JPH03129846A - プロービング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ウェーハ上に形された固体撮像素子の電気特
性を測定するプロービング装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種のプロービング装置は、ウェーハ上に多数
個形成された固体撮像素子をプローブで接触し、その素
子の電気特性を測定するものである。第３図は従来のプ
ロービング装置を説明するためのプロービング装置の部
分断面図である。このプロービング装置は、同図に示す
ように、固体撮像素子が多数形成されたウェーハ１を搭
載するステージ４と、固体撮像素子の入出力端子と接触
するプローブ針２をもつプローブカード５と、固体撮像
素子の良否を識別するためのマーカーをつけるインカー
３とを有していた。また、この図面には示さないが、プ
ローブ針２から得られるデータを転送し、良否を判断す
る制御系と、前記ステージ４とプローブカード５を相対
的に移動する駆動制御装置とが付加されてテスタ装置を
形成していた、このようなプロービング装置を使用して
、固体撮像素子を検査する場合には、まず、駆動制御装
置によりプローブカード５の下に測定しようとする固体
撮像素子の位置に移動させる０次に、プローブカード５
を下降し、プローブ針２を固体撮像素子の入出力端子に
接触させる０次に、制御系よりプローブ針２を介して電
圧を印加させたり、電気信号を収集したりして、この撮
像素子の良否を判定する０次に、測定に撮像素子の良否
が判明すれば、インカー３により良否を識別するマーク
の印ずけを行う。このようにウェーハ１に形成された固
体撮像素子を順次検査を行っていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のプロービング装置では、ウェーハの表面
が上向きでプローブ針及びインカー針をウェーハ面に当
てる構造となっているので、針先に付着した比較的に比
重の高いごみ（金属製ごみ）がウェーハ面に落ち、固体
撮像素子の性能を悪化させるという問題がある。

本発明の目的は、かかる問題を解消し、ウェーハ面にご
みが落下しないプロービング装置を提供することにある
。

〔課題を解決するための手段〕 本発明のプロービング装置は、−主面に多数の機能素子
が形成されたウェーハを固定保持するステージと、この
ステージに対向して配置されるプローブカードと、この
プローブカードに取付けられるとともに前記機能素子の
入出力端子と接触して、前記機能素子の性能を測定する
プローブ針と、前記プローブカードに取付けられるとと
もに前記機能素子の良否の識別マークを印字するインカ
ーとを有するプロービング装置において、前記プローブ
カードが前記ステージの下から横方向の角度のいずれか
に対向して配置されていることを特徴としている。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明のプロービング装置の第１の実施例を説
明するための部分断面図である。この１０−ビング装置
は、同図に示すようにウェーハ１を固定保持するステー
ジ４ａの面を下向きとし、プローブカード５をステージ
１より下側に配置したことである。このようにステージ
４ａとプローブカード５を逆に配置することによって、
例えば、ウェーハ１面にプローブ針２が接触したとき、
ごみが落下しても、空気より重いごみは自然落下により
ウェーハ１面に落下することがない。

また必要に応じて清浄な乾燥窒素ガス等でウェーハ１面
を吹き付けながら測定を行えば、更にその効果が大きく
なる。なお、ウェーハ１を固定保持するステージ４は、
その面に多数の排気孔を設け、真空排気することにより
ウェーハ１を保持する構造になっている。

第２図は本発明のプロービング装置の第２の実施例を説
明するための部分断面図である。このプロービング装置
は、同図に示すように、ステージ４ｂとプローブカード
５を水平に対向して配置したことである。この構造であ
れば、ウェーハ面は垂直に立たせた状態であるので、プ
ローブ針２の接触によりごみが落下しても、自然落下に
より、ウェーハ面にごみが落下することはない。

以上の実施例は、ステージとプローブカードとが上下に
逆に配置した例と、横向きの例で説明したが、この横向
きと下向きの中間に配置する角度で、ステージとプロー
ブカードを配置しても同様の効果が得られる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明はウェーハ表面を下方向又
は横方向に向けることによりプローブ針及びインカー針
に付着したゴミが自然落下するので、ウェーハ面の固体
撮像素子の性能を悪化させるようなごみが落下しないプ
ロービング装置が得られるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のプロービング装置の第１の実施例を説
明するための部分断面図、第２図は本発明のプロービン
グ装置の第２の実施例を説明するための部分断面図、第
３図は従来のプロービング装置の一例を説明するための
部分断面図である。 １・・・ウェーハ、２・・・プローブ針、３・・・イン
カー針、４．４ａ、４ｂ・・・ステージ、５・・・プロ
ーブカード。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　一主面に多数の機能素子が形成されたウェーハを固定
   保持するステージと、このステージに対向して配置され
   るプローブカードと、このプローブカードに取付けられ
   るとともに前記機能素子の入出力端子と接触して、前記
   機能素子の性能を測定するプローブ針と、前記プローブ
   カードに取付けられるとともに前記機能素子の良否の識
   別マークを印字するインカーとを有するプロービング装
   置において、前記プローブカードが前記ステージの下か
   ら横方向の角度のいずれかに対向して配置されているこ
   とを特徴とするプロービング装置。