JPH03258552A - インクジェットプリンタヘッドの製作方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はインクジェットプリンタヘッドの製作方法に関
するものである。

従来の技術 近年、印刷装置の需要が増大すると共に各種のプリンタ
ヘッドが開発され、例えば、安価で高解像度なものとし
てはインクジェットプリンタヘッドなどが存している。

これは前面にオリフィスが位置する圧力室内にインク供
給路を連通ずると共に圧力発生手段を設けたもので、圧
力発生手段として電歪素子を用いたオンデマンド方式の
ものや発熱素子を用いたバブルジェット方式のものなど
が実用化されている。

このバブルジェット方式のプリンタヘッドとは、圧力室
内に充填したインクの一部を瞬間的に加熱して蒸発させ
、形成される気泡の体積変化による圧ツノでインク滴を
オリフィスから噴射するもので、サーマルヘッドに関す
る既存の技術を応用することができるため、簡易に高性
能なインフジエラＩ・プリンタヘッドを得られる方式と
して期待されている。

上述のようなインクジェットプリンタヘッドの製作方法
としては各種のものが考えられるが、例えば、圧力発生
手段と圧力室を形成する直壁とを備えた第一のプレート
とオリフィスが形成された第二のプレートとを別個に形
成して接合したような構造のものが特開昭５８−８６５
９号公報や特開昭５９＝２０７２６１号公報に開示され
ている。

例えば、特開昭５８−８６５９号公報に開示された装置
を第一の従来例として第１２図に基づいて説明する。こ
のインクジェットプリンタヘッド１はバブルジェット方
式のものであり、圧力発生手段である複数の発熱抵抗体
２と前記発熱抵抗体２を各々囲む圧力室３の隔壁４とを
基板５の上に形成して第一のプレート６とし、この第一
のプレート６の上に前記発熱抵抗体２と各々対向する位
置にオリフィス７が形成された第二のプレートであるオ
リフィス板８を取付けた構造となっている。なお、」二
連のインクジェットプリンタヘッド１では、前記隔壁４
の一部に開口を形成することでインク供給路９が形成さ
れている。

また、Ｕ　Ｓ　Ｐ４，７］６，４２３に開示された装置
を第二の従来例として第１３図及び第１４図に基づいて
説明する。このインクジェットプリンタヘッド１０は、
複数のオリフィス１１が連続的に形成されたオリフィス
板１２を治具基板（図示せず）上に電鋳で形成し、この
上に再度電鋳で圧力室１３とインク供給路１４とを形成
する隔鳩γ１５を形成し一 て第二のプレート１６とし、これを圧力発生手段である
発熱抵抗体１７が基板１８上に形成さ・れた第一のプレ
ート１９の」二に取付けた構造となっている。

さらに、Ｕ　Ｓ　Ｐ４，７７９，０９９に開示された装
置を第三の従来例として第１５図に基づいて説明する。

このインクジェットプリンタヘッド２ｏはオンデマンド
方式のものであり、圧力発生手段である電歪素子２１が
取付けられたフレーム２２に、各々前記電歪素子２１の
ガイド孔２３やインク供給路２４が形成された薄板２５
〜２７を順次積層して第一のプレート２８とし、この」
二にオリフィス２９が連続形成された第二のプレートで
あるオリフィス板３０を取付けた構造となっている。な
お、このオリフィス板３０と前記薄板２５〜２７とは、
その上下に形成されたガイド孔３１が前記フレーム２２
に取付けられたガイドビン３２に嵌合することで位１色
決めされている。また、前記フレーム２２の下方には前
記薄板２６のインク供給路２４に連通ずるインク槽３３
が取付けられている。

発明が解決しようとする課題 上述したインクジェットプリンタヘッド１，１０．２０
を製作する場合は、発熱抵抗体２，１７や電歪素子２１
を備えた第一のプレート６．１９゜２８に、オリフィス
７．１１．２９を備えた第二のプレート８，１６．３０
を接合する必要があり、例えば、実際の製品では接着材
による固着などが実施されている。

だが、インクジェットプリンタヘッド１，１０゜２０等
は高密度化の要望から構造が微細になっており、塗布し
た接着材が部材の圧着時に漏れ出すと、これが発熱抵抗
体２，１７や電歪素子２１の機能障害となったりインク
供給路９，１４．２４やオリフィス７．１１．２９の目
詰まりの原因となることがある。また、上述のようなこ
とを防止するために接着材の使用量を微量にすると、固
着強度の不足から部分的な剥離が生じるなどしてインク
漏れが発生することがある。

また、特開昭６０−１８３１５６号公報には、光パター
ニングで流路を形威した感光性樹脂に硬化処理を行ない
、これに予め接着材をスピンナーコートして予備加熱を
行なった器材を接合して本硬化させることや、光パター
ニングで流路を形成した感光性樹脂に熱可塑性樹脂から
なる蓋材を接合して熱融着させることが開示されている
。

だが、これらの方法を前述のインクジェットプリンタヘ
ッド１，１０．２０等に適用した場合、これらの装置で
は蓋材である第二のプレート８゜１６．３０にオリフィ
ス７．１１．．２９が形成されているので、そのオリフ
ィス７．１１．２９が接着材で塞がれたり、第二のプレ
ート８，１６゜３０を熱可塑性樹脂で形成する必要が生
じるなどして実施困難である。

つまり、従来のインクジェットプリンタヘッド− １，１０，２０では、オリフィス７．１１．２９を備え
た第二のプレート８，１６．３０の実用的な製作方法が
確立されていない。

課題を解決するための手段 請求項１記載の発明は、前面にオリフィスが位置してイ
ンク供給路が連通された圧力室内に圧力発生手段を設け
た構造で少なくとも圧力発生手段と圧力室を形成する隔
壁とを備えた第一のプレートと少なくともオリフィスが
形威された第二のプレートとを別個に形成して接合する
ようにしたインクジェットプリンタヘッドの製作方法に
おいて、治具上に取付けられてオリフィスが所定パター
ンに形成されたオリフィス板の上に感光性樹脂を塗布し
、この感光性樹脂を光パターニングして圧力室の隔壁と
対向する部分にインク供給路が位置する供給路層を形成
し、この供給路層が形威されたオリフィス板を治具から
取外して第二のプレートを形成するようにした。

請求項２記載の発明は、オリフィスが所定パターンに位
置するオリフィス板を治具基板上に電鋳で形成するよう
にした。

請求項３記載の発明は、感光性樹脂が光パターニングさ
れたオリフィス板の上に耐食性が高い金属膜を形成する
ようにした。

請求項４記載の発明は、第一のプレートの基板上に圧力
発生手段として発熱手段を形成するようにした。

請求項５記載の発明は、基板上に圧力発生手段を形成し
、この圧力発生手段を囲む形状の圧力室の隔壁と基板の
外周部に位置する外枠とを基板上に塗布した感光性樹脂
を光パターニングして形威し、第一のプレートと第二の
プレートとを感光チ１：樹脂の熱融着で一体的に接合す
るようにした。

作用 請求項１記載の発明は、治具」二に取（１けられてオリ
フィスが所定パターンに形成されたオリフィス板の上に
感光性樹脂を塗布し、この感光性樹脂を光パターニング
して圧力室の隔壁と対向する部分にインク供給路が位置
する供給路層を形成し、この供給路層が形成されたオリ
フィス板を治具から取外して第二のプレートを形成する
ようにしたことにより、薄膜状で剛性が低いオリフィス
板の上に感光性樹脂を簡易に塗布することができ、その
光パターニング時にオリフィス板の湾曲等を懸念する必
要もないので、供給路層の形成が簡易かつ正確に実行さ
れる。

請求項２記載の発明は、オリフィスが所定パターンに位
置するオリフィス板を治具基板上に電鋳で形成するよう
にしたことにより、薄膜状のオリフィス板を良好な生産
性で正確に形成することができると共に供給路層の形成
も簡易かつ正確に行なえる。

請求項３記載の発明は、感光性樹脂が光パターニングさ
れたオリフィス板の上に耐食性が高い金属膜を形成する
ようにしたことにより、インクが接触するオリフィス板
の表面の耐食性を向上させることができる。

請求項４記載の発明は、第一のプレートの基板上に圧力
発生手段として発熱手段を形成するようにしたことによ
り、簡易な構造でバブルジェット方式のインクジェット
プリンタヘッドを得ることができる。

請求項５記載の発明は、基板上に圧ノＪ発生手段を形成
し、この圧力発生手段を囲む形状の圧力室の隔壁と基板
の外周部に位置する外枠とを基板」二に塗布した感光性
樹脂の光パターニングで形成し、第一のプレートと第二
のプレートを感光性樹脂の熱融着で一体的に接合するよ
うにしたことにより、接着材によって流路や発熱抵抗体
の機能が阻害されたりオリフィスが詰まるようなことが
ない。

実施例 請求項１，３．４及び５記載の発明の実施例を１ 第１図ないし第６図に基づいて説明する。まず、本実施
例のインクジェットプリンタヘッド３４の主要構造は、
第４図に例示するように、基板３５と圧力室層３６と供
給路層３７及びオリフィス板３８が順次積層された構造
となっている。そして、第２図及び第３図に例示するよ
うに、このオリフィス板３８にアレイ状に連続形成され
たオリフィス３９と前記基板３５の表面に形成された発
熱手段である発熱抵抗体４０とが各々同軸上に位置して
おり、この発熱抵抗体４０を略中心とする矩形環状の隔
壁４１が形成された前記圧ノＪ室層３６により前記オリ
フィス３９の軸心に対して対称形の圧ツノ室４２が形成
され、この圧力室４２と対向する部分が開口した前記供
給路層３７により前記オリフィスの軸心に対して全周方
向に開口したインク供給路４３が形成されている。なお
、このインクジェットプリンタヘッド３４では、前記圧
力室層３６の隔壁４１間にインク貯蔵室４４が形成さ＝
１２ れており、このインク貯蔵室４４に連通したインク補給
孔４５が前記基板３５に形成されている。

つぎに、上述のような構造のインクジェットプリンタヘ
ッド３４の各部の構造を製造方法と共に以下に詳述する
。まず、第６図に例示するように、前記基板３５は厚さ
０．１〜１．０（μｍ）程度の放熱性が良好なＳｉウェ
ハー等で形成されており、この表面に厚さ２．０（μｍ
）のＳｉｎ、やＡｌ、Ｏ，などからなる蓄熱層４６を形
成する。つぎに、この上に厚さ０．４（μｍ）のＴａＡ
ＱやＴａＮをスパッタリングしてエツチングでパターニ
ングすることで前記発熱抵抗体４０となる厚さ０．４（
μｍ）の抵抗層４７を形成し、同様に厚さ０．５（μｍ
）のＡＱからなる共通電極４８と個別電極４９とを各々
形成する。

そして、これらの」二に厚さ０．３（μｍ）のＳｉ、Ｎ
、やＳｉｎ、からなる第一の保護膜５０と厚さ０．２（
μｍ）の耐キャビテーション性が良好なＴａからなる第
二の保護膜５１とを各々ＣＶＤ法やスパッタリングで順
次積層形成する。

なお、上述のようにして形成された発熱抵抗体４０の形
状は、例えば、６０　Ｘ　６０　（μｍ）の正方形にな
っている。また、以下の説明では、前記基板３５とは上
述の各部材４６〜５１が形成された状態のものを意味す
る。

そして、」１述のようにして発熱抵抗体４０等が形成さ
れた基板３５上に前記圧力室層３６が形成される。この
圧力室層３６は、第１図（ａ）、（ｂ）に例示するよう
に、前記基板３５上に塗布して半キユア（乾燥）させた
厚さ３０（μｍ）の感光性樹脂の一つである感光性ポリ
イミド５２を光パターニングして前記隔壁４１と外枠５
３とを形成し、前記圧力室４２と前記インク貯蔵室４４
とを設ける。

さらに、このインク貯蔵室４４を介して前記基板３５に
レーザ加工で前記インク補給孔４５を形成する。例えば
、上述のようにして形成された圧力室４２の形状として
は前記発熱抵抗体４０を中心とする７０　Ｘ　７０　（
μｍ）の正方形で、前記隔壁４１の幅は３０（μｍ）に
なっている。

ここでは」ユ辿のようにして前９把基板３５上にＩ−１
：。

力室層３６を形成したものを第一のプレート５４と称し
、前記供給路層３７と前記オリフィス板３８とで形成さ
れて前記第一のプレート５４に一体的に接合される第二
のプレート５５の構造を以下に説明する。

まず、第１図（ｃ）に例示するように、ＳＵ色やＮｉ及
びＣｕからなる厚さ４（μｍ）程度の薄板５６にレーザ
加工やフォトエツチング或は精密プレス等で貫通孔を形
成して最小径が５０（μｍ）の前記オリフィス３９を備
えたオリフィス板３８を形成し、第１図（ｄ）に例示す
るように、このオリフィス板３８を金属やセラミクス等
からなる平滑性が高い治具基板５７上に接着材やワック
ス等で貼着する。

そして、第１図（ｅ）に例示するように、その」−に未
硬化の感光性樹脂である感光性ポリイ□ド５８＋５− を厚さ１０（μｍ）に塗布し、第１図（ｆ）に例示する
ように、これを前述の圧力室層３６と同様に写真技術で
加工して前記オリフィス３９を中心とする前記インク供
給路４３を形成する。ここで、このインク供給路４３の
形成によって露出したオリフィス板３８の表面に、耐食
性が高い金属膜であるＡｌｌメツキ（図示せず）を形成
する。このようにして前記供給路層３７が一体的に形成
された前記オリフィス板３８を前記治具基板５７上から
取外して所定形状に切断することで、前記第二のプレー
ト５５が形成される。

そして、このインクジェットプリンタヘッド３４では、
前述のようにして製作した第一第二のプレート５４．５
５の感光性ポリイミドからなる外枠５３等を接続部とし
て利用する。つまり、第１図（ｇ）、（ｈ）に例示する
ように、前記オリフィス３９や前記発熱抵抗体４０の軸
心を一致させて第一第二のプレート５４．５５を接合し
、この状態６ で加圧加熱することで感光性ポリイミドの熱融着によっ
てインクジェットプリンタヘッド３４が製作される。

上述のようにして製作されたインクジェットプリンタヘ
ッド３４では、ｌ）；１記圧力室４２の隔壁４１と前記
オリフィス板３８の裏面との間に形成された１）ＩＩ記
インク供給路４３はｆｌｉｌ　１妃供給路入づ３７の厚
さに対応するので、ここでは前記隔壁４１」二の全周方
向に開口した幅１０（μｍ）のスリット状に形成されて
いる。

なお、実際に第一第二のプレート５４．５５を接合する
場合、オリフィス３９や前記発熱抵抗体４０等の軸心を
一致させることが国訓であることが予想されるが、本出
願人が製作した供試材では、基板３５に二個の基準パタ
ーン（図示せず）を印刷して他の三層３６〜３８に対応
する基準孔（図示せず）を形成し、この基準孔から前記
基準パターンを確認しつつ作業を行なうことでインクジ
ェットプリンタヘッド３４を製作することができた。

また、」二連のように装置を薄膜技術で製作する場合、
通常は大型の基板上に複数を同時に製作するなどして生
産性を向上させているが、」二連のようなインクジェッ
トプリンタヘッド３４では、連設された第一第二のプレ
ート５４．５５を接合した後に切断することで生産性を
向上させることと、第一第二のプレート５４．５５を個
々に切断した後に各々接合させることで精度を向」ニさ
せることが選択可能である。

このような構成において、このインクジェットプリンタ
ヘッド３４は、各電極４８．４９に駆動回路（図示せず
）が接続されてインク補給孔４５に連通管等でインク槽
（共に図示せず）が連結され、第２図に例示するように
、相幻的に副走査移動する印刷用紙５９に対向配置され
る。そこで、このインクジェットプリンタヘッド３４は
、各電極４８．４９から電力が印加されて発熱抵抗体４
０が発熱すると、これに接触しているインク６０が蒸発
して気泡６１が発生する。この時、この気泡６１の発生
によるインク６０の圧力変化の伝播方向は、圧力室４２
に規制されてオリフィス３９に向かうことになる。そこ
で、このオリフィス３９からインク６０か吐出するタイ
ミングに同期して電極４８．４９からの電力供給が（、
ｌ；Ｃ止され、光熱＋ｉＴｈ抗体４０の温度が低下して
気泡６１が収縮する。

すると、この気泡６１の収縮によるインク６０の圧力変
化によってオリフィス３９から突出していたインク６０
の一部が切断され、これがインク滴６０ａとなって飛翔
する。そこで、発熱抵抗体４０を選択的に発熱駆動して
所定のオリフィス３９からインク滴６０ａを飛翔させる
ことで、相対的に副走査移動する印刷用紙５９の表面に
画像を形成することができる。なお、各層）Ｊ室４２に
は、インク補給孔４５から順次補給されるインク６０が
インク貯蔵室４４からインク供給路４３を経て９ 供給されることになる。

そして、このインクジェットプリンタヘッド３４では、
インク供給路４３と圧ノＪ室４２との形状や発熱抵抗体
４０の位置がオリフィス３９の軸心に対して対称になっ
ているので、この部分での圧力変化の作用方向やりフィ
ール方向が対称であり、インク滴６０ａはオリフィス３
９の軸心方向に飛翔することになる。さらに、本実施例
のインクジェットプリンタヘッド３４では、各層３５〜
３８に形成された機能部品は形状が簡易で各々同軸上に
位置すると共に近接しているので、圧力効率が極めて良
好である。しかも、インク６０に圧力を加える手段が微
小形成が容易な発熱抵抗体４０なので、オリフィス３９
等を高密度に配置することが可能であり、例えば、５２
個のオリフィス３９を千鳥配置で四則に形成することで
３２０（ＤＰＩ）の解像度を実現できることが確認され
た。

ここで、このインクジェットプリンタヘッド３０ ４では、薄膜状の金属板からなるオリフィス板３８を治
具基板５７に取付けてから感光性ポリイミド５８を塗布
して供給路層３７の製作を行なうようにしたので、その
光パターニング時にオリフィス板３８の湾曲等を懸念す
る必要がなく、インク供給路４３の形成を簡易かつ正確
に実行することができる。しかも、インク供給路４３に
よってインクが接触するオリフィス板３８の表面に、耐
食性が高いＡｕメツキを形成するようにしたので、酸性
のインクを使用するなどしても装置の耐久性が良好であ
る。さらに、第一第二のプレート５４゜５５の接続を感
光性ポリイミドの熱融着で行なうようにしたので、接着
材によって流路や発熱抵抗体４０の機能が阻害されたり
、オリフィス３９が詰まるようなことがない。

つぎに、請求項２記載の発明の実施例を第７図に基づい
て説明する。本実施例はインクジェットプリンタヘッド
６２の第二のプレート６３の構造及び製作方法に関する
もので、第一のプレート５４の構造は上述のインクジェ
ットプリンタヘッド３４等と同様になっている。

まず、このインクジェットプリンタヘッド６２では、第
７図（ａ）、（ｂ）に例示するように、治具基板である
ＳＵＳ基板６４」−に所定パターンのマスク６５を取付
けてＮｊを厚さ４０（μｍ）に電鋳することで最小径が
５０（μｍ）のオリフィス６６を備えたオリフィス板６
７を形成する。そこで、第７図（Ｃ）に例示するように
、前記オリフィス板６７の」二に未硬化の感光性樹脂で
ある感光性ポリイミド６８を厚さ１０（μｍ）に塗布し
、第７図（ｃｌ）に例示するように、これを前述の圧力
室層３６と同様に写真技術で加工して前記オリフィス６
６を中心とする前記インク供給路６９を形成する。なお
、このインク供給路６９の形成によって露出した前記オ
リフィス板６７の表面に、耐食性が高い金属膜であるＡ
ｕメツキ（図示せず）を形成する。このようにして供給
路層７０が一体的に形成された前記オリフィス板６７を
前記ＳＵＳ基板６４」二から取外して所定形状に切断す
ることで、前記第二のプレート６３が形成される。

そして、前述のインクジェットプリンタヘッド３４と同
様に、」二連のようにして製作した第二のプレート６３
を感光性ポリイミドの熱融着で第一のプレート５４に一
体的に固着させることで、このインフジエラＩ・プリン
タヘッド６２は製作される。

ここで、このインクジェットプリンタヘッド６２では、
ＳＵＳ基板６４」二に電鋳でオリフィス板６７を製作す
るようにしたので、各オリフィス６６を正確かつ簡易に
形成することができ、しかも、このＳＵＳ基板６４」二
に取付けた状態のオリフィス板６７上に感光性ポリイミ
ド６８を塗布して供給路層７０の製作を行なうようにし
たので、その光パターニング時にオリフィス板６７の湾
曲等を３ 懸念する必要がなく、インク供給路６９の形成を簡易か
つ正確に実行することができる。

さらに、本発明の第三の実施例を第８図及び第９図に基
づいて説明する。このインクジェットプリンタヘッド７
１は第一のプレート７２の構造に関するもので、第二の
プレート５５の構造は」二連のインクジェットプリンタ
ヘッド３４等と同様になっている。

まず、このインクジェットプリンタヘッド７１では、第
９図に例示するように、オリフィス３９と発熱抵抗体４
０と圧力室４２とインク供給路４３とからなるインク出
射部が四つのグループとして並設されており、前記第一
のプレート７２は四則に連続形成された圧力室４２の隔
壁４１の一列目二列目間と三列目四則目間とに線形の支
持壁７３が形成されている。ここで、これらの支持壁７
３は感光性ポリイミドで形成されており、圧力室４２の
隔壁４１や外枠５３と同一工程で製作され４ ている。そして、第１１図に例示するように、前記支持
壁７３と外枠５３とが供給路層３７と熱融着することで
、前記第一のプレート７２と第二のプレート５５とが一
体的に固着される。

ここで、このインクジェットプリンタヘッド７１は、第
一第二のプレート７２．５５が外１ノｌ　５３と装置の
中央近傍に位置した支持壁７３とで固着されているので
、第一第二のプレート７２．５５の間隔が精緻に維持さ
れてインク供給路４３なども正確に形成され、装置の住
能が均一でり１：、産れも良好である。

また、このインクジェットプリンタヘッド７１の支持壁
７３や外枠５３を、第二のプレート５５の供給路層３７
の下面に形成することも可能である。さらに、外枠５３
に連続した形状の支持壁７３を形成してインク出射部を
複数のグループに分割し、各々に異なるカラーインクを
供給するようにすることで、カラー画像を形成可能なイ
ンクジエツトプリンタヘッド（図示せず）を形成するこ
とも可能である。

なお、上述の実施例では圧力室４２を形成する隔壁４１
が矩形環状に成形されたものを例示したが、本発明は上
記構造に限定されるものではなく、例えば、第１１図に
例示するように、丸型環状の隔壁７４で圧力室７５か形
成された圧力室層７６も実施可能である。また、上述の
実施例では各オリフィス３９．６６毎にインク供給路４
３．６９を形成したものを例示したが、本発明は上記構
造に限定されるものでもなく、例えば、第１２図に例示
するように、所定数のオリフィス７７に共通に連通ずる
インク供給路７８が形成された供給路層７９を製作する
ことなども可能である。そして、インク貯蔵室４４等に
インク６ｏを補給するインク補給孔４５も基板３５に形
成する必要はなく、インク貯蔵室４４に連通ずるもので
あれば機能する。また、上述の各実施例では各種の寸法
や材質を提示したが、これらは装置の仕様や必要な性能
等を考慮して最適な形態に設計されるものであり、例え
ば、金属やガラス及び樹脂等のエツチングや金属のプレ
ス加工や電鋳、或は、樹脂の型成形等でも各層を製作す
ることができる。さらに、」二連の実施例では、オリフ
ィスの軸心に対して圧力室の形状やインク供給路を対称
にすることでインク滴の飛翔方向がオリフィスの軸心方
向と一致するものを例示したが、本発明は上記構造に限
定されるものでもない。

発明の効果 請求項１記載の発明は、前面にオリフィスが位置してイ
ンク供給路が連通された圧力室内に圧ノＪ発生手段を設
けた構造で少なくとも圧力発生手段と圧力室を形成する
隔壁とを備えた第一のプレートと少なくともオリフィス
が形成された第二のプレートとを別個に形成して接合す
るようにしたインクジェットプリンタヘッドの製作方法
において、７− 治具」二に取付けられてオリフィスが所定パターンに形
成されたオリフィス板の」二に感光性樹脂を塗布し、こ
の感光性樹脂を光パターニングして圧力室の隔壁と対向
する部分にインク供給路が位置する供給路層を形成し、
この供給路層が形成されたオリフィス板を治具から取外
して第二のプレートを形成するようにしたことにより、
薄膜状で剛性が低いオリフィス板の」二に感光性樹脂を
簡易に塗布することができ、その光パターニング時にオ
リフィス板の湾曲等を懸念する必要もないので、供給路
層の形成が簡易かつ正確に実行されて第二のプレートの
生産性向」二に寄与することができ、さらに、請求項２
記載の発明は、オリフィスが所定パターンに位置するオ
リフィス板を治具基板上に電鋳で形成するようにしたこ
とにより、薄膜状のオリフィス板を良好な生産性で正確
に製作することができると共に供給路層の形成も簡易か
つ正確に行なわれるので、第二のプレートの生産性向上
８ に寄与することができ、さらに、請求項３記叔の発明は
、感光性樹脂が光パターニングされたオリフィス板の上
に耐食性が高い金属膜を形成するようにしたことにより
、インクが接触するオリフィス板の表面の耐食性が向」
ニするので、酸性のインクを使用するなどしても装置の
耐久性が良好であり、さらに、請求項４記載の発明は、
第一のプレートの基板」二に圧力発生手段として発熱手
段を形成するようにしたことにより、簡易な構造でバブ
ルジェット方式のインクジェットプリンタヘッドを得る
ことができ、さらに、請求項５記載の発明は、基板上に
圧力発生手段を形成し、この圧力発生手段を囲む形状の
圧力室の隔壁と基板の外周部に位置する外枠とを基板上
に塗布した感光性樹脂の光パターニングで形成し、この
第一のプレートと第二のプレートとを感光性樹脂の熱融
着で一体的に接合するようにしたことにより、接着材に
よって流路や発熱抵抗体の機能が阻害されたりオリフィ
スが詰まるようなことがなく、高性能なインクジェット
プリンタヘッドを良好な生産性で得ることができる等の
効果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は請求項１，３．４及び５記載の発明の実施例を
示す製作工程図、第２図は縦断側面図、第３図は各層の
平面図、第４図は分解斜視図、第５図は斜視図、第６図
は要部の縦断側面図、第７図は請求項１，２及び３記載
の発明の実施例を示す製作工程図、第８図は本発明の第
三の実施例を示す要部の斜視図、第９図は縦断側面図、
第１０図及び第１１図は変形例を示す要部の斜視図、第
１２図は第一の従来例を示す分解斜視図、第１３図は第
二の従来例を示す要部の斜視図、第１４図は縦断斜視図
、第１５図は第三の従来例を示す分解斜視図である。 ３４．６２．７１・・・インクジェットプリンタヘッド
、３７，７０．７９・・・供給路層、３Ｂ、Ｇ７・・・
オリフィス板、３９，６６．７７・・・オリフィス、４
０・・・圧力発生手段、４．１．７４・・・隔壁、４２
゜７５・・・圧力室、４３，６９．７８・・・インク供
給路、５２．５８．６８・・・感光性樹脂、５３・・・
外枠、５４．７２・・・第一のプレート、５５．６３・
・・第二のプレート、５７・・・治具、６０・・・イン
ク、６４・・・治具基板 出　願　人　　　東京電気株式会社 ＝３１ ２− 一〇 ６１

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、前面にオリフィスが位置してインク供給路が連通さ
   れた圧力室内に圧力発生手段を設けた構造で少なくとも
   前記圧力発生手段と前記圧力室を形成する隔壁とを備え
   た第一のプレートと少なくとも前記オリフィスが形成さ
   れた第二のプレートとを別個に形成して接合するように
   したインクジェットプリンタヘッドの製作方法において
   、治具上に取付けられてオリフィスが所定パターンに形
   成されたオリフィス板の上に感光性樹脂を塗布し、この
   感光性樹脂を光パターニングして前記圧力室の隔壁と対
   向する部分にインク供給路が位置する供給路層を形成し
   、この供給路層が形成された前記オリフィス板を前記治
   具から取外して第二のプレートを形成するようにしたこ
   とを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製作方
   法。 ２、オリフィスが所定パターンに位置するオリフィス板
   を治具基板上に電鋳で形成するようにしたことを特徴と
   する請求項１記載のインクジェットプリンタヘッドの製
   作方法。 ３、感光性樹脂が光パターニングされたオリフィス板の
   上に耐食性が高い金属膜を形成するようにしたことを特
   徴とする請求項１又は２記載のインクジェットプリンタ
   ヘッドの製作方法。 ４、第一のプレートの基板上に圧力発生手段として発熱
   手段を形成するようにしたことを特徴とする請求項１、
   ２又は３記載のインクジェットプリンタヘッドの製作方
   法。 ５、基板上に圧力発生手段を形成し、この圧力発生手段
   を囲む形状の圧力室の隔壁と前記基板の外周部に位置す
   る外枠とを前記基板上に塗布した感光性樹脂を光パター
   ニングして形成し、この第一のプレートと第二のプレー
   トとを感光性樹脂の熱融着で一体的に接合するようにし
   たことを特徴とする請求項１、２、３又は４記載のイン
   クジェットプリンタヘッドの製作方法。