JPH03152547A - 感光体を製造する方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、表面保護層を有する有機系感光体を製造する
方法に関する。

従来の技術および課題 有機系感光体は導電性基板上に、有機系感光層を形成し
た後、表面保護層を形成する手順で製造されることが一
般的である。

表面保護層は、理想的には、有機系感光層を形成後、直
ちにその表面に形成することが望ましいが、実際には、
製造工程の簡略化、装置上の問題より、有機系感光層の
みを形成したものを一度に多量に製造し、次に非晶質炭
素膜等の表面保護層形成工程に供せられるのが一般的で
あり、その間、有機系感光層は数日〜１ケ月程度保管さ
れる（該保管期間を「しかかり時間」という）ことが多
い。

有機系感光層表面は、形成後、時間経過と共に大気中の
酸素により表面が酸化されていく。このような酸化被膜
が形成された有機系感光層表面に保護層、たとえば非晶
質炭素膜を設けようとすると、酸化被膜面と保護層との
間の接着性が悪いために表面保護層の剥離が発生してし
まう。本発明者らの経験では、塗布後−日経過した有機
系感光層では、既にこの現象か発生してしまう。

このような酸化被膜を除去するために、従来は、フロン
に代表される一般的なハロゲン化炭化水素系洗浄溶剤で
、有機系感光層表面を洗っていた。

このようにすると確かに酸化被膜が除去され、感光層と
表面保護層の接着性は確保されるものの、有機系感光層
が劣化し、表面電位の低下やバラツキか発生するきいう
問題がある。

なｈ、表面保護層が真空薄膜で形成された電子写真感光
体が、例えば特開昭６２−１００７６６．６２−２９４
２５８．５１−１３９３４０．４９３５０３６．４８−
１２８７３２．４９−１２２３３７．５８−５９４５４
、［３１−１１７５６２，５８−１５２２５５，６３−
９７９６２号公報等に開示されているが、長期保管され
た感光層表面に真空薄膜を形成する前に、接着性確保の
ため、被膜される感光層を洗浄する必要があることにつ
いては、なんら言及もしていないし示唆もしていない。

発明が解決しようとする課題 本発明は上記事情に２みなされたものであって、有機系
感光層の酸化層を有効に除去し、該感光層と表面保護層
の接着性を確保し、さらに表面電位の低下、バラツキの
ない感光体を製造する方法を提供することを目的とする
。

この目的は、有機系感光体の表面の洗浄を、従来のハロ
ゲン化炭化水素系洗浄溶剤に代え、含フッ素アルコール
を使用することにより達成される。

課題を解決するための手段 すなわち、本発明は有機系感光層上に真空薄膜を表面保
護層として設けた感光体の製造方法において、該感光層
は真空薄膜により被覆される前ｊこ含フッ素アルコール
で洗浄される事を特徴とする感光体を製造する方法に関
する。

本発明に使用される含フッ素アルコールは、炭素数１〜
６の炭化水素系のアルコールの炭素原子に結合する水素
原子をフッ素Ｄｒ（子に置換したものであらゆる異性体
を包含するものである。

係る含フッ素アルコールとしては弗化メタノール、弗化
エタノール、弗化プロパノール、弗化ブタノーノ呟弗化
ヘンタノール、弗化ヘキサノール、弗化ブタジオール等
を挙げることができる。好ましい含フッ素アルコールは
５−フッ化プａパノル、３−フッ化プロパノール等であ
り、最も好ましいものは５−フッ化プロパノールである
。

５−フッ化プロパノールは下記の種々の異性体■〜■い
ずれの構造であってもよい。

」５ ＰＩ　　Ｆ 含フッ素アルコール溶剤による洗浄はあらゆる有機系感
光層に対してを効であるが、表面保護層を形成する前の
最表面層か樹脂の分散型の層で構成されていることが必
要である。すなわち電荷発生物質、例えばフタロシアニ
ン系顔料、アゾ系顔料、ペリレン系顔料等および電荷輸
送物質、例えばトリフェニルメタン化合物、トリフェニ
ルアミン化合物、ヒドラゾン化合物、スチリル化合物、
ピラゾリン化合物、オキサゾール化合物、オキサジアゾ
ール化合物等を、結着材料、例えばポリエステル、ポリ
ビニルブチラール、ポリカーボネート、ボリアリレート
、スチレンアクリル等に分散塗布せしめた単層構成のも
の、または、電荷発生物質と電荷輸送物質を別々の層に
分散塗布せしめ、電荷発生と電荷輸送の機能を分離した
機能分離型構成のもの（その積層順序はいずれでもよい
）いずれにも適用可能である。もっとも、電荷発生層と
してはフタロシアニンの蒸着膜のように、結着樹脂を用
いず電荷発生物質自体のみからなるものも存在するが、
このような電荷発生層で構成されていても、その上に樹
脂分離型の電荷輸送層か設けられていれば本発明の洗浄
は有効である。

感光層を洗浄する方法としては、ディッピング法、／ヤ
ワー法、蒸気洗浄法等を適用すればよく、洗浄条件は、
感光体の型（単分散、機能分離型）、構成樹脂の種類、
使用する溶剤の種類等により、適宜選択設定ずれはよい
。

デイ／ピング法か好ましく、この洗浄法では、例えは感
光体を２０°Ｃの５−フッ化プロパノール溶媒に６０秒
程度浸漬すれば十分である。洗浄効果を上げるために、
超音波振動を付与したり、溶媒を（精製）循環させたり
してもよい。

このように洗浄された感光体の表面には、例えは、プラ
ズマＣＶＤ法、光ＣＶＤ法、熱ＣＶＤ法、スパッタリン
グ法、蒸着法、イオンブレーティング法−、Ｊ種々の方
法で表面保護層（真空薄膜）を接着性よく形成すること
ができ、１すられる感光体は表面電位の低下、表面電位
のバラツキ等のない良好なものとなる。

以下、実施例を上げ本発明をさらに詳しく説明する。

尤亙週 有機系感光層（ａ）〜（ｆ）の作製 下記のようにして有機系感光層（ａ）〜（ｆ）を作製し
　Ｉこ。

これらの感光層のうち、感光層（ｂ）は正帯電用、他の
感光層は負帯電用である。

また、感光層（ｆ）は長波長露光用、他の感光層は通常
の白色光露光用である。

有機系感光層（ａ）の作製 ヒスアゾ顔料クロロジアンブルー（ＣＤ８月重量部、ポ
リエステル樹脂（東洋紡績社製；ｖ−２００）１重量部
、及びシクロヘキサノ２１００重ｆｆｉ部の混合液をサ
ンドグラインダーにて１３時間分散した。この分散液を
直径８０ｍｍＸ長さ３３０ｍｍの円筒状アルミニウム基
板上にディッピングにて塗布し、乾燥して膜厚０．３μ
ｍの電荷発生層を形成した。

別に、４−ジエチルアミノベンズアルデヒド−ジフェニ
ルヒドラゾン（Ｄ　Ｅ　Ｈ）　１重量部、及びポリカー
ボネート（奇人化成社製、Ｋ１３００）１重量部をテト
ラヒドロ７ラン（Ｔ■ＩＦ）６ＭｊＨＧに溶解し、この
溶液を前記電荷発生層上に塗布、乾燥し、乾燥後の膜厚
が１５μｍの電荷輸送層を形成し、有機系感光層（ａ）
を得た。

有機系感光層（ｂ）の作製 特殊α型銅フタロシアニン（東洋インキ社製）２５重ｎ
部、アクリルメラミン熱硬化型樹脂（大日本インキ社製
：Ａ−４０５とスーパーベッカミンＪ８２０の混合物）
５０重量部、４−ジエチルアミノベンズアルデヒド−ジ
フェニルヒドラゾン２５重量部および有機溶剤（キシレ
ン７重量部とブタノール３重量部の混合物）５００重量
部の混合液をボールミルで１０時間粉砕分散した。この
分散液を直１８０ｍｍｘ長さ３３０ｍｍの円筒状アルミ
ニウム基板上にディッピングにて塗布し、乾燥焼き付け
（１５０°Ｃで１時間）を行い、膜厚１５μｍの有機系
感光層（ｂ）を得た。

有機系感光層（ｃ）の作製 後記式［１ａ］に示されるビスアゾ化合物２重量部、ポ
リエステル樹脂（東洋紡社製、Ｖ−５００）１重量部、
およびメチルエチルケトン１０（１１部をボールミルに
て、２４時間混合分散した。この分散液を直径８０ｍｍ
ｘ長さ３３０ｍｍの円筒状アルミニウム基板上にディッ
ピングにて塗布し、乾燥して膜厚３０００人の電荷発生
層を得た。

次いで、この電荷発生層の上に、後記式［１ｂｌに示さ
れるヒドラゾン化合物１０重量部、およびポリカーボネ
ート樹脂（奇人化成社製；に−１３００）１０重量部を
テトラヒドロ７ラン８０［Ｌｉ中に溶解した液を塗布し
、乾燥して膜厚２０μｍの電荷輸送層を形成し、有機系
感光層（ｃ）を得た。

有機系感光層（ｄ）の作製 後記［１１ａｌに示されるジスアゾ化合物２重量部、ポ
リエステル樹脂（東洋紡社製；Ｖ−５００）１重量部、
およびメチルエチルケトン１００重量部をボールミルに
て２４時間混合分散した。この分散液を直径８０ｍｍ長
さ３３０ｍｍの円筒状アルミニウム基板上にディッピン
グにて塗布し乾燥して膜厚２５００人の電荷発生層を形
成した。

次いで、後ｇ式［１１ｂ］に示されるスチリル化合物１
０重量部、およびボリアリレート樹脂（ユニチカ社製；
Ｕ−４０００）Ｉ　０重量部をテトラヒドロフラン８５
重量部に溶解した６ｔりられた塗布液を前記電荷発生層
の上に塗布し、乾燥して膜厚か２０μｍの電荷輸送層を
形成し、有機系感光層（ｄ）を得た。

有機系感光層（ｅ）の作製 後記式［ｌ１１ａ］に示すビスアゾ化音物２重量部、ポ
リエステル樹脂（東洋紡績社製；Ｖ−５００）１重量部
、およびメチルエチルケトンｌ００１１１部をボールミ
ルにて、２４時間混合分散した。この分散液を直径８０
ｍｍｘ長さ３３０ｍｍの円筒状アルミニウム基板上にデ
ィッピングにて塗布し乾燥して、膜厚３０００人の電荷
発生層を形成した。

次いで、後記式［１１１ｂ］に示すスチリル化合物１０
重量部、およびメチルメタクリレート樹脂（三菱レーヨ
ン社製；ＢＲ−８５）１０重量部をテトラヒドロ７ラン
８０重量部に溶解した。得られた液を前記電荷発生層の
上に塗布後グ燥して膜厚が２Ｏμｍの電荷輸送層を形成
し、有機系感光層（ｅ）を？［多に。

有機系感光層（ｆ）の作製 チタニル７タロ／アニン（ＴｉＯＰｃ）を抵抗加熱法を
用いてポート温度４００〜５００°Ｃ１真空度１０−’
−Ｉ　Ｏ−’Ｔｏｒｒのもとて真空蒸着し、厚さ２５０
０人のＴｉＯＰｃ蒸着膜を電荷発生層として形成した。

次いで、後記式［ＩＶ］に示すｐ、ｐ−ビスジエチルア
ミノテトラフェニルブタジェン１重量部、及びポリカー
ボネート（奇人化成社製、に−１３００）１重量部をＴ
ＨＥ６重量部に溶解し、この溶液を前記電荷発生層上に
塗布し乾燥して膜厚１５μｍの電荷輸送層を形成し、有
機系感光層（ｆ）を得た。

［弐１ｂ］ Ｅ式ＩＶＩ ［式ｎｒａ１ 以上のようにして得られた感光層（ａ）は、２０°Ｃ１
６５％の環境下に３０日間保存した後、第１図に示す洗
浄装置を用い洗浄した。

第１図中、（１）は、基体上に感光層（ａ）を設けた感
光ドラムで、油圧式上下機構を有する手段（３）に上下
可動のシャツｌ−（２）で取り付けられている。

（４）は洗浄槽で、３０（縦）ｘ３０（横）Ｘ５０（液
面までの高さ）ｃｍ３の内容積をもち、内部には洗浄用
の溶剤（５）が満たされている。溶剤（５）は蒸留循環
器（６）で循環使用される。

洗浄はまず、感光ドラム（１）を、油圧式上下手段（３
）で徐々に下げ、洗浄槽（４）内の溶剤に感光ドラム（
１）を全部浸漬させることにより行なう。

この時、洗浄をより効果的に行なうため、超音波発振子
（７）により、適宜超音波洗浄を行なう。

実際の洗浄に用いた溶剤量は、蒸留循環器（６）や配管
弁も含めて約５０Ｃとした。液温は、図示しない温調器
にて２０°Ｃとした。適宜使用した超音波発振子の出力
は５００Ｗとした。

以上の洗浄工程においては、表１中に示した溶剤を用い
、以下に示される浸漬動作時間、浸漬時間、内Ｕ３時間
、および引上動作を測定した。結果は表１に示した。

■浸漬動作：ンヤフトを定速で下げながら、感光ドラム
の下端が液面に触れてから、 上端か液面に浸るまでの時間。

つまり、長さ３３０ＩＴＩＩＴｌのドラムの場合、実施
例１で示した浸漬動作３ ０［秒］というのは、３３０／３０　＝Ｉ　１　ｍｍ／
　ｓｅｃで／ヤフトを下げた事を意味する。

■浸漬時間：感光ドラム全体か液面下に浸っている時間
。

■内ＵＳ時間：超音波（ＵＳ）発振子を使用した場合に
は、浸漬時間内で超音波を発 振した時間を示した。

■引上動作：浸漬動作の反対で、引上げ時、感光ドラム
上端が液面上に出た時から、 下端が出きるまでの時間。

また、ドラム下端とドラム上端の液中の浸漬時間差を、
以下のように最短時間と最長時間を測定しドラム面洗浄
時間差として表１に示した。

■最短時間二　ドラム上端が液面下に浸っている時間。

即ち、浸漬時間と等しい。

■最長時間二　ドラム下端が液面下に浸っている時間。

即ち、浸漬動作＋浸漬時間＋引 上動作に等しい。

感光層（ｂ）〜（ｆ）の洗浄 感光層（ｂ）〜（ｆ）についても、２０°０．６５％の
環境下に３０日間保存後感光層（ａ）と同様に、表１に
示した条件下で洗浄した。

表面保護層の形成 感光層洗浄後、感光層（ａ）の表面に以下のように表面
保護層を設けた。

第２図に示すグロー放電分解装置において、まず、反応
装置（７３３）の内部を１０−’Ｔｏｒｒ程度の高真空
にした後、第１および第２調節弁（７０７および７０８
）を解放し、第１タンク（７０１）より水素ガス、第２
タンク（７０２）よりブタジェンガスを各々出力圧１．
０　Ｋｇ／Ｃｍ２の下で、第１および第２流量制御器（
７１３および７１４）内へ流入させた。そして各流量制
御器の目盛を調整して、水素ガスの流量を３００　ｓｅ
ｃｍ、ブタジェンガスの流量を３　Ｑ　ｓｃｃｍとなる
ように設定して、途中混合器（７３１）を介して、主管
（７３２）より反応室（７３３）内へ流入した。各々の
流量が安定した後に、反応室（７３３）内の圧力が０．
５Ｔｏｒｒとなるように圧力調節弁（７４５）を調整し
た。一方、基板（７５２）としては、有機系感光層（ａ
）を用いて、予め５０°Ｃに加熱しておき、ガス流量及
び圧力か安定した状態で、予め接続選択ス４　ｙチ（７
４４）により接続しておいた低周波電源（７４１）を投
入シ、電力印加電極（７３６）に１８０　Ｗａｔｔの電
力を周波数１００ＫＨｚの下で印加して約１８０秒間プ
ラズマ重合反応を行ない、基板（７５２）上に厚さ１２
００人の非晶質炭素膜（ａ−Ｃ膜）を表面保護層として
形成した。成膜完了後は、電力印加を停止し、調節弁を
閉じ、反応室（７３３）内を充分に排気した後、真空を
破り本発明感光体を取り出した。

感光層（ｂ）〜（ｆ）についても、表１中に示した条件
で上記と同様に形成した。

（以下、余白） 感光体表面電位の測定 （表面保護層形成前） 第３図に示したごとく表面保護層を形成する前の感光ド
ラム（１０）を取りつけ、周速１３０ｍｍ／ｓｅｃで回
転させた。高圧電源（１２ＸＭＯＤＥＬ６１０Ａ；ＴＲ
ＥＫ社製）から電力をコロトロンチャージャー（１３）
に供給し、感光層表面を５００Ｖに帯電させた。帯′ｒ
ＩＬＴＬ位は、表面電位計（１４ＸＭＯＤＥＬ３６２Ａ
、ＴＲＥＫ社製）で測定し、その時の電流ａμＡを電流
計（ｌ　Ｉ）により読み取った。

表面電位計は、第４図に示したごとくドラム長手方向に
３ケ所設け、洗浄時のドラム上中下に対応する部位の電
位を同時に測定した。なお、前述の電流計の読みａ［μ
Ａ１は３つの表面電位計の平均が５００Ｖとなったとき
の読みを示しているが、全ての実験にＪｉいて、各ドラ
ムの上中下における表面電位のバラツキは±５Ｖ以内で
あった。最後に帯電電荷はイレーサーランプ（１５Ｘタ
ングステンランプ、色温度２８００°に１４０　［１ｕ
ｘ−ｓｅｃｌ）を照射し消去した。

（表面保護層形成後） 次に、表面保護層を形成した感光ドラムを取りつけ、電
流計（ｌ　ｌ）の読み値が再びａ［μＡ１となるように
チャージャー（１３）の出力を調整し、３つの表面電位
計（１４）でドラム上中下の各位置での表面電位を読み
、初期の表面電位５ＱＯＶからの低下の範囲に従い、下
記の如き記号で評価結果を示した。

（バラツキ評価） 周内での表面電位バラツキの最大値と最小値との差に従
い、評価結果を示した。

接着性評価 表面保護層の接着性評価を、感光ドラム上中下の３部位
（第４図）につき、Ｊ　Ｉｓ−に−５４００規格の基盤
目試験により行なった。

長手方向のＶ０バラツキについては、上中下３ケ所合わ
せての最大値と最小値について同様に評価した。

画像評価 得られた感光体（保護層あり）を実際の複写碑に搭載し
、得られるコピー画像について目視により判断した。

複写機としては、ＥＰ４９０Ｚ（ミノルタ社製）を使用
した。ただし、感光層（ｂ）を用いた感光体については
帯電および現像極性が反転するように改造したものを用
いた。

また、感光層（ｆ）を用いた感光体については、光学系
を半導体レーザー走査型に改造したものを用いに。

○は良好な画像を、△は実用的には問題のない画像を、
×は不適な画像を示す。

表１中に各感光層についての評価の結果をまとめｌ二。

以上の結果を表２中にまとめた。

（以下、余白） 実施例１〜８は、有機系感光層（ａ）を、５−フッ化プ
ロパノール（５Ｆ　Ｐ）溶剤で洗浄したものであり、洗
浄時間を色々かえて評価を行ったものである。

洗浄時間が短い場合には、（実施例１〜３）若干接着性
に乏しい例があるものの、実用上問題はなく、比較例１
〜１１に比べ、極めて良好な結果が得られている。

実施例９〜１１より、超音波を併用すれば、若干接着性
の乏しかった実施例１〜３についても良好な接着性が得
られることが分かる。また、フロンを用いて洗浄した場
合（比較例）のようなＶ０低下も起きない事が分かる。

実施例１２〜１５より、実用的な範囲で浸漬動作と引上
動作の時間を変えても、感光体の上下での特性の差か現
れない事が分かる。

実施例１６〜２９より、有機系感光層を（ａ）以外のも
のに変えても、同等の結果が得られる事が分かる。

実施例３０〜３５より、ａ　−Ｃ表面保護層の作製条件
を色々変えても、同等の結果が得られる事が分かる。

比較例１−１１は、本発明の実施例で用いた５ＦＰ溶剤
に代え、−船釣に洗浄剤としてよく用いられるフロン系
溶剤を、感光層（ａ）について使用した後、ａ−ｃ表面
保護層を設けたものである。

酸化被膜が除去されたため、接着性は改善されている事
が理解できる。

しかし、フロン系溶剤に浸漬している時間が長ずざると
あるいは超音波を用いた過激な洗浄方法を用いると、コ
ート後の表面電位の低下を招き、そのため比較例３〜１
１においてはランクがＸとなった。画像上も、この表面
電位の低下による画像濃度の低下が観察されたため、画
像評価ランクがＸとなった。

一方、フロン系溶剤に浸漬している時間が短かすぎると
、洗浄時の液だれの影響が発生し、液がたれた部分、即
ち、溶剤が長いこと感光体表面に付着していた部分と、
そうでない部分との間に表面電位の乗りの差が発生し、
Ｖ。バラツキが太きくなる。比較例１〜５でのＶ。バラ
ツキ評価ランクが×なのはこの事によるものである。画
像上も、極めて顕著な液だれ状の濃淡を有する画像ノイ
ズが発生したため、画像評価ランクは×となった。

Ｖ０バラツキはフロン系溶剤での洗浄時間を長くしてい
くとランクは△となった（比較例５〜８）。

これは、ｖｏが低くなるためバラツキの差は小さくしか
観測されないためである。

比較例１２〜１７は、感光層（ａ）〜（ｆ）（感光層作
製後３０日間保管したもの）を洗浄する、ことなくａ−
Ｃ表面保護層を設けたものである。

接着性評価に示される如く、接着性ランクは全て×で、
長期保管による酸化被膜がａ−Ｃ膜の接着性に対して悪
影響を及ぼしている事が理解される。勿論、ａ−Ｃ膜が
接着していなければ、感光体としての寿命を伸ばすとい
うオーバーコート本来の目的が達せられない事は言うま
でもない。

また、基盤目試験を行うまでもなく自然剥離も発生して
いたため、オーバーコート層の有るところと無いところ
で表面電位に差が生じ、Ｖ０バラツキ評価も実用上問題
はないもののランク△となっている。

画像評価では、ａ−Ｃの剥離片がコピー画像上に付着し
たり、剥離片が現像器に混入し穂高規制板と現像スリー
ブとの間や感光体と現像スリーブとの間に挟まる結果、
現像剤の流れを阻害し、所謂現像不良を発生するなど、
極めて好ましくない結果となった。画像評価ランク×は
それを示したものである。

さらに、表面保護層としてａ−Ｃ膜の代わりに、常用の
スパッタリング装置を用いて、下記条件；ターゲット：
　ＡＱ、Ｏ。

基板温度＝５０°Ｃ 放電間隔：５０ｍｍ（ターゲットと基板との距離）真空
度：　２　Ｘ　１０−’Ｔｏｒｒ 放電ガス：Ａｒ 放電電カニ　２．ＯＫＷ 放電周波数：　　１３．５６ＭＨｚ 放電時間＝　１２分間 ００層膜厚：　　１８００Ａ にてＡＱ２０．の薄膜を設けた以外、実施例１、比較例
１および比較例１２と同様にして感光体を作製し、評価
した。

結果は、実施例１、比較例１および比較例１２と同等で
あった。

また、表面保護層としてａ−Ｃ膜の代わりに、常用の真
空加熱法による蒸着装置を用いて、下記条件； 蒸着源：ＳｉＯ 基板温度：５０°Ｃ ボート温度：　　１２００℃ 真空度＋　８　Ｘ　Ｉ　Ｏ−’Ｔｏｒｒ蒸着時間：５分
間 ＯＣ層膜厚：　　１３００Ａ にてＳｉＯの薄膜を設けた以外、実施例１、比較例！お
よび比較例１２と同様にして感光体を作製し、評価した
。

結果は、実施例１１比較例１および比較例１２と同等で
あった。

以上から、本製法はａ−Ｃ膜に限ることなく、真空薄膜
全般に適用可能であることが理解される。

発明の効果 感光体の表面電位の低下、表面電位のバラツキを発生さ
せることなく、接着性のよい真空薄膜を感光体表面保護
層として形成可能となった。

【図面の簡単な説明】

第１図は、感光体洗浄装置の概略構成例を示す。 第２図は、表面保護層を形成するだめのグロー放電分解
装置の概略構成例を示す。 第３図は、感光体表面電位測定装置の概略構成例を示す
。 第４図は、感光体の表面電位測定部位を示す図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、有機系感光層上に真空薄膜を表面保護層として設け
   る感光体の製造方法において、該感光層は真空薄膜によ
   り被覆される前に含フッ素アルコールで洗浄される事を
   特徴とする感光体を製造する方法。 ２、該感光層が、少なくとも電荷発生材料と電荷輸送材
   料とを含んでなる有機系感光層である請求項１記載の感
   光体を製造する方法。 ３、該真空薄膜がプラズマＣＶＤ法により作製された非
   晶質炭素膜である事を特徴とする請求項１記載の感光体
   を製造する方法。 ４、含フッ素アルコールが５−フッ化プロパノールであ
   る請求項１記載の感光体を製造する方法。