JPH03136384A - 電歪効果素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は電歪材層と内部電極層とが交互に積層されてい
る電歪効果素子に間し、特に外部電極層の形成に関する
。

〔従来の技術〕

従来、積層型の電歪効果素子は第１０図に示すように、
シート状の電歪材層１と内部電極層２が交互に積層され
、対向する一対の側面に露出する内部電極層２の一方の
端部がガラスにより一対の側面において互いちがいに絶
縁され、絶縁されていない内部電極層２の他方は側面ご
とに設けられた外部電極層４にそれぞれ接続された構造
となっている。このときガラスと外部電極層４とは直接
接触している。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の電歪効果素子の構造は、・外部電極層の
外周付近とガラスにより絶縁されている内部電極層との
間で絶縁抵抗が著しく低下し電歪効果素子の信頼性を損
うという欠点がある。

本発明の目的は、内部電極の端部を絶縁するガラスと外
部電極層の絶縁抵抗を高くすることができ、信頼性の大
幅に向上した電歪効果素子を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の電歪効果素子は、複数の電歪材層と内部電極層
か交互に積層体の対向する側面に露出した内部電極層の
いずれかの対向する側面の露出部に一層おきに第１の絶
縁層であるガラス絶縁層が形成され、そのガラス絶縁層
が形成されていない内部電極層の露出部を電気的に接続
する外部電極層を対向する側面にそれぞれ形成した電歪
効果素子において、ガラス絶縁層と外部電極層との間に
外形が外部電極層より大きく内形が外部電極層より小さ
い枠型の第２の絶縁層を設けたことを特徴として構成さ
れる。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。第１図
（ａ）、（ｂ）は本発明の一実施例の電歪効果素子の正
面図と断面図である。図中１は複合ペロブスカイト構造
を有するチタン酸ジルコニウム酸鉛からなるセラミック
の電歪材層であり、２は電歪材層１をはさむように配設
した銀パラジウム合金を用いた内部電極層、３は内部電
極Ｉ習２の端面を一層おきに絶縁するなめに被着されて
いるガラス絶縁層で、４は内部電極層２を一層おきに電
気的に接続するために導電ペーストを被着した外部電極
層、５はガラスの絶縁層３と外部電極層４との間に配設
された樹脂等の第２の絶縁層である。第２図は本発明の
他の実施例の斜視図、第３図〜第９図は本発明の電歪効
果素子の製造方法を説明するために工程順に示した斜視
図であり、第３図は内部電極２を形成したグリーンシー
ト７の斜視図、第４図はグリーンシート７を積層した積
層体８の斜視図、第５図は積層体８をワイヤー１１を用
いた切断加工機で切断する状態を示す斜視図、第６図は
絶縁層３を形成する前のブロック９を示す斜視図、第７
図（ａ）〜（Ｃ）は絶縁層３を形成する工程順に示した
斜視図、第８図（ａ）、（ｂ）は第２絶縁層５と外部電
極Ｒ４を形成した状態を示した斜視図、第９図はブロッ
ク９より電歪効果素子を切り出す状態を示す斜視図であ
る。

次に、本発明の実施例の製造方法を第３図〜第９図より
説明する。

先ず、チタン酸鉛などを用いたセラミックの仮焼成粉末
を準備し、少量のポリビニルブチラールなどの有機バイ
ンダーおよびフタル酸ジオクチルなどの可塑剤とともに
エチルセルソルブなどの有機溶媒中に分散させて泥漿を
つくる。この泥漿をドクターブレードを用いたスリップ
キャスティング法により定速で移動するポリエステルフ
ィルム面上に流下させて厚さ７０μｍのグリーンシート
を形成する。次に、このグリーンシートをポリエステル
フィルムから剥離した後、第３図に示すように縦７０ｍ
ｍＸ横１００ｍｍに切断したグリーンシート７を作成す
る。次に、銀粉末とパラジウム粉末の混合粉をビヒクル
とともにペースト化させた混合ペーストをべ・−ストが
透過できないマスクパターンを有する印刷スクリーン（
図示省略）を用いてグリーンシート７の片面に、かつ一
端部を除いて被着させた後、乾燥して内部電極層２を形
成する。

次に、内部電極層２を形成したグリーンシート７を１枚
おきに１８０°回転させて所望の枚数だけ積み重ね熱プ
レスで上下から圧着して第４図に示すような積層体８を
形成する。この積層体８は前述の有機バインダーおよび
可塑剤が含まれているので炉中で温度５００℃まで加熱
して可塑剤を蒸発させ、かつ有機バインダーを分解させ
て除去する。次に、この積層体８を次の焼成プロファイ
ル（上昇スピード５℃／分で温度１，１２０℃まで上昇
させ、温度１，１２０℃で２時間保持し、その後自然冷
却する）で焼成する。焼成の完了した積層体８を金属製
、たとえばピアノ線などのワイヤー１１（第５図）を用
いた切断加工機によりブロック上に切削加工して、第６
図に示すようなブロック９を形成する。このときブロッ
ク９の左右の面には一層おきに内部電極層２の端面２ａ
が露出する。この端面２ａを含む左右の面に銀ペースト
を塗って、第７図（ａ）に示すように一対の仮電極層６
を形成する。次に第７図（ｂ）に示すようにマスキング
材１またとえばテフロン性テープなどを、ガラス絶縁層
３を形成する面と対向する面に貼付はブロック９の左右
の面に形成された仮電極層６を用いて電気泳動法により
ブロック９の前面に露出している内部電極層２上に一層
おきにガラス絶縁層３を形成、する。次に前工程でガラ
スの絶縁層３を形成した面にマスキング材１２を貼付け
、前工程と同じ電気泳動法によりブロック９の全面に露
出している内部電極Ｊ！！２上に一層おきにガラス絶縁
層３を形成する（第７図（ｃ））。

次に、第８図（ａ）に示すように、第２の絶縁層５に重
ねるように形成する。次に第９図に示すようにブロック
９を金属製たとえばピアノ線などのワイヤー１１を用い
た切断加工機によって外部電極層４が１つのチップに対
応するようにチップ上に切断加工する。これにより第１
図に示す電歪効果素子が得られる。

第２図は本発明の他の実施例の斜視図である。

図中１は電歪材層、２は内部電極層、３はガラス絶縁層
、４は外部電極層、５は第２の絶縁層である。この実施
例は第２の絶縁層をガラス絶縁層３を形成した面の端部
まで形成し、ガラス絶縁層３と外部電極層４の絶縁抵抗
を高めるだけでなくガラス絶縁ＭＩ３の機械的強度も高
めるという利点がある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は内部電極の端部を絶縁する
ガラスと外部電極層の外周付近とが第２の絶縁層を介し
て接触しているのでガラスと外部電極層の絶縁抵抗が高
くなり電歪効果素子の信頼性が大幅に向上するという効
果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、（ｂ）は本発明の一実施例の電歪効果素
子の模式的正面図および断面図、第２図は本発明の他の
実施例の斜視図、第３図〜第９図は本発明の電歪効果素
子の製造方法を説明するために工程順に示した斜視図で
あり、第３図は内部電極を形成したグリーンシートの斜
視図、第４図はグリーンシートを積層した積層体の斜視
図、第５図は積層体をワイヤーを用いた切断加工機で切
断する状態を示す斜視図、第６図は絶縁層を形成する前
のブロックを示す斜視図、第７図（ａ）〜（ｃ）は絶縁
層を形成する工程順を示す斜視図、第８図（ａ）、（ｂ
）は第２の絶縁層と外部電極層を形成したブロックを示
す斜視図、第９図はブロックより電歪効果素子を切り出
す状態を示す斜視図、第１０図は従来の電歪効果素子を
示す斜視図である。 １・・・電歪材層、２・・・内部電極層、３・・・ガラ
ス絶縁層、４・・・外部電極層、５・・・第２の絶縁層
、６・・・仮電極層、７・・・グリーンシート、８・・
・積層体、９・・・ブロック、１１・・・ワイヤー、１
２・・・マスキング材。 Ｃ） （ｂ） 治１０

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　複数の電歪材層と内部電極層が交互に積層された積層
   体の対向する側面に露出した前記内部電極層のいずれか
   の対向する側面の露出部に一層おきに第１の絶縁層であ
   るガラス絶縁層が形成され、前記ガラス絶縁層が形成さ
   れていない前記内部電極層の露出部を電気的に接続する
   外部電極層を前記対向する側面にそれぞれ形成した電歪
   効果素子において、前記ガラス絶縁層と前記外部電極層
   との間に外形が前記外部電極層より大きく内径が前記外
   部電極層より小さい枠型の第２の絶縁層を設けたことを
   特徴とする電歪効果素子。