JPH0311886B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0311886B2 JPH0311886B2 JP62278945A JP27894587A JPH0311886B2 JP H0311886 B2 JPH0311886 B2 JP H0311886B2 JP 62278945 A JP62278945 A JP 62278945A JP 27894587 A JP27894587 A JP 27894587A JP H0311886 B2 JPH0311886 B2 JP H0311886B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- cutting
- grinding wheel
- rotation
- cut
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、シリコン等のワーク材を低速で回転
しながら、高速回転する砥石車に切込み送りをあ
たえて切断するワーク回転式切断方法に関する。
しながら、高速回転する砥石車に切込み送りをあ
たえて切断するワーク回転式切断方法に関する。
［従来技術及び発明が解決しようとする問題点］
従来、シリコン等の硬くて脆いワーク材を切断
するには、ワーク材を固定し、砥石車を高速回転
しながら切込み切断しているが、この方法では、
ワーク材が大径になるに従つて、砥石車の外径が
非常に大きくなり、また砥石車の厚さも厚くな
る。この欠点を解決するため、ワーク材を低速で
回転しながら切断するワーク回転式切断方法が開
発された。併しながら、この切断方法では回転す
るワーク材は片持となつて先端は保持されていな
いため、切込みが進んで切断残部の直径が小さく
なるにつれて、切断片は自重のため次第にブレが
生じ、遂にはこの部分では折損してしまう。この
ため切断面中心部に僅小ながら凹凸破損部（ヘ
ソ）が残り、これは研磨して除去しなければなら
ないので手数を要し、又時として破損時の凹傷が
大きい場合は不良品となる。
するには、ワーク材を固定し、砥石車を高速回転
しながら切込み切断しているが、この方法では、
ワーク材が大径になるに従つて、砥石車の外径が
非常に大きくなり、また砥石車の厚さも厚くな
る。この欠点を解決するため、ワーク材を低速で
回転しながら切断するワーク回転式切断方法が開
発された。併しながら、この切断方法では回転す
るワーク材は片持となつて先端は保持されていな
いため、切込みが進んで切断残部の直径が小さく
なるにつれて、切断片は自重のため次第にブレが
生じ、遂にはこの部分では折損してしまう。この
ため切断面中心部に僅小ながら凹凸破損部（ヘ
ソ）が残り、これは研磨して除去しなければなら
ないので手数を要し、又時として破損時の凹傷が
大きい場合は不良品となる。
［問題点を解決するための手段］
本発明は斯様な実情に鑑み、ワーク回転式切断
機における前記欠点を解決するため、ワーク材の
被切断側端面に、ワーク材回転軸と同心に突き当
て部材を当接させ、且つその内側又は外側に真空
吸着部材を配置し、この突き当て部材と真空吸着
部材を、ワーク材の回転に同調して回転するよう
にして、切断と同時に凹凸破損部（ヘソ）の無い
良好な切断面を得ることを目的として提供するも
のである。
機における前記欠点を解決するため、ワーク材の
被切断側端面に、ワーク材回転軸と同心に突き当
て部材を当接させ、且つその内側又は外側に真空
吸着部材を配置し、この突き当て部材と真空吸着
部材を、ワーク材の回転に同調して回転するよう
にして、切断と同時に凹凸破損部（ヘソ）の無い
良好な切断面を得ることを目的として提供するも
のである。
［実施例］
次に本発明に係るワーク回転式切断方法の切断
機の実施例を添付図面に基いて具体的に説明す
る。
機の実施例を添付図面に基いて具体的に説明す
る。
１は機体で、上部にテーブル２を設け、更にテ
ーブル２には、一端側にワーク材Ｗを挟持する一
般公知の爪をもつた中空のチヤツク体と、これを
軸受けする軸受体からなる二組のチヤツク装置
３，４を配装してある。
ーブル２には、一端側にワーク材Ｗを挟持する一
般公知の爪をもつた中空のチヤツク体と、これを
軸受けする軸受体からなる二組のチヤツク装置
３，４を配装してある。
一方のチヤツク装置３は固定し、他方のチヤツ
ク装置４はワーク材Ｗに応じて移動できるように
なつていて、ワーク材が長尺の場合移動調整して
固定し、他方の固定側チヤツク装置３と併用し使
用するものである。
ク装置４はワーク材Ｗに応じて移動できるように
なつていて、ワーク材が長尺の場合移動調整して
固定し、他方の固定側チヤツク装置３と併用し使
用するものである。
固定側チヤツク装置３の正面側には仕切板等を
設け切削液侵入を防ぐようにしてある。
設け切削液侵入を防ぐようにしてある。
固定側チヤツク装置３はチヤツク体３ａにはス
プロケツト５を取付け、このスプロケツト５とモ
ータ６側に設けたスプロケツト７間をチエン８を
介して連繋し、チヤツク体で挟持されたワーク材
Ｗに回転をあたえている。
プロケツト５を取付け、このスプロケツト５とモ
ータ６側に設けたスプロケツト７間をチエン８を
介して連繋し、チヤツク体で挟持されたワーク材
Ｗに回転をあたえている。
固定側チヤツク装置３と対応するテーブル２の
他方には、ワーク材Ｗの回転軸線と同一軸線上に
中空軸９を軸受部材１０で軸受けして配し、更
に、この軸受部材１０は支持台１０ａ上を摺動し
て適宜の位置で固定されるようになつている。ま
た中空軸９の一端ワーク材Ｗ側には凹部１１ａを
設けた合成樹脂材からなつ突き当て部材１１を取
付けたヘツド１２を有し、他端はスイベル１３を
介して真空駆動源に通じている。前記突き当て部
材１１の凹部１１ａ内中央部には、中空軸９と通
路１４を介して通じた吸着盤１５を設け、切断時
にワークＷの断面を吸着するようにしてある。
他方には、ワーク材Ｗの回転軸線と同一軸線上に
中空軸９を軸受部材１０で軸受けして配し、更
に、この軸受部材１０は支持台１０ａ上を摺動し
て適宜の位置で固定されるようになつている。ま
た中空軸９の一端ワーク材Ｗ側には凹部１１ａを
設けた合成樹脂材からなつ突き当て部材１１を取
付けたヘツド１２を有し、他端はスイベル１３を
介して真空駆動源に通じている。前記突き当て部
材１１の凹部１１ａ内中央部には、中空軸９と通
路１４を介して通じた吸着盤１５を設け、切断時
にワークＷの断面を吸着するようにしてある。
前記中空軸９には歯車１６を取付け、この歯車
１６をモータ１７から変速機１８を経て回転する
ピニオン１９に噛合せて、モータ１７の回転で中
空軸９を回転する。この回転はワークＷの回転
と、同調させるためワーク回転用モータからのエ
ンコーダ２０と中空軸９の回転用モータ１７の出
力軸のエンコーダ２１の信号により電気的に同期
回転するようにしてある。
１６をモータ１７から変速機１８を経て回転する
ピニオン１９に噛合せて、モータ１７の回転で中
空軸９を回転する。この回転はワークＷの回転
と、同調させるためワーク回転用モータからのエ
ンコーダ２０と中空軸９の回転用モータ１７の出
力軸のエンコーダ２１の信号により電気的に同期
回転するようにしてある。
また、機体１上には、前記テーブル２に対して
直角に摺動台２２を装着し、この摺動台２２には
テーブル２に対し体進後退する可動盤２３を摺嵌
して、この可動盤２３を摺動台２２に添つて設け
た送りねじ軸２４に螺合させ、また送りねじ軸２
４にはスプロケツト２５を取付けてあつて、この
スプロケツト２５をクラツチボツクス２６を経て
送り用モータ２７にチエン等を介して連繋させ
る。可動盤２３には、前進位置と、後退位置を設
定するストツパー２８，２９を取付けて、このス
トツパーと対向してリミツトスイツチ３０，３１
を摺動台２２に配してある。また可動盤２３には
前記ストツパー２８，２９とは別にワーク材Ｗ切
断進行中又は切断完了と同時に真空駆動源の回路
に設けた電磁弁を開くストツパー２８ａとリミツ
トスイツチ３０ａを設けてある。更に可動盤２３
には、ワーク材Ｗと平行に固定盤３２を取付け、
これに位置決めモータ３３からの螺軸３４に螺合
させた砥石台３５に摺嵌して、モータ３３により
左右に移動させ位置を決めるようにしてある。砥
石台３５には軸受体３６を有するフレーム３５ａ
を設け、軸受体３６は、一端に砥石車（ダイヤモ
ンドソー）３７と、他端にプーリ３８を取付けた
砥石軸３９を軸受し、プーリ３８は砥石台３５上
に設けた砥石用モータ４０のプーリ４０ａとベル
ト４１を介して連絡させ、砥石車３７を回転する
ようにしてある。第５図は中空軸９のヘツド１２
の別の実施例で、突き当て部材１１の外側に複数
（本件では３ケ）の吸着盤１５ａ，１５ａを配し
てこの吸着盤１５ａは夫々通路１４ａを介して中
空軸９に連絡している。
直角に摺動台２２を装着し、この摺動台２２には
テーブル２に対し体進後退する可動盤２３を摺嵌
して、この可動盤２３を摺動台２２に添つて設け
た送りねじ軸２４に螺合させ、また送りねじ軸２
４にはスプロケツト２５を取付けてあつて、この
スプロケツト２５をクラツチボツクス２６を経て
送り用モータ２７にチエン等を介して連繋させ
る。可動盤２３には、前進位置と、後退位置を設
定するストツパー２８，２９を取付けて、このス
トツパーと対向してリミツトスイツチ３０，３１
を摺動台２２に配してある。また可動盤２３には
前記ストツパー２８，２９とは別にワーク材Ｗ切
断進行中又は切断完了と同時に真空駆動源の回路
に設けた電磁弁を開くストツパー２８ａとリミツ
トスイツチ３０ａを設けてある。更に可動盤２３
には、ワーク材Ｗと平行に固定盤３２を取付け、
これに位置決めモータ３３からの螺軸３４に螺合
させた砥石台３５に摺嵌して、モータ３３により
左右に移動させ位置を決めるようにしてある。砥
石台３５には軸受体３６を有するフレーム３５ａ
を設け、軸受体３６は、一端に砥石車（ダイヤモ
ンドソー）３７と、他端にプーリ３８を取付けた
砥石軸３９を軸受し、プーリ３８は砥石台３５上
に設けた砥石用モータ４０のプーリ４０ａとベル
ト４１を介して連絡させ、砥石車３７を回転する
ようにしてある。第５図は中空軸９のヘツド１２
の別の実施例で、突き当て部材１１の外側に複数
（本件では３ケ）の吸着盤１５ａ，１５ａを配し
てこの吸着盤１５ａは夫々通路１４ａを介して中
空軸９に連絡している。
［作用］
本発明は前記の構成で、ワーク材Ｗを長さに応
じて二つのチヤツク装置３，４で挟持するか、或
いは固定チヤツク装置３だけで挟持し、砥石車３
７をワーク材Ｗに近づけて砥石台３５を移動して
切断する位置を決める。更に、中空軸９の軸受部
材１０を支持台１０ａ上を摺動させて、突き当て
部材１１の断面をワーク材Ｗの端面に当接して固
定する。次にワーク材Ｗ及び砥石車３７を回転す
る。この時ワーク材Ｗの回転用モータ６からのエ
ンコーダ２０と中空軸回転用出力軸からのエンコ
ーダ２１の信号によりワーク材Ｗの回転と、突き
当て部材１１及び吸着盤１５の回転は電気的に同
調して回転する。ワーク材Ｗはチヤツク体と突き
当て部材１１で支持して低速回転し、この回転中
に高速回転する砥石車３７を可動盤２３の切込送
りで前進させ、ストツパー２８で設定した設定位
置まで前進させて切断作業を行ない切断される。
この間、ストツパー２８ａを切断完了少し前か、
又は切断完了と同時に作動して真空吸着が作用す
るように設定しておけば、切断残部が小径になつ
ても切断片は突き当て部材１１が当接しているた
めブレることも無く、又突き当て部材１１及び吸
着盤１５の摩擦力又は吸着力によつてワーク材と
同調して回転し、最後まで折損することなくきれ
いに切断される。
じて二つのチヤツク装置３，４で挟持するか、或
いは固定チヤツク装置３だけで挟持し、砥石車３
７をワーク材Ｗに近づけて砥石台３５を移動して
切断する位置を決める。更に、中空軸９の軸受部
材１０を支持台１０ａ上を摺動させて、突き当て
部材１１の断面をワーク材Ｗの端面に当接して固
定する。次にワーク材Ｗ及び砥石車３７を回転す
る。この時ワーク材Ｗの回転用モータ６からのエ
ンコーダ２０と中空軸回転用出力軸からのエンコ
ーダ２１の信号によりワーク材Ｗの回転と、突き
当て部材１１及び吸着盤１５の回転は電気的に同
調して回転する。ワーク材Ｗはチヤツク体と突き
当て部材１１で支持して低速回転し、この回転中
に高速回転する砥石車３７を可動盤２３の切込送
りで前進させ、ストツパー２８で設定した設定位
置まで前進させて切断作業を行ない切断される。
この間、ストツパー２８ａを切断完了少し前か、
又は切断完了と同時に作動して真空吸着が作用す
るように設定しておけば、切断残部が小径になつ
ても切断片は突き当て部材１１が当接しているた
めブレることも無く、又突き当て部材１１及び吸
着盤１５の摩擦力又は吸着力によつてワーク材と
同調して回転し、最後まで折損することなくきれ
いに切断される。
設定位置まで前進して切断されると早戻りに切
替つて可動盤２３により砥石車３７は後退し後退
位置のストツパー２９がをリミツトスイツチ３１
を作動して停止して砥石車３７の回転及びワーク
材Ｗの回転は停止する。切断片は吸着盤１５に一
定時間吸着されたまま残る。
替つて可動盤２３により砥石車３７は後退し後退
位置のストツパー２９がをリミツトスイツチ３１
を作動して停止して砥石車３７の回転及びワーク
材Ｗの回転は停止する。切断片は吸着盤１５に一
定時間吸着されたまま残る。
［効果］
上述のように、本発明は、ワーク材を回転し、
その回転軸と直角の方向に、高速回転する砥石車
を移動して薄片を切断するワーク回転式切断機に
おいて、ワーク材の被切断側断面に、ワーク材回
転軸と同心に突き当て部材を当接させ、且つその
内側又は外側に真空吸着部材を配置し、この突き
当て部材と真空吸着部材を、ワーク材の回転に同
調して回転するようにしたことを特徴とするワー
ク回転式切断方法であつて、切断片を突き当て部
材と真空吸着盤で保持し、かつ、これ等をワーク
材と同調して回転しているため、切込みが進んで
切断残部が小径になつても切断片はブレることな
く切断は最後まで安定して進行し従来のような凹
凸破損部（ヘソ）は無く、きれいな切断面が得ら
れる。従つて不良品も無くなり、凹凸部の研磨仕
上げ作業は不要となつる。また切断後落下して割
れる等の事故も無くなり、歩留りの改善、工程の
簡略化等多大の効果がある。
その回転軸と直角の方向に、高速回転する砥石車
を移動して薄片を切断するワーク回転式切断機に
おいて、ワーク材の被切断側断面に、ワーク材回
転軸と同心に突き当て部材を当接させ、且つその
内側又は外側に真空吸着部材を配置し、この突き
当て部材と真空吸着部材を、ワーク材の回転に同
調して回転するようにしたことを特徴とするワー
ク回転式切断方法であつて、切断片を突き当て部
材と真空吸着盤で保持し、かつ、これ等をワーク
材と同調して回転しているため、切込みが進んで
切断残部が小径になつても切断片はブレることな
く切断は最後まで安定して進行し従来のような凹
凸破損部（ヘソ）は無く、きれいな切断面が得ら
れる。従つて不良品も無くなり、凹凸部の研磨仕
上げ作業は不要となつる。また切断後落下して割
れる等の事故も無くなり、歩留りの改善、工程の
簡略化等多大の効果がある。
図面は本発明に係るワーク回転式切断方法の切
断機の一実施例を示したもので、第１図は正面
図、第２図は平面図、第３図は側面図、第４図は
中空軸駆動部の一部拡大平面図、第５図は突き当
て部材と吸着盤を有するヘツドの他の実施例を示
したものである。 １……機体、２……テーブル、３，４……チヤ
ツク装置、３ａ，４ａ……チヤツク体、５，７…
…スプロケツト、６，１７……モータ、８……チ
エン、９……中空軸、１０……軸受部材、１０ａ
……支持台、１１……突き当て部材、１１ａ……
凹部、１２……ヘツド、１３……スイベル、１
４，１４ａ……通路、１５，１５ａ……吸着盤、
１６……歯車、１８……変速機、１９……ピニオ
ン、２０，２１……エンコーダ、２２……摺動
台、２３……可動盤、２４……送りねじ軸、２６
……クラツチボツクス、２７……モータ、２８，
２８ａ，２９，……ストツパー、３０，３０ａ，
３１……リミツトスイツチ、３２……固定盤、３
３……モータ、３４……螺軸、３５……砥石台、
３５ａ……フレーム、３６……軸受体、３７……
砥石車、３８……プーリ、３９……砥石軸、４０
……モータ、４１……ベルト、Ｗ……ワーク材。
断機の一実施例を示したもので、第１図は正面
図、第２図は平面図、第３図は側面図、第４図は
中空軸駆動部の一部拡大平面図、第５図は突き当
て部材と吸着盤を有するヘツドの他の実施例を示
したものである。 １……機体、２……テーブル、３，４……チヤ
ツク装置、３ａ，４ａ……チヤツク体、５，７…
…スプロケツト、６，１７……モータ、８……チ
エン、９……中空軸、１０……軸受部材、１０ａ
……支持台、１１……突き当て部材、１１ａ……
凹部、１２……ヘツド、１３……スイベル、１
４，１４ａ……通路、１５，１５ａ……吸着盤、
１６……歯車、１８……変速機、１９……ピニオ
ン、２０，２１……エンコーダ、２２……摺動
台、２３……可動盤、２４……送りねじ軸、２６
……クラツチボツクス、２７……モータ、２８，
２８ａ，２９，……ストツパー、３０，３０ａ，
３１……リミツトスイツチ、３２……固定盤、３
３……モータ、３４……螺軸、３５……砥石台、
３５ａ……フレーム、３６……軸受体、３７……
砥石車、３８……プーリ、３９……砥石軸、４０
……モータ、４１……ベルト、Ｗ……ワーク材。
Claims (1)
- １ ワーク材を回転し、そのワーク材と直角の方
向に、高速回転する砥石車を設け、この砥石車を
ワーク材方向に移動して薄片を切断するワーク回
転式切断機において、ワーク材の被切断側端面
に、ワーク材の回転中心軸線と同心に設けた突き
当て部材と、その突き当て部材の内側又は外側に
は真空吸着部材を当接し、且つ真空吸着部材で吸
着させてワーク材の回転に同調して回転し、ワー
ク材を支えて切断することを特徴とするワーク回
転式切断方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27894587A JPH01120307A (ja) | 1987-11-04 | 1987-11-04 | ワーク回転式切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27894587A JPH01120307A (ja) | 1987-11-04 | 1987-11-04 | ワーク回転式切断方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01120307A JPH01120307A (ja) | 1989-05-12 |
| JPH0311886B2 true JPH0311886B2 (ja) | 1991-02-19 |
Family
ID=17604253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27894587A Granted JPH01120307A (ja) | 1987-11-04 | 1987-11-04 | ワーク回転式切断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01120307A (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61125767A (ja) * | 1984-11-20 | 1986-06-13 | Sumitomo Metal Ind Ltd | ワイヤソ−のウエハ取出方法 |
-
1987
- 1987-11-04 JP JP27894587A patent/JPH01120307A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01120307A (ja) | 1989-05-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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