JPH03153357A - インクジェットプリンタヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はバブルジェット方式のインクジェットプリンタ
ヘッドに関するものである。

従来の技術 近年、インクジェットプリンタヘッドの一つとして、オ
リフィス後方の圧力室内に充填したインクの一部を瞬間
的に加熱して蒸発させ、形成される気泡の体積変化によ
る圧力でインク滴をオリフイスから噴射するバブルジェ
ット方式のものが開発された。これは、サーマルヘッド
に関する既存の技術を応用することができるため、簡易
に高性能なインクジェットプリンタヘッドを得られる方
式として期待されている。

このようなバブルジェット方式のインクジェットプリン
タヘッドとしては、特公昭６３−５９９１１号公報や特
公昭６３−５９９１４号公報などに開示されている装置
が存する。このインクジェットプリンタヘッドｌは、第
１２図及び第１３図に例示するように、下面に長溝が連
設された溝蓋２が平坦な基板３上に固定されてオリフィ
ス４がアレイ状に形成され、このアレイ方向に長溝が形
成された供給室蓋５が前記溝蓋２の後部に取付けられて
前記各オリフィス４に連通した供給室６が形成されてい
る。ここで、この供給室６にはインク槽（図示せず）に
連結される補給管７が取付けられており、前記基板３の
上面には各オリフィス４毎に発熱抵抗体８が共通電極９
と個別電極ｌＯとを介して形成されている。なお、これ
らの部材８〜１０は既存のサーマルヘッドと略同様な構
造に形成されている。

このような構成において、このインクジェットプリンタ
ヘッドｌでは、インク槽から補給管７を経て供給された
インク１１が供給室６を介して各オリフィス４内に充填
される。そこで、各電極９゜１０から供給される電力で
発熱抵抗体８が選択的に発熱駆動されることで所定のオ
リフィス４内のインク１１に気泡が生じてインク滴（共
に図示せず）が噴射される。なお、このような気泡の発
生及び消失はμｓ程度の微小時間で行なわれ、この微小
時間内でインク１１の圧力が急激に上下することでオリ
フィス４先端から吐出されたインク１１がインク滴とな
って飛翔する。

だが、上述のインクジェットブ１〕ンタヘッドｌでは、
オリフィス４の形状が直管状なのでインク１１の圧力変
化は前後方向に作用することになって圧力効率が低い。

そこで、このような課題を解決したものとしては特公昭
６３−６３５６号公報と特公昭６３−６３５７号公報及
び特公昭６３−６３５８号公報に開示されている装置が
存する。例えば、特公昭６３−６３５６号公報に開示さ
れたインクジェットプリンタヘッド１２では、第１４図
及び第１５図に例示するように、後面に長溝が連設され
た流路部材１３を溝蓋２の前面に取付けることで発熱抵
抗体８の部分で略直角に曲折した流路１４を形成し、こ
の流路１４毎にオリフィス１５が形成されたオリフィス
板１６が前記流路部材１３の上面に取付けられている。

このような構成において、このインクジェットプリンタ
ヘッド１２は、流路１４を発熱抵抗体８の部分で略直角
に曲折した形状とすることで、気泡の発生消失時に発生
するインク１１の圧力変化がインク滴の噴射方向に良好
に作用するようにして圧力効率を向上させている。なお
、例示した図面ではインク滴は上方に噴射されることに
なる。

だが、それでもインク１１の圧力変化が供給室６内に伝
導されるため、この供給室６を介して連通された各オリ
フィス４間に相互干渉が発生しやすく、画像品質が低下
しがちである。

そこで、第１６図に例示するように、上記公報には流路
１４を形成する溝蓋２の長溝内に凸部１７を形成するこ
とで、発熱抵抗体８から供給室６に伝達される圧力変化
を低減するようにしたインクジェットプリンタへラド１
８も開示されている。

だが、数１０（μｍ）程度に形成される流路１４内に上
述のような凸部１７を形成することは実際には困難であ
り、装置の生産性が極度に低下するなどして実用的でな
い。

そして、上述のように流路１４が曲折したインクジェッ
トプリンタヘッド１２．１８では、オリフィス１５の軸
心に対して圧力変化の作用方向や連続吐出時のりフィー
ル方向が非対称であるため、このオリフィス１５から吐
出されるインク滴の飛翔方向が曲がってしまう。

このような課題に対する対策としては、オリフィスに対
する発熱手段の相対的位置を変位させることが提案され
ているが、この変位量の最適値は温度変化や経年変化に
よるインクの粘性の変化などによって異なるものであり
、正確な流体解析を実施することも困難なので実用的で
ない。

さらに、特開昭５８−８６５９号公報に開示されている
インクジェットプリンタヘッド１９や特開昭５９−２０
７２６１号公報に開示されているインクジェットプリン
タヘッド２０では、第１７図及び第１８図に例示するよ
うに、基板３上に形成された発熱抵抗体８を囲む形状の
隔壁２１の上にオリフィス板２２を取付け、−個のオリ
フィス２３に対して複数の流路２４を形成した装置が開
示されている。

たが、これらのインクジェットプリンタヘッド１９．２
０も前述の装置と同様にインク滴の吐出方向が曲がると
云う課題を有している。

発明が解決しようとする課題 上述のように、従来のバブルジェット方式のインクジェ
ットプリンタヘッド１２，１８，１９゜２０は、オリフ
ィス１５．２３の軸心に対する圧力変化の作用方向やり
フィール方向が流路１４゜２４の配置等のために非対称
になってインク滴の飛翔方向が曲がってしまう。

このような課題を解決した装置としては、特開昭４８−
９６２２号公報に開示されているインクジェットプリン
タヘッド２５が存する。第１９図に例示するように、上
記公報ではインク滴を吐出させる機構としてピエゾ素子
２６が取付けられた金属ダイアフラム２７を採用したも
のが例示されているが、これを加熱コイル（図示せず）
と交換することも提示さ、れている。

このインクジェットプリンタヘッド２５は、オリフィス
２８を略中心とする凹部がオリフィス板２９の後面に形
成され、このオリフィス板２９が基材３０の前面に固定
されることで前記オリフィス２８に対して全周方向に開
口した液室３１が形成されている。そして、前記基材３
０の後面に形成された凹部の上に前記ピエゾ素子２６が
前記金属ダイアフラム２７を介して取付けられることで
圧力室３２が形成されており、この圧力室３２と前記液
室３１とは前記基材３０内に形成された連通孔３３で連
通されている。また、前記基材３０内には前記液室３１
に連通した補給路３４が形成され、この補給路３４に連
結された導通管３５は液槽３６に連結されている。

このような構成において、このインクジェットプリンタ
ヘッド２５は、電気的にピエゾ素子２６を駆動すること
で、金属ダイアフラム２７から圧力室３２内のインク１
１に加えられた圧力変化が連通孔３３を介して液室３１
内に至り、オリフィス２８からインク滴が吐出する。こ
の時、このインクジェットプリンタヘッド２５では、オ
リフィス２８の軸心に対して液室３１が全周方向に開口
しているので、この部分での圧力変化の作用方向やりフ
ィール方向が対称なのでインク滴はオリフィス２８の軸
心方向に飛翔することになる。

上述したインクジェットプリンタヘッド２５のピエゾ素
子２６や金属ダイアフラム２７に替えて加熱コイルを取
付けることで、インク滴の飛翔方向がオリフィス２８の
軸心と一致したバブルジェット方式のインクジェットプ
リンタヘッド（図示せず）を形成することは可能である
が、上述のような構造では圧力室３２からオリフィス２
８に至る流体抵抗が大きく圧力効率が低いので実用的な
装置を実現することは困難である。しがも、第２０図に
例示するように、実際的な製品としては複数のオリフィ
ス２８を備えたインクジェットプリンタヘッド３７が要
望されることになるが、この場合はオリフィス２８の間
隔に比してピエゾ素子２６や加熱コイルの径が大きいた
め、基材３８内に形成する連通孔３９を曲折した形状と
する必要があり、さらに圧力効率が低下することになっ
て実用的でない。

課題を解決するための手段 請求項１記載の発明は、基板の表面に発熱手段をアレイ
状に連続形成し、各発熱手段を囲む隔壁を備えた圧力室
層を基板上に形成し、各圧力室に連通したインク供給路
を形成する供給路層を圧力室層上に形成し、発熱手段と
圧力室とに各々対応する位置にオリフィスが形成された
オリフィス層を供給路層上に形成する。

請求項２記載の発明は、基板の表面に圧力室層を形成し
た第一のプレートを設け、オリフィス層の裏面に供給路
層を形成した第二のプレートを設け、第一のプレートと
第二のプレートとを一体的に接合する。

請求項３記載の発明は、圧力室層の発熱手段を囲む隔壁
間にインク貯蔵室を特徴する 請求項４記載の発明は、供給路層とオリフィス層とを一
体的に形成する。

作用 請求項１記載の発明は、基板の表面に発熱手段をアレイ
状に連続形成し、各発熱手段を囲む隔壁を備えた圧力室
層を基板上に形成し、各圧力室に連通したインク供給路
を形成する供給路層を圧力室層上に形成し、各々発熱手
段と圧力室とに対応した位置にオリフィスがアレイ状に
連続形成されたオリフィス層を供給路層上に形成するこ
とにより、各層に形成された機能部品は形状が簡易で位
置も近接しているので圧力効率が良好で、オリフィス等
を高密度に配置することが可能である。

さらに、請求項２記載の発明のように、基板の表面に圧
力室層を形成した第一のプレートを設け、オリフィス層
の裏面に供給路層を形成した第二のプレートを設け、第
一のプレートと第二のプレートとを一体的に接合したり
、請求項３記載の発明のように、圧力室層の発熱手段を
囲む隔壁間にインク貯蔵室を形成したり、請求項４記載
の発明のように、供給路層とオリフィス層とを一体的に
形成することにより、構造を簡゛略化して装置の生産性
を向上させることができる。

実施例 請求項１，２．３記載の発明の実施例を第１図ないし第
６図に基づいて説明する。まず、本実施例のインクジェ
ットプリンタヘッド４０の主要構造としては、第３図に
例示するように、基板４１と圧力室層４２と供給路層４
３及びオリフィス層であるオリフィス板４４が順次積層
された構造となっている。そして、第１図及び第２図に
例示するように、このオリフィス板４４にアレイ状に連
続形成されたオリフィス４５と前記基板４１の表面に形
成された発熱手段である発熱抵抗体４６とが各々同軸上
に位置しており、この発熱抵抗体４６を略中心とする矩
形環状の隔壁４７が形成された前記圧力室層４２により
前記オリフィス４５の軸心に対して対称形の圧力室４８
が形成され、この圧力室４８と対向する部分が開口した
前記供給路層４３により前記オリフィスの軸心に対して
全周方向に開口したインク供給路４９が形成されている
。なお、このインクジェットプリンタヘッド４０では、
前記圧力室層４２の隔壁４７間にインク貯蔵室５０が形
成されており、このインク貯蔵室５０に連通したインク
補給孔５１が前記基板４１に形成されている。

つぎに、上述のような構造のインクジェットプリンタヘ
ッド４０の各部の構造を製造方法と共に以下に詳述する
。まず、第５図に例示するように、前記基板４１は、こ
れを熱酸化加工して表面に厚さ２（μｍ）のＳｉｎ、か
らなる蓄熱層５２を形成する。つぎに、この上にＴａＡ
Ｑをスパッタリングしてエツチングでパターニングする
ことで前記発熱抵抗体４６となる厚さ０．４（μｍ）の
抵抗層５３を形成し、同様にして厚さ０．５（μｍ）の
ＡＱからなる共通電極５４と個別電極５５とを形成する
。

そして、これらの上にプラズマＣＶＤ法で厚さ０．３（
μｍ）のシリコンナイトライドからなる第一の保護膜５
６を形成し、さらに、スパッタリング法で厚さ０．２（
μｍ）のＴａからなる第二の保護膜５７を積層形成する
。

なお、上述のようにして形成された発熱抵抗体４６の形
状は、例えば、６０　Ｘ　６０　（μｍ）の正方形にな
っている。また、以下の説明では、前記基板４１とは上
述の各部材５２〜５７が形成された状態のものを意味す
る。

そして、上述のようにして発熱抵抗体４６等が形成され
た基板４１上に、前記圧力室層４２が形成される。この
圧力室層４２は、第６図（ａ）に例示するように、前記
基板４１上に未硬化の感光性ポリイミド５８を厚さ３０
（μｍ）に塗布して半キユア（乾燥）させ、第６図（ｂ
）に例示するように、これをフォトリソグラフィ法でバ
ターニングして前記隔壁４７と外枠５９とを形成するこ
とで前記圧力室４８と前記インク貯蔵室５０とを設ける
。そこで、このインク貯蔵室５０を介して前記基板４１
にレーザ加工で前記インク補給孔５１を形成する。例え
ば、上述のようにして形成された圧力室４８の形状とし
ては前記発熱抵抗体４６を中心とする７０　Ｘ　７０　
（μｍ）の正方形で、前記隔壁４７の幅は３０（μｍ）
になっている。

ここでは上述のようにして前記基板４１上に圧力室層４
２を形成したものを第一のプレート６０と称し、前記供
給路層４３と前記オリフィス板４４とで形成されて前記
第一のプレート６０に接合される第二のプレート６１の
構造を以下に説明する。

まず、第６図（Ｃ）に例示するように、ＳＵＳ基板６２
上に所定パターンのマスク６３を取付けてＮｉを厚さ４
０（μｍ）に電鋳することで最小径が５０（μｍ）の前
記オリフィス４５を備えたオリフィス板４４を形成し、
これを前記ＳＵＳ基板６２上から剥離させて前記マスク
６３を取外した後に厚さ０．１（μｍ）のＡｕメツキ（
図示せず）を行なって前記ＳＵＳ基板６２上に再度固着
させる。そｉで、第６図（ｄ）に例示するように、前記
オリフィス板４４の上に未硬化の感光性ポリイミド６４
を厚さｌＯ（μｍ）に塗布し、第６図（ｅ）に例示する
ように、これを前述の圧力室層４２と同様に加工して前
記オリフィス４５を中心とする前記インク供給路４９を
形成する。このようにして前記供給路層４３が一体的に
形成された前記オリフィス板４４を前記ＳＵＳ基板６２
上から取外して所定形状に切断することで、前記第二の
プレート６１が形成される。

そして、第６図（ｆ）、（ｇ）に例示するように、前述
のようにして製作した第一第二のプレート６０．６１を
、前記オリフィス４５や前記発熱抵抗体４６の軸心が一
致した状態で接合し、加圧加熱して感光性ポリイミドか
らなる前記圧力室層４２と供給路層４３とをキュア（硬
化）させることで、接着材等を要することなく各層４１
〜４４が固着してインクジェットプリンタヘッド４０の
製作が完了する。なお、このインクジェットプリンタヘ
ッド４０では、前記圧力室４８の隔壁４７と前記オリフ
ィス板４４の裏面との間に形成された前記インク供給路
４９は前記供給路層４３の厚さに対応するので、ここで
は前記隔壁４７上の全周方向に開口した幅１０（μｍ）
のスリット状に形成されている。

なお、実際に第一第二のプレート６０．６１を接合する
場合、オリフィス４５や前記発熱抵抗体４６等の軸心を
一致させることが困難であることが予想されるが、本出
願人が製作した供試材では、基板４１に二個の基準パタ
ーン（図示せず）を印刷して他の三層４２〜４４に対応
する基準孔（図示せず）を形成し、この基準孔から前記
基準パターンを確認しつつ作業を行なうことでインクジ
ェットプリンタヘッド４０を製作することができた。

また、上述のように装置を薄膜技術で製作する場合、通
常は大型の基板上に複数を同時に製作するなどして生産
性を向上させているが、上述のようなインクジェットプ
リンタヘッド４０では、連設された第一第二のプレート
６０．６１を接合した後に切断することで生産性を向上
させることと、第一第二のプレート６０．６１を個々に
切断した後に各々接合させることで精度を向上させるこ
とが可能である。

このような構成において、このインクジェットプリンタ
ヘッド４０は、各電極５４．５５に駆動回路（図示せず
）が接続されてインク補給孔５１に連通管等でインク槽
（共に図示せず）が連結され、第１図に例示するように
、相対的に副走査移動する印刷用紙６５に対向配置され
る。そこで、このインクジェットプリンタヘッド４０は
、各電極５４．５５から電力が印加されて発熱抵抗体４
６が発熱すると、これに接触しているインク１１が蒸発
して気泡６６が発生する。この時、この気泡６６の発生
によるインク１１の圧力変化の伝播方向は、圧力室４８
に規制されてオリフィス４５に向かうことになる。そこ
で、このオリフィス４５がらインク１１が突出するタイ
ミングに同期して電極５４．５５からの電力供給が停止
され、発熱抵抗体４６の温度が低下して気泡６６が収縮
する。

すると、この気泡６６の収縮によるインク１１の圧力変
化によってオリフィス４５から突出していたインク１１
の一部が切断され、これがインク滴１１ａとなって飛翔
する。そこで、発熱抵抗体４６を選択的に発熱駆動して
所定のオリフィス４５からインク滴１１ａを飛翔させる
ことで、相対的に副走査移動する印刷用紙６５の表面に
画像を形成することができる。なお、各圧力室４８には
、インク補給孔５１から順次補給されるインク１１がイ
ンク貯蔵室５０からインク供給路４９を経て供給される
ことになる。

そして、このインクジェットプリンタヘッド４０では、
インク供給路４９と圧力室４８との形状や発熱抵抗体４
６の位置がオリフィス４５の軸心に対して対称になって
いるので、この部分での圧力変化の作用方向やりフィー
ル方向が対称であり、インク滴１１ａはオリフィス４５
の細心方向に飛翔することになる。さらに、本実施例の
インクジェットプリンタヘッド４０では、各層４１〜４
４に形成された機能部品は形状が簡易で各々同軸上に位
置すると共に近接しているので、圧力効率が極めて良好
である。しかも、インク１１に圧力を加える手段が微小
形成が容易な発熱抵抗体４６なので、オリフィス４５等
を高密度に配置することが可能であり、例えば、５２個
のオリフィス４５を千鳥配置で四列に形成することで３
２０（ＤＰＩ）の解像度を実現できることが確認された
。

つぎに、請求項４記載の発明の第一の実施例を第７図に
基づいて説明する。まず、このインクジェットプリンタ
ヘッド６７は、第一のプレート６０の構造は上述のイン
クジェットプリンタヘッド４０と同様になっている。そ
こで、この第一のプレートに接合される第二のプレート
６８の構造及び製造方法を以下に説明する。

まず、第７図（ａ）に例示するように、ＳＯＳ基板６２
上に厚さ２（μｍ）の第一のマスク６９をレジストで所
定パターンに形成し、第７図（ｂ）に例示するように、
この上にＮｉを厚さ４０（μｍ）に電鋳することでオリ
フィス７０を備えたオリフィス層７１を形成する。ここ
で、前記第一のマスク６９は、この上に厚さ４０（μｍ
）のＮｉ膜を電鋳した時にオリフィス７０の最小径が５
０（μｍ）となる大きさに設定されている。そこで、第
７図（Ｃ）に例示するように、第二のマスク７２を厚さ
２０（μｍ）のレジストで後述するインク供給路７３に
対応したパターンに形成し、第７図（ｄ）に例示するよ
うに、再度Ｎｉを厚さ１０（μｍ）に電鋳することで前
記インク供給路７３を備えた供給路層７４を形成する。

そして、第７図（ｅ）に例示するように、この供給路層
７４が一体的に形成されたオリフィス層７１を、前記Ｓ
　ＵＳ基板６２上から剥離させて前記マスク６９．７２
を取外し、厚さ０．１（μｍ）のＡｕメツキ（図示せず
）を行なって所定形状に切断することで、前記第二のプ
レート６８が形成される。なお、前記第二のマスク７２
の厚さは形成する供給路層７４より厚ければよく、また
、最終工程でＡｕメツキを施すことで信頼性を向上させ
ている。

そして、このようにして製作した第二のプレート６８を
、感光性ポリイミドを用いるなどして第一のプレート６
０に接合することでインクジェットプリンタヘッド６７
が製作される。

このような構成において、このインクジェットプリンタ
ヘッド６７は前述のインクジェットプリンタヘッド４０
と同様に機能する。ここで、このインクジェットプリン
タヘッド６７は、オリフィス層７１と供給路層７４とが
同一素材で一体的に形成されているので、これらの製造
設備を共通化するなどして生産性を向上させることがで
きる。

さらに、請求項４記載の発明の第二の実施例を第８図及
び第９図に基づいて説明する。このインクジェットプリ
ンタヘッド７５も、第一のプレート６０の構造は上述の
インクジェットプリンタヘッド４０等と同様で第二のプ
レート７６の構造及び製造方法に関するものである。

まず、第８図（ａ）に例示するように、厚さが５０（μ
ｍ）のＳｉ材７７上に所定パターンの第一のマスク７８
を形成し、第８図（ｂ）に例示するように、この上から
深さ１０（μｍ）のエツチングを行なうことでインク供
給路７９を形成する。そこで、第８図（Ｃ）に例示する
ように、前記第一のマスク７８を取外した前記Ｓｉ材７
７に所定パターンの第二のマスク８０を形成し、第８図
（ｄ）に例示するように、この上から再度エツチングを
行なって貫通させることでオリフィス８１を形成する。

そして、第８図（ｅ）に例示するように、このエツチン
グ後に第二のマスク８０を取外すことで、供給路層とオ
リフィス層とが一体成形された第二のプレート７６が得
られることになる。

なお、前記第一第二のマスク７８．８０の形状は、この
上から所定深さのエツチングを行なった時に所望形状の
インク供給路７９やオリフィス８１が形成されるよう設
定されている。

このような構成において、このインクジェットプリンタ
ヘッド７５は前述のインクジェットプリンタヘッド４０
．６７と同様に機能する。ここで、このインクジェット
プリンタヘッド７５は、オリフィス層と供給路層とが完
全に一体化された第二のプレート７６を製作するので生
産性が極めて良好である。

なお、第９図に例示するように、−枚の基材８２にイン
ク供給路８３とオリフィス８４とを兼用する円錐状の貫
通孔を形成した第二のプレート８５を製作することも可
能であり、この場合、さらに生産性が向上することにな
る。なお、円錐状の貫通孔は大径部がインク供給路８３
で小径部がオリフィス８４になるので、これらの寸法が
所望値となるように基材８２の厚さやエツチング条件等
を設定することが望ましい。

なお、上述の実施例では圧力室４８を形成する隔壁４７
が矩形環状に成形されたものを例示したが、本発明は上
記構造に限定されるものではなく、例えば、第１０図に
例示するように、大型環状の隔壁８６で圧力室８７が形
成された圧力室層８８も実施可能である。また、上述の
実施例では各オリフィス４５，７０，８１．８４毎にイ
ンク供給路４９，７３，７８，８３を形成したものを例
示したが、本発明は上記構造に限定されるものでもなく
、例えば、第１１図に例示するように、所定数のオリフ
ィス４５に共通に連通するインク供給路８９が形成され
た供給路層９０を製作することなども可能である。逆に
、インク貯蔵室５０が一つである必要もなく、数個に分
断された構造とすることもできる。そして、インク貯蔵
室５０等にインク１１を補給するインク補給孔５１も基
板４０に形成する必要はなく、インク貯蔵室５１に連通
ずるものであれば機能する。また、上述の各実施例では
各種の寸法や材質を提示したが、これらは装置の仕様や
必要な性能等を考慮して最適な形態に設計されるもので
あり、例えば、金属やガラス及び樹脂等のエツチングや
金属のプレス加工や電鋳、或は、樹脂の型成形等でも各
層を製作することができる。さらに、上述の実施例では
、オリフィスの軸心に対して圧力室の形状やインク供給
路が対称とすることでインク滴の飛翔方向がオリフィス
の軸心方向と一致するものを例示したが、本発明は上記
構造に限定されるものでもない。

発明の効果 請求項１記載の発明は、基板の表面に発熱手段をアレイ
状に連続形成し、各発熱手段を囲む隔壁を備えた圧力室
層を基板上に形成し、各圧力室に連通したインク供給路
を形成する供給路層を圧力室層上に形成し、発熱手段と
圧力室とに各々対応する位置にオリフィスがアレイ状に
連続形成されたオリフィス層を供給路層上に形成するこ
とにより、各層に形成された機能部品は形状が簡易で位
置も近接しているので圧力効率が良好であり、オリフィ
ス等を高密度に配置することが可能であり、簡易な構造
で高性能なバブルジェット方式のインクジェットプリン
タヘッドを製作することができ、さらに、請求項２記載
の発明のように、基板の表面に圧力室層を形成した第一
のプレートを設け、オリフィス層の裏面に供給路層を形
成した第二のプレートを設け、第一のプレートと第二の
プレートとを一体的に接合したり、請求項３記載の発明
のように、圧力室層の発熱手段を囲む隔壁間にインク貯
蔵室を形成したり、請求項４記載の発明のように、供給
路層とオリフィス層とを一体的に形成することにより、
構造を簡略化して装置の生産性を向上させることができ
る等の効果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は請求項１〜３記載の発明の実施例を示す縦断側
面図、第２図は各層の平面図、第３図は分解斜視図、第
４図は斜視図、第５図は要部の縦断側面図、第６図は製
造工程の説明図、第７図は請求項４記載の発明の第一の
実施例を示す製造工程の説明図、第８図は請求項４記載
の発明の第二の実施例を示す製造工程の説明図、第９図
は他の実施例を示す縦断側面図、第１Ｏ図及び第１１図
は本発明の他の実施例を示す要部の斜視図、第１２図は
第一の従来例を示す正面図、第１３図は縦断側面図、第
１４図は第二の従来例を−示す縦断側面図、第１５図は
分解斜視図、第１６図は第三の従来例を示す縦断側面図
、第１７図は第四の従来例を示す分解斜視図、第１８図
は第五の従来例を示す斜視図、第１９図及び第２０図は
第六の従来例を示す縦断側面図である。 ４０．６７．７５・・・インクジェットプリンタヘッド
、４１・・・基板、４２．８８・・・圧力室層、４３゜
７４・・・供給路層、４４．７１・・・オリフィス層、
４５．７０，８１．８４・・・オリフィス、４６・・・
発熱手段、４７．８６・・・隔壁、４８．８７・・・圧
力室、４９．７３，７９，８３，８９・・・インク供給
路、５０・・・インク貯蔵室、６０・・・第一のプレー
ト、６１．６８，７６．８５・・・第二のプレート１ ７図 （ａ） （ｂ） 」 （５逸（麟」）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、表面に発熱手段がアレイ状に連続形成された基板と
   、この基板上に形成されて前記各発熱手段を囲む隔壁を
   備えた圧力室層と、この圧力室層上に形成されて前記各
   圧力室に連通したインク供給路を形成する供給路層と、
   この供給路層上に形成されて前記発熱手段と前記圧力室
   とに各々対応する位置にオリフィスが形成されたオリフ
   ィス層とからなることを特徴とするインクジェットプリ
   ンタヘッド。 ２、基板の表面に圧力室層を形成した第一のプレートを
   設け、オリフィス層の裏面に供給路層を形成した第二の
   プレートを設け、前記第一のプレートと第二のプレート
   とを一体的に接合したことを特徴とする請求項１記載の
   インクジェットプリンタヘッド。 ３、圧力室層の発熱手段を囲む隔壁間にインク貯蔵室を
   形成したことを特徴とする請求項１又は２記載のインク
   ジェットプリンタヘッド。 ４、供給路層とオリフィス層とを一体的に形成したこと
   を特徴とする請求項１記載のインクジェットプリンタヘ
   ッド。