
２信号処理ＳＡ置からの５１測信号を制御装置で演算し
、対象物の姿勢のずれと衝突防止を監視しながら正しい
加工ノズル姿勢を維持する。
！装置により対象物との間の距＃ｌおＪ、び対象物の姿
勢を三角測量の原理で計測し、加工ノズルに対する対象
物の姿勢がり°れて、上記第１信号処理装置による計測
が不可能の１１には、第２信号処理装置により対像物と
の間の距離を計測し、上記第１信号処理装置Ｊ３よび第
２信号処理ＳＡ置からの５１測信号を制御装置で演算し
、対象物の姿勢のずれと衝突防止を監視しながら正しい
加工ノズル姿勢を維持する。
（実滴例）
以下本発明の−実り例を図面につき説明づろ。
第１図および第２図において符号１は、ＣＯ２や固体ル
ビ等をレーザー媒質としたレー（アー加工機の加工ヘッ
ドを示し、この加工ヘッド１の先端部に設けたレーザー
加工ノズル２の外周部にｔ、（、位置決め装置３が配設
されている。
ビ等をレーザー媒質としたレー（アー加工機の加工ヘッ
ドを示し、この加工ヘッド１の先端部に設けたレーザー
加工ノズル２の外周部にｔ、（、位置決め装置３が配設
されている。
上記位置決め装置３は、光学式位置検出器４と、静電容
量式距離検出３５とを右して構成されるものであり、上
記光学式位置検出器４は、レーザー加工ノズル２の上部
に設置Ｊられ、プラスブックや木材、非金属材など光沢
の少ないワークを光学的に計測するのに適し、また、静
電容量式距離検出器５は、光沢の多い金属材料を計測−
りるのに適し、レーザー加工ノズル２の先端部を形成ザ
るＪ、うにそれぞれ装着されている。
量式距離検出３５とを右して構成されるものであり、上
記光学式位置検出器４は、レーザー加工ノズル２の上部
に設置Ｊられ、プラスブックや木材、非金属材など光沢
の少ないワークを光学的に計測するのに適し、また、静
電容量式距離検出器５は、光沢の多い金属材料を計測−
りるのに適し、レーザー加工ノズル２の先端部を形成ザ
るＪ、うにそれぞれ装着されている。
上記光学式位置検出器４の内部には、第３図および第４
図に示すように第１投光器６と第１受光器７が三角測晴
可能な所定の角度で内蔵され、また第２投光器８と第２
受光器９が上記第１投光器６と第１受光器７の組と位相
を９０度ずらした位置でかつ三角１１１１ｆｆｉ可能な
所定の角曵で内蔵されている。上記第１投光器６からワ
ーク１０に向けて投光されるｎ１測光１１は、ワーク１
０上に計測用輝点１２を形成し、この計測用輝点１２の
乱反射光の一部は反射光１３として第１受光器７に戻さ
れる。すなわら第１投光器６の位置をＲ１計測用輝点１
２をＱ、第１受光器７の位置をＰとすれば、Ｒ，Ｐ、Ｑ
は三角点を形成する。同様に上記第２投光器８からワー
ク１０に向けて投光される計測光１４は、ワーク１０上
に計測用輝点１５を形成し、この計測用輝点１２の乱反
射光の一部は反射光１６として第２受光器９に戻される
。
図に示すように第１投光器６と第１受光器７が三角測晴
可能な所定の角度で内蔵され、また第２投光器８と第２
受光器９が上記第１投光器６と第１受光器７の組と位相
を９０度ずらした位置でかつ三角１１１１ｆｆｉ可能な
所定の角曵で内蔵されている。上記第１投光器６からワ
ーク１０に向けて投光されるｎ１測光１１は、ワーク１
０上に計測用輝点１２を形成し、この計測用輝点１２の
乱反射光の一部は反射光１３として第１受光器７に戻さ
れる。すなわら第１投光器６の位置をＲ１計測用輝点１
２をＱ、第１受光器７の位置をＰとすれば、Ｒ，Ｐ、Ｑ
は三角点を形成する。同様に上記第２投光器８からワー
ク１０に向けて投光される計測光１４は、ワーク１０上
に計測用輝点１５を形成し、この計測用輝点１２の乱反
射光の一部は反射光１６として第２受光器９に戻される
。
光学式位置検出器４の第１投光器６は、第５図に示すよ
うに、レーデｉ！胃として例えば半導体し一ザー２０と
、この半導体レーザー２０を保持するブツシュ２１と、
半導体レーザー２０からでるレーザ光の方向に設けられ
シー１１光の散乱光を除去するコリメータ２２と、この
コリメータ２２の先端部にスペーサ等の保持具２３を介
して設けられた投光レンズ２４を備え、また第１受光器
７は、受光素子３０と、この受光素子３０を保持するブ
ツシュ３１と、受光素子３０の前側にＨＱ ＩＪられ外
乱光を遮断する光フィルタ３２と、この光フィルタ３２
に接して設けられたスペーＩＪ−３３と、このスペーサ
３３のｒ−１面に設けられた受光レンズ３４と、この受
光レンズ３４に接するように取り付けられた押えリング
３５とを備えている。なお第２投光器８と第２受光器９
の構成は第１投光器６と同じであるから説明を省略する
。
うに、レーデｉ！胃として例えば半導体し一ザー２０と
、この半導体レーザー２０を保持するブツシュ２１と、
半導体レーザー２０からでるレーザ光の方向に設けられ
シー１１光の散乱光を除去するコリメータ２２と、この
コリメータ２２の先端部にスペーサ等の保持具２３を介
して設けられた投光レンズ２４を備え、また第１受光器
７は、受光素子３０と、この受光素子３０を保持するブ
ツシュ３１と、受光素子３０の前側にＨＱ ＩＪられ外
乱光を遮断する光フィルタ３２と、この光フィルタ３２
に接して設けられたスペーＩＪ−３３と、このスペーサ
３３のｒ−１面に設けられた受光レンズ３４と、この受
光レンズ３４に接するように取り付けられた押えリング
３５とを備えている。なお第２投光器８と第２受光器９
の構成は第１投光器６と同じであるから説明を省略する
。
一方、静電容量式距離検出器５は、第２図に示すように
セラミック製絶縁部４０と、金属製ノズル部４１と、こ
の金ｆｉＲ”ＩＪノズルｉ′ＪＩ４１に固定された静電
気誘導の電極部４２と、この電極部４２に接続された電
気コード４３とから構成されている。
セラミック製絶縁部４０と、金属製ノズル部４１と、こ
の金ｆｉＲ”ＩＪノズルｉ′ＪＩ４１に固定された静電
気誘導の電極部４２と、この電極部４２に接続された電
気コード４３とから構成されている。
一方、上記位置決め装置３の光学式位置検出器４と静電
容量式距離検出器５とからの信号を第１図に示す信号処
理８置５０で受けており、この信号処理装置５０は、第
６図に示すように第１投光器６を１ＩＩｌｌｔＩｌ？ｌ
るレーＩｆ−ドライバ５１と、第１受光器７の検知回路
５２と、第２投光器８をあり御するレージ−ドライバ５
３と、第２受光３７の検知回路５３と、電極部４２に誘
導された静電気の検知装Ｖ！１５５とから構成されてい
る。
容量式距離検出器５とからの信号を第１図に示す信号処
理８置５０で受けており、この信号処理装置５０は、第
６図に示すように第１投光器６を１ＩＩｌｌｔＩｌ？ｌ
るレーＩｆ−ドライバ５１と、第１受光器７の検知回路
５２と、第２投光器８をあり御するレージ−ドライバ５
３と、第２受光３７の検知回路５３と、電極部４２に誘
導された静電気の検知装Ｖ！１５５とから構成されてい
る。
つぎに作用を説明する。
ＣＯ２レーデ−加工機等のレージ加工機の運転時におい
ては、加工ヘッド１は、あらかじめ敬承された加工経路
に沿ってワーク１０に対して対向するが、ワーク１０は
レープ−加工が進むにつれて変形が生じ、第５図に示す
基準対向距離のワーク位置１０に対して近い位置１０ａ
、または遠い位置１０ｂに対向距離が変動する。したが
って、上記第１投光混６からワーク１０に向【ノて投光
されるＲ１測光１１は、ワーク１Ｑ上に計測用輝点１２
を形成し、この計測用輝点１２の乱反射光の一部は反射
光１３として第１受光器７に戻されるが、基準対向距離
のワーク位置１０に対して近い位置１０ａにあるワーク
においては、第１投光器６からワーク１０の位置１０ａ
に向けて投光される計測光１１は、ワーク１０上に計測
用輝点１２ａを形成し、基準対向距離のワーク位置１０
に対して遠い位置１０ｂにあるワークにおいては、ワー
ク１０上に計測用輝点１２ｂを形成する。
ては、加工ヘッド１は、あらかじめ敬承された加工経路
に沿ってワーク１０に対して対向するが、ワーク１０は
レープ−加工が進むにつれて変形が生じ、第５図に示す
基準対向距離のワーク位置１０に対して近い位置１０ａ
、または遠い位置１０ｂに対向距離が変動する。したが
って、上記第１投光混６からワーク１０に向【ノて投光
されるＲ１測光１１は、ワーク１Ｑ上に計測用輝点１２
を形成し、この計測用輝点１２の乱反射光の一部は反射
光１３として第１受光器７に戻されるが、基準対向距離
のワーク位置１０に対して近い位置１０ａにあるワーク
においては、第１投光器６からワーク１０の位置１０ａ
に向けて投光される計測光１１は、ワーク１０上に計測
用輝点１２ａを形成し、基準対向距離のワーク位置１０
に対して遠い位置１０ｂにあるワークにおいては、ワー
ク１０上に計測用輝点１２ｂを形成する。
したがって第１受光ｉ！！７に戻される反射光は、１３
．１３ａ、１３ｂとなッテ、像ヲｙ？、なツタ位置に現
わすため、これら計測用輝点位置から三角１ｌＩｌ量の
Ｉｒｔ理に基づいて対向距離が計測される。同様に第２
投光器８と第２受光器９の間でも同じ様に計測され、こ
れら計測用輝点位置から三角側ｎ１の原理に基づいて対
向距離が計測される。第１投光器６と第２投光器８は同
一面で９０度の角度間隔を置いて配置されているので、
第１受光器７と第２受光器９からの信号を信号処理８置
５０で演算することで、ワークの対向距離と対向姿勢を
検知できることになる。また第１受光器７の検知回路５
２と第２受光器７の検知回路５３とにより検知された受
光量により対向姿勢が検知される。
．１３ａ、１３ｂとなッテ、像ヲｙ？、なツタ位置に現
わすため、これら計測用輝点位置から三角１ｌＩｌ量の
Ｉｒｔ理に基づいて対向距離が計測される。同様に第２
投光器８と第２受光器９の間でも同じ様に計測され、こ
れら計測用輝点位置から三角側ｎ１の原理に基づいて対
向距離が計測される。第１投光器６と第２投光器８は同
一面で９０度の角度間隔を置いて配置されているので、
第１受光器７と第２受光器９からの信号を信号処理８置
５０で演算することで、ワークの対向距離と対向姿勢を
検知できることになる。また第１受光器７の検知回路５
２と第２受光器７の検知回路５３とにより検知された受
光量により対向姿勢が検知される。
一方静電容ａ式距離検出器５は、ワーク１０との間の静
電容量が対向距離に比例することから検知回路５５で対
向距離を計測する。
電容量が対向距離に比例することから検知回路５５で対
向距離を計測する。
しかして上記計測データは、信号処理回路を介してレー
ザー加工機の図示しないＮＣ装置に送信され、加工ヘッ
ド１の位置イー制御のための信号として作用し、正しい
姿勢の時には対向距離データにより対向距離を加工しな
がら修正し、小さく姿勢がずれた時には、光学式位置検
出器４の計測データにより姿勢を修正し、大きく￥ｌｙ
５がずれた時には、レーザー光を止めて加工点を中心と
して第１投光器６と第１受光器７、および第２投光器８
と第２受光′ＦＡ９のなす平面を回転さμろように加工
ヘッド１をピボットターンさせるとともに、静電容量式
距離検出器５によりワークとの衝突防止を監視しながら
第１受光器７と第２受光器９の受光ｍからワークと加工
ノズルとの対向姿勢を正しく修正することができる。
ザー加工機の図示しないＮＣ装置に送信され、加工ヘッ
ド１の位置イー制御のための信号として作用し、正しい
姿勢の時には対向距離データにより対向距離を加工しな
がら修正し、小さく姿勢がずれた時には、光学式位置検
出器４の計測データにより姿勢を修正し、大きく￥ｌｙ
５がずれた時には、レーザー光を止めて加工点を中心と
して第１投光器６と第１受光器７、および第２投光器８
と第２受光′ＦＡ９のなす平面を回転さμろように加工
ヘッド１をピボットターンさせるとともに、静電容量式
距離検出器５によりワークとの衝突防止を監視しながら
第１受光器７と第２受光器９の受光ｍからワークと加工
ノズルとの対向姿勢を正しく修正することができる。
なお上記実施例においては、光学式位置検出器には３！
測ユニツトを直角関係を保つように２セツト内蔵させた
ものについて説明したが、計測ユニットが３セット以上
あってもよいのはもちろｌυである。
測ユニツトを直角関係を保つように２セツト内蔵させた
ものについて説明したが、計測ユニットが３セット以上
あってもよいのはもちろｌυである。
以上述べたように本発明によれば、従来の加工可能材料
の他にアルミニウム材料のような光沢のある対像物を加
工ノズルに対重る対向距離および対向姿勢を正しい位置
に保つように位置決めすることができる。
の他にアルミニウム材料のような光沢のある対像物を加
工ノズルに対重る対向距離および対向姿勢を正しい位置
に保つように位置決めすることができる。
第１図は本発明による位置決め装置のシー１１加工機の
加工ヘッドに組み込んだ状態を示１図、第２図は同加工
ヘッドの一部を破いて示ず側面図、第３図は加工ヘッド
の下面図、第４図は第２図のＩＶ −ｍＶに泊った図、
第５図ｔま光学式ｂＬｒ！ｉ検出蒸の作用を示す図、第
６図は信号処理装置を示１ブロック図である。 決め装置、４・・・光学式位置検出器、５・・・静電容
量式距離検出器、６・・・第１投光器、７・・・第１受
光器、８・・・第２投光器、９・・・第２受光器、１０
・・・ワーク、１１・・・計ＩＩＩ九、１２・・・４測
用輝点、１３・・・反射光、４１・・・金属製ノズル、
５０・・・信号処理装置。
加工ヘッドに組み込んだ状態を示１図、第２図は同加工
ヘッドの一部を破いて示ず側面図、第３図は加工ヘッド
の下面図、第４図は第２図のＩＶ −ｍＶに泊った図、
第５図ｔま光学式ｂＬｒ！ｉ検出蒸の作用を示す図、第
６図は信号処理装置を示１ブロック図である。 決め装置、４・・・光学式位置検出器、５・・・静電容
量式距離検出器、６・・・第１投光器、７・・・第１受
光器、８・・・第２投光器、９・・・第２受光器、１０
・・・ワーク、１１・・・計ＩＩＩ九、１２・・・４測
用輝点、１３・・・反射光、４１・・・金属製ノズル、
５０・・・信号処理装置。
Claims (1)
- 対象物上に投光して複数の計測用輝点を形成する複数
の投光器と、上記投光器に対して所定の傾斜角を有して
配設され複数の計測用輝点を三角測量の原理で距離測定
する複数の受光器と、上記受光器からの計測用輝点位置
データから対象物までの距離および対象物の姿勢を計測
する第１信号処理装置と、上記複数の計測用輝点の近く
でかつ計測用輝点に対向するように配置された金属チッ
プと、この金属チップに対して電圧を印加し静電誘導さ
れた電荷の大きさにより対象物との間の距離を求める第
２信号処理装置と、上記第１信号処理装置および第２信
号処理装置からの計測信号により対象物の姿勢ずれと衝
突防止を監視する制御装置とを有することを特徴とする
位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63237516A JPH0288152A (ja) | 1988-09-24 | 1988-09-24 | 位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63237516A JPH0288152A (ja) | 1988-09-24 | 1988-09-24 | 位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0288152A true JPH0288152A (ja) | 1990-03-28 |
Family
ID=17016482
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63237516A Pending JPH0288152A (ja) | 1988-09-24 | 1988-09-24 | 位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0288152A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991001849A1 (fr) * | 1989-07-27 | 1991-02-21 | Fanuc Ltd | Unite de commande de profils sans contact |
| WO1991004833A1 (fr) * | 1989-10-04 | 1991-04-18 | Fanuc Ltd | Dispositif de commande de profil sans contact |
| US5718832A (en) * | 1993-10-15 | 1998-02-17 | Fanuc Ltd. | Laser beam machine to detect presence or absence of a work piece |
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1988
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