JPH0314444U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0314444U JPH0314444U JP7502389U JP7502389U JPH0314444U JP H0314444 U JPH0314444 U JP H0314444U JP 7502389 U JP7502389 U JP 7502389U JP 7502389 U JP7502389 U JP 7502389U JP H0314444 U JPH0314444 U JP H0314444U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- container
- pressure transducer
- thick film
- convex portion
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 3
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図は本考案の半導体圧力変換器の一実施例
の断面図、第２図は別の実施例の断面図、第３図
は更に別の実施例の断面図、第４図は従来の半導
体圧力変換器の一例の断面図である。 １……シリコン感圧ダイアフラムチツプ、２…
…台座、２ａ……圧力導入孔、３……導圧パイプ
、４……容器底部、５……厚膜ＩＣ基板、１１…
…容器蓋部、２０……凸状部。
の断面図、第２図は別の実施例の断面図、第３図
は更に別の実施例の断面図、第４図は従来の半導
体圧力変換器の一例の断面図である。 １……シリコン感圧ダイアフラムチツプ、２…
…台座、２ａ……圧力導入孔、３……導圧パイプ
、４……容器底部、５……厚膜ＩＣ基板、１１…
…容器蓋部、２０……凸状部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 シリコン感圧ダイアフラムチツプに被測定圧力
を供給する導圧パイプが取り付けられた容器底部
と、容器蓋部とが気密接合されて構成される金属
容器内に、圧力導入孔を有する台座を介して前記
導圧パイプに接合されたシリコン感圧ダイアフラ
ムチツプとこの出力信号処理のための厚膜ＩＣ基
板とを封入してなる半導体圧力変換器において、 前記容器底部はその中央部を中心として全円周
にわたり、二重の深絞り加工によつて形成された
凸状部を備え、この凸状部に前記厚膜ＩＣ基板を
接合することを特徴とする半導体圧力変換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7502389U JPH0314444U (ja) | 1989-06-27 | 1989-06-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7502389U JPH0314444U (ja) | 1989-06-27 | 1989-06-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0314444U true JPH0314444U (ja) | 1991-02-14 |
Family
ID=31615235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7502389U Pending JPH0314444U (ja) | 1989-06-27 | 1989-06-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0314444U (ja) |
-
1989
- 1989-06-27 JP JP7502389U patent/JPH0314444U/ja active Pending
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