JPH03116410U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03116410U JPH03116410U JP2515590U JP2515590U JPH03116410U JP H03116410 U JPH03116410 U JP H03116410U JP 2515590 U JP2515590 U JP 2515590U JP 2515590 U JP2515590 U JP 2515590U JP H03116410 U JPH03116410 U JP H03116410U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- movement mechanism
- fine movement
- laminated piezoelectric
- thin plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 1
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
第１図は本考案三次元積層型圧電素子概略図、
第２図ａ，ｂはドーナツ状圧電素子薄板部の電極
構成を示した図、第３図は本考案積層型圧電素子
を用いた微動機構（両振りタイプ）、第４図は本
考案積層型圧電素子を用いた微動機構を（片振り
タイプ）、第５図は第１実施例微動機構を組み込
んだユニツトの概略図、第６図は、第２実施例微
動機構を組み込んだユニツトの概略図、第７図は
、圧電素子体の変形を示した図、第８図は積層構
造の変形を示した図、第９図は単一中空円筒圧電
素子概略図、第１０図は単一中空円筒圧電素子の
動作説明図をそれぞれ示したものである。 １……積層型圧電素子、２ａ，２ｂ，２ｃ，２
ｄ，２ｅ，２ｆ……リード線、３ａ，３ｂ……ド
ーナツ状圧電素子薄板、４ａ，４ｂ……電極、５
ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ……分割電極、５ｅ……共
通電極、２０……探針。
第２図ａ，ｂはドーナツ状圧電素子薄板部の電極
構成を示した図、第３図は本考案積層型圧電素子
を用いた微動機構（両振りタイプ）、第４図は本
考案積層型圧電素子を用いた微動機構を（片振り
タイプ）、第５図は第１実施例微動機構を組み込
んだユニツトの概略図、第６図は、第２実施例微
動機構を組み込んだユニツトの概略図、第７図は
、圧電素子体の変形を示した図、第８図は積層構
造の変形を示した図、第９図は単一中空円筒圧電
素子概略図、第１０図は単一中空円筒圧電素子の
動作説明図をそれぞれ示したものである。 １……積層型圧電素子、２ａ，２ｂ，２ｃ，２
ｄ，２ｅ，２ｆ……リード線、３ａ，３ｂ……ド
ーナツ状圧電素子薄板、４ａ，４ｂ……電極、５
ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ……分割電極、５ｅ……共
通電極、２０……探針。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 試料と検出部との微小位置決めを行う微動
機構において、電極が分割して形成されている圧
電素子薄板が一部あるいは全部積層して形成され
ていることを特徴とする積層型圧電素子微動機構
。 (2) 前記圧電素子薄板にドーナツ状圧電素子薄
板を用いて中空円筒型の積層圧電素子状にしたこ
とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項に
記載の積層型圧電素子微動機構。 (3) 前記積層型圧電素子微動機構を試料と検出
探針間の二次元または三次元の微小位置決めに用
いたことを特徴とする走査型トンネル顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2515590U JPH03116410U (ja) | 1990-03-13 | 1990-03-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2515590U JPH03116410U (ja) | 1990-03-13 | 1990-03-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03116410U true JPH03116410U (ja) | 1991-12-03 |
Family
ID=31528096
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2515590U Pending JPH03116410U (ja) | 1990-03-13 | 1990-03-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03116410U (ja) |
-
1990
- 1990-03-13 JP JP2515590U patent/JPH03116410U/ja active Pending